C23C 14/04 — нанесение покрытия на выбранный участок поверхности, например с использованием масок

Номер патента: 148317

Опубликовано: 01.01.1962

Авторы: Гольнев, Дененберг, Зуйков, Омеров, Поволоцкий, Фукс

МПК: C23C 14/04

Метки: вакуумная, многослойных, нанесения, покрытий

...для испарения различных материалов, Прогиб разогретых лодочек устраняется натяжным устройством 11. Это обеспечивает одинаковый по всей длине уровень испаряемого материала, а следовательно, равномерную толщину покрытия по всей длине заготовки.Для испарения малых количеств материала взамен существующего ряда маленьких лодочек применена тигельная лента 12, например, из молибдена, в которой выдавлен ряд дозовых лунок, куда закладывается испаряемый материал. Это обеспечивает создание идентичных температурных условий при одновременном испарении нескольких малых доз испаряемого материала.148317Во время рабочего процесса тигельная лента совершает колебательное движение, При большой амплитуде колебаний возможен выброс испаряемого материала из...

Номер патента: 187854

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Коледа, Технич

МПК: C23C 14/04, C23C 14/26

Метки: тонкопленочных

...1 разделен перегородками 2 на секции 3, расположеппые по образующей цилиндра. В секциях помещены испарители 4, а сверху цилиндра укреплена мпогощелевая маска 5 так, что каждая щель б маски размещена против соответствующей секции цилиндра. Электропитание испаритслей производится с помощью щеток 7 и коллектора 8, укрепленных па валу 9 цилиндра, Цилиндр вращается па валу с помощью коническои пары шестерен 1связана с приводным Р через вал 13.Процесс напыления пленок сост что через щели вращающейся мно маски на поверхность подогревае мощью подогревателя 14 подложк 1 рывно осаждаются пары испаряемь и образуют наслаивающиеся один плоские витки многопленочного по Предмет изобретени 1, Устройство для изготовления тонкопленочных радиодеталей...

Номер патента: 268845

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Гаврилов, Железникова, Николаев, Федотов

МПК: C23C 14/04

Метки: вакууме, многослойных, нанесения, покрытиив

...друг к другу эксцентрично, что улучшает качество покрытий,На чертеже представлен общий вид предлагаемого устройства.Оно состоит из камеры 1, внутри которой расположены высоковольтный электрод 2, диска 8 с распыляемыми материалами, диска 4 подложек и диска 5 трафаретов, установленных по отношению друг к другу эксцентрично. При поднятом колпаке камеры на диске 4 закрепляют подложки, а на диске б трафареты. В ячейки диска 3 помещают распыляемые материалы, Высоковольтный электрод отведен в нижнее положение. Система откачивается до заданного разряжения и производится напуск инертного газа и с помощью системы электродов создается плазма. Высоковольтный электрод, перемещаясь в верхнее положение, за хватывает распыляемый материал и вносит...

Номер патента: 329252

Опубликовано: 01.01.1972

МПК: C23C 14/04

Метки: 329252

...- кривизну стенок камеры. С неработающей стороны катода на изолирующикирОлада 1.; / установ.е эран, предОк 1)аИя 0 ший аод от распыления с нерабочей стороИ 1)1. В)1 О 01(овольтп 1 Й ввод (с сосдинсн с минусом источника высокого напряжения, плюс источника соединен с заземленной камерой. Откачное отверстие 9 служит для создания необкоднмого разрежения в камере. Заготовка, на поверкность которой необходимо на. нести покрытие, закрывает отверстие 1 в камере. При создании в вакуу)но амере разрежения в результате перепада давлений заготовка плотно ирижи)ается и Откпытой части камеры. По достижении в камере давления порядка 5 10 -- 2 10 - о л 1 л рт. ст. прн помощи натекателя 10 вводят рабочий газ, цапример аргон,: давление повышается до 2 - 5...

