Испарительное устройство для вакуумных установокf гgt; amp; fl •” _ л —воесою: патентко-иbh5; iio
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 22.Х 11,1969 (,1 чЪ 1387160/22-1)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 09,И 1.1971. Бюллетень22Дата опубликования описания 7.Х.1971 1 ПК С 23 с 13/1 Комитет по лелем вобретеиий и открыт при Совете Министро СССРК 621.793.14.002,5 (088,8) вторыобретени А. Н. Жунда, А. Г. ЗеберинСпециальное конструкторское бюр Н. Ракитина акуумных покрыт аявитель 1 Ц. ;т " ",Ьйь": ".т И СПАРИТЕЛЪНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК на 5 воздействует с силой, определяемой разностью давлений между остаточными газами в вакуумной камере и атмосферой, на жестко связанный с нею подвижный токоподвод 4, ко. торый контактирует под действием этой силы с нагревательным элементом 1,При подключении устройства к источнику питания генерируемое в нагревательном элементе тепло передается испарительному элементу как путем контактирования с ним, так и излучением, разогревая его до рабочей температуры. При подаче в испарительный элемент испаряемого вещества происходит его расплавление и испарение. Образующийся при испарении молекулярный поток вещества достигает подложки 7 и осаждается на ней. ние относится к устроиствам для вакуумных покрытий.испарительное устройствоустановок, содержащее нагр испарительный элементы, не подвижный токоподводы.емое устройство отличается от изаличием вакуумплотно закрепленусе неподвижного токоподвода элаембраны из электроизоляционного 10 жестко связанной с подвижным то. Такое устройство надежнее в радля евапод На чертеже представлен общии вид описываемого устройства. 15Устройство состоит из нагревательного элемента 1, испарительного элемента 2, неподвижного токоподвода 3, подвижного токоподвода 4 и вакуумплотно закрепленной в корпусе неподвижного токоподвода эластичной мем браны 5, жестко связанной с подвижным токоподводом. Устройство закреплено в вакуумной камере б таким образом, что эластичная мембрана является границей между откачиваемым объемом вакуумной камеры и атмосферой, и расположено под подложкой 7,После достижения в вакуумной камере н обходимого разряжения эластичная мембр ых Испарительное устроиство для вак установок, содержащее нагревательны парительный элементы, неподвижный вижный токоподводы, отличающееся т с целью повышения надежности работ снабжено вакуумплотно закрепленной пусе неподвижного токоподвода эла мембраной из электроизоляционного м ла, жестко связанной с подвижным т водо м. и и и подем, что, ы, оно в кор- тичной 25 териа копод е- аИзобрете нанесенияИзвестно вакуумных тельный и вижный иПредл ага вестного н ной в корп стичной м материала, коподводом боте. Предмет изобретенСоставитель И. РезникРедактор Т. Н. Каранова Техред Л. Л. Евдоиов Корректор А. П. ВасильеваЗаказ 2339/6 Изд.981 Тираж 473 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров ССС 1Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Типография, пр. Сапунова, 2
СмотретьЗаявка
1387160
А. Н. Жунда, А. Г. Зеберин, И. Н. Ракитина Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий
МПК / Метки
МПК: C23C 14/26
Метки: вакуумных, гgt, испарительное, патентко-иbh5, установокf, —воесою
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-309071-isparitelnoe-ustrojjstvo-dlya-vakuumnykh-ustanovokf-ggt-amp-fl-l-voesoyu-patentko-ibh5-iio.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Испарительное устройство для вакуумных установокf гgt; amp; fl •” _ л —воесою: патентко-иbh5; iio</a>
Предыдущий патент: Способ химико-термической обработки титана
Следующий патент: 309072
Случайный патент: Планетарная коробка передач