Способ нанесения тонких пленок

Номер патента: 646578

Опубликовано: 30.01.1986

Авторы: Быковский, Дудоладов, Козленков

МПК: C23C 14/28

Метки: генератора, квантового, оптического, пленок, помощи, тонких

...ос"етаточного газа, от рабочего вакуумаЗ 0 в камере и степени взаимодействияподложки с молекулами остаточногосгаза) испаряют мишень 13 излучениемлазера 2, работающего в режиме упорядоченных пульсаций, который приводятв действие с помощью блока синхронизации 23. Пленки легируют во время,напыления при помощи лазера 3, излучением которого воздействуют на мишень 14. Конденсируемое на подложку15 вещество подогревают излучениемлазера 4, работающего в этом же режиме. Осажденную пленку через 1 м.секпосле окончания напыления отжигаютизлучением лазера 5, работающего врежиме модулированной добротности.Полученная тонкая эпитаксиальнаяпленка может служить затравкой длянаращивания толстых монокристаллических пленок; С этой целью описан 50 ный процесс...

Номер патента: 287494

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Киевский, Кучеренко, Саенко

МПК: C23C 14/30

Метки: диэлектрических, пленок, тонких, электропроводящих

...фокусируется на стержень и в мест доводит его температуру до темпер рсния, Е-Еа пути к подложке испар шество понпзпруется электроннь Электронный пучок взаимодейств зующейся плазмой, в результате ч ется пучковоплазменная неусто скрещенных полях, приводящая к коэффициента ионизации. ции паров рабо дгезии пленок с предлагаемому тю рабочего ве льном магнитн к электронному чегопо спо- Шествниз ния а ки по низац прод шенгпополях ы и пучСхема, иллюстрирующая предложенный об, представлена на чертеже.Здесь ЭП - электронная пушка; 1 - ожкодеркатель с напыляемой пленкой; лектронный пучок; 3 - поток паров и и - магнитный экран, защищающий элек тую .пушку от продольпого магнитного Н 1 камеры ионизации; б. - стенки камерь изации (анод); б -...

Номер патента: 218487

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Егоров, Кондратенков, Рубашов

МПК: G01N 25/18

Метки: коэффициента, пленок, теплопроводности, тонких

...тем, что, с я точности определения, пл кет, а тепловой поток напр иента теплоем измерения пада температсления коэфзвестной форцелью ловыевки собирают авляют вдоль Зависимое от авт. свидетельства МЗаявлено 10.1 Ч,1967 ( 1148972/2с присоединением заявкиПриоритет Известны способы определения коэффициента теплопроводности тонких пленок путем измерения потока тепла, проходящего через пленки, перепада температуры на них и последующего вычисления коэффициента теплопроводности по известной формуле.Эти способы не обеспечивают точности определения, так как не учитывают термическое сопротивление контактов при измерении температуры пленок, соизмеримое с сопротивлением самих пленок.Особенностью предложенного способа является то, что пленки собирают...

Номер патента: 279119

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Липовка, Тнгшев

МПК: G01N 25/18

Метки: пленок, тонких

...Раунскан набд. 4/5Типографии, пр. Сапуиовгь 2 дой, Зная отношение толщин исследуемой иэталонной пленок. находят коэффициент теплопроводности исследуемой пленки по формуле Способ определения теилопроводности тонких пленок путем нагревапгя их тепловым потоком, От гсгчагогг 1 иггсгг тем, чго, с целью повышения точности определения, на часть поверхности подложки наносят исследуемую пленку, покрывают ее и оставшуюся часть подложки эталонной пленкой, пропускают тепловой поток со стороны подложки, измеряют разность температур между поверхностями эталонпой пленки, папесенцыли на исследуемуго гленк) и подложку, и нь 1 ходят искому 10 вели чину по формуле где Х,п - коэффициент теплопроводности исследуемой пленки,ап - - толщина исследуемой...

Номер патента: 448140

Опубликовано: 30.10.1974

Авторы: Коган, Ращепкин, Чернятина

МПК: B29D 7/08

Метки: движущейся, пленок, подложке, полимера, раствора, тонких, фильера, формирования

...камеры 1 в нижней ее части становлвны емкости 6 с трубками 7,подвода и отвода охлаждающего агента, например холодной воды. Торцовйв стенки 5 фильвры имеют фторопластовыв щечки Э, ограничивающие полотно получаемой плвнки.Фильвра снабжена автоматическим устройством 10 для поддержания в ней уровня плвнкообразующвго раствора и коллектором 11 с патрубком 12 подачи раствора в фильеруРабота фильеры осущвствлявтся следующим образом.Раствор полимера определенной вязкости подается через патрубок 12 в запасную камеру 2, затем под4481403перегородкой 3 он перетекает в рабочую камеру 1, что создает зеркальный уровень раствора в рабочей камере . Разность уровней в рабочейи запасной камерах определяется 5вязкостью раствора и сопротивлением,...