Номер патента: 352969

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Гордеев, Луковников, Фадеев, Хабаров, Яшуков

МПК: C23C 14/04

Метки: вакуумная, нанесения, покрытий

...17 для крепления подложки прсдз 0 ставляст собой кольцо 1) с равнок)ерт)о-рс 3529695 10 Оложепцым 1 по окр жцостц рычаг;мц-держателями 19, товорачВаОщ:5 пся на осях 20. Сдпц конец рычага осью 21 соеден с тягой 22 для установки по размеру одлоякц; другой конец соединен осью 23 с оашмяком 24, предназначенным для размещения ко:трольных свидетелей,Зкраниру 0 цсе устройство 26 сосгоцт из расположенных по окружности лепестков 26, осц 27 когорых прикреплены к кронштейнам 28 цозоротного кольца 29, Последнее ошрасгся ца ролики 30, находящиеся в кроцштсй нах 31 нижней камеры,1(,сТКДЫ РОЛИК ЧЕ 1 ЗСЗ У 1(РС 1 ГСЦНЫй Пс 1 КРЫЦ- кс 32 штырь СО сфсрпчес:,Ой голов(Ой 33 сОР- пше тягой 34 со штырем,35 гСпсстка. Рол:и с помон;ью вилки 36 находится в...

Номер патента: 357275

Опубликовано: 01.01.1972

МПК: C23C 14/04

Метки: 357275

...еия размещена соответственно В канавках сгержцеЙ с правоЙ резьбоЙ.1 я чертеже представлена Салема прсдлагясмого устройства.Устройство для креплениясостоит из пружинящей рамыта 3 и сеток 4 и 5. Винт 2 дожит правуо рсзьбу, остальц левую резьбу. П,ри этом винт 3 аналогиси винту 2. Винты 2 и 3 прикреплены к изогнутой, пружинящей раме 1 таким образом, что винт 3 представляет зеркальное отражение винта 2. В пружинящей раме 1 винты 2 и 3, параллельные между собой, являются для сеток 4, 5 перекладинами, вследствие чего этц сетки лежат В ОднОЙ плоскости. Шяг резьоь винтов, определяющий расстояние /г ме)кду проволочками, обеспечивает строгую параллельность проволочек в сетке. Синхронны поворот вицтов 2 и 3 вокруг своих осей приводит к плавному...

Номер патента: 1122751

Опубликовано: 07.11.1984

Авторы: Верещагин, Замковец

МПК: C23C 14/04, G02B 1/10

Метки: интерференционных, многослойных, систем

...полировкапластин геометрической толщины порядка нескольких десятков микрометров 25Наиболее близким по техническойсущности к предлагаемому являетсяспособ изготовления иятерференционных систем, включающий последовательное вакуумно-термическое осаждение наподложку в вакууме оптического материала с высоким показателем преломления на материал с низким показа 4телем преломления.Подложка служит для удержания многокомпонентной интерференционной сис темы и выполняется из механическипрочного материалагерманий, кремний, кварц ), прозрачного в рабочемспектральном диапазоне. Геометричес,кая толщина подложки при этом намного больше геометрической толщинынапыленных слоев 23.Недостатком известного способаявляется то, что с его помощьюневозможно...

Номер патента: 1357459

Опубликовано: 07.12.1987

Авторы: Анисович, Пивоваров

МПК: B22D 15/00, C23C 14/04

Метки: кокиля

...равным 9 . Сваренные точечной сваркой пакеты Аормируют по конАигурации образца в виде оболочки толщиной стенки 2 мм холодным прессованием приЗО давлении 0,04-0,1 от предела прочности материала сетки, Затем волокнистую оболочку отжигают в контейнере в аргоне с титановым поглотителем при температуре 0,6-0,9 от температуры плавления в течение 0,5-1 ч, После этого производят окончательное прессование оболочки по Аорме рабочей поверхности кокиля. На поверхности оболочки со стороны основы коки 40 ля наносят связующий слой покрытия толщиной 2 мм иэ сплава Х 2 ОН 80, Поверх связующего слоя из сплава Х 20 Н 80 газотермическим напылением наносят активирующий слой, обеспечивающий45 сваривание покрытия с заливаемым расплавом основы кокиля,...

Номер патента: 1503909

Опубликовано: 30.08.1989

Автор: Коротков

МПК: B21B 13/20, C23C 14/04

Метки: прокатный, стан

...5 бегущих волн де 1503909 65 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 формации по часовой стрелке жесткое кольцо 20 вращается в результате взаимодействия через прокатываемый металл с С-образным профилированным вкладышем 2 против часовой стрелки и прокатываемый металлперематывается с правой моталки 17 на левую моталку 18, При этом объем левой камеры 7 переменного объема, соединенный,с испарителем 15 через дозатор33, увеличивается, а объем правой камеры 8 переменного объема, соединенной с вакуумным насосом 10 через ловушку 16, уменьшается. Рабочий калибр стана образован наружной поверхностью жесткого кольца 20 .и внутренней рабочей поверхностью С-образного профилированного вкладыша 2, При необходимости, когда температура прокатываемого металла...

Номер патента: 1821494

Опубликовано: 15.06.1993

Авторы: Четчуев, Чукалин, Юссон

МПК: C23C 14/04

Метки: маски, напыления, пленочных, структур

...окна в виде прямоугольников, стороны которых ориентированы вдоль кристаллографических осей пластины (110), Далее глубоким аниэонтронным травлением в щелочных травителя при температуре порядка 100 С в пластине кремния получают отверстия 3 в виде щели. При этом боковые стенки отверстий совпадают с плоскостью (111), образуют угол порядка 55 к плоскости прилегания подложки.Выполнение боковых стенок выступа, совпадающими с наиболее прочной для кремния плоскостью (111), обеспечивает максимальный срок службы маски и воэможность получения длинных и узких консольных выступов.Минимальная погрешность изготовления размеров рисунка маски составляет 0,005 мм, благодаря высокой воспроизводимости размерОв края маски. Повышается1821494 оставитель Н,...

Номер патента: 1824456

Опубликовано: 30.06.1993

Авторы: Вейко, Кайданов, Ковачки, Шахно

МПК: C23C 14/04

Метки: лазерного, локального, нанесения, пленки

...также использование для реализации предлагаемого способа проекционной опт 1 еской системы для формирования топологии наносимых пленок проекционным или контурно-проекционным методом,При использовании предлагаемого способа после перенесения материала донорной пленки с донорной подложки на анцепторную подложку в конце импульса излучения уменьшается плотность потока лазерного излучения, достигающего пленки, вследствие рассеяния излучения на освободившейся от донорной пленки шероховатой поверхности донорной подложки, Результаты проведенных оптических измерений мощности излучения, проходящего через донорную подложку с шероховатой поверхностью(йд = 3 мкм), ц и мо;.1 ности излучения, проходящего через донорную подложку с полированной...

Номер патента: 2003735

Опубликовано: 30.11.1993

Авторы: Иовдальский, Рыбкин

МПК: C23C 14/04

Метки: маска, напыления, пленочных, подложку, элементов

...подложки, отверстия имеютразмер, превцшающий заданный размеротверстий на 50-2000 мкм, а стенки отверстий заданного размера могут быть выполпод угло 15-85 к плос остипластин ц,Изготовление масок с уменьшеннымразмером элементообразующих кромокснижает экранирование стенками отверстий в маске и дает возможность увеличить воспроизводимость геометрии пленочныхэлементов путем повышения равномерности толщины напцляемцх пленочных элементов.5 Ограничение высоты расположениярасширения отверстий от плоскости маскименее 5 мкм определяется соображениямипрочности, а более 100 мкм - увеличениемэкранирования. Ограничение расширения10 отверстий маски менее 50 мкм объясняетсяувеличением явления экранирования края.ми отверстий, а более 2000 мкм -...

Номер патента: 1559765

Опубликовано: 27.12.2013

Авторы: Бельчин, Вершина, Мрочек, Пителько

МПК: C23C 14/04

Метки: декоративных, многоцветных, покрытий

Способ получения декоративных многоцветных покрытий электродуговым осаждением в вакууме, включающий приложение опорного напряжения к изделию и осаждение материала покрытия в атмосфере смеси газов при давлении 5·10-2-1 Па, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей при получении цветовой гаммы на изделии за счет образования соединений различного химического состава, на изделии создают распределение электрического потенциала путем подключения опорного напряжения не менее чем в двух точках, причем в смеси газов используют 25-75 мас.% кислорода.