Термический испаритель для вакуумных установок

Номер патента: 358428

Авторы: Гольдберг, Лобанов, Мальцев, Чебоненко

ZIP архив

Текст

О П И- С А Н И Е 358428ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 10 Л 11.1970 ( 1411012/22-1) Кл, С 23 с 13 ением заявкис присое риоритетпубликовано ОЗ.Х 1,1972. Бюллетень34 Комитет по делам звбретений и открытий при Совете Министров СССР, Лобанов явитель ЕРМИЧЕСКИИ ИСПАРИТЕЛЬ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК едмет изобретения куумныхтигель, отличаюокорости утри тигиз смаго мате. Изобретение относится к области нанесения покрытий,в вакууме.Известен термический иопаритель для вакуумных установок, содержащий графитовыйтигель, нагреватель и радиационный экран. 5Однако в таком испарителе иопаряемые металлы не смачивают поверхность тиглей,вследствие чего скорость иопарения металланедостаточна.Цель изобретения - увеличение окорости 10напыления материала и надежности работы.Это достигается тем, что внутри тигля расположен старикан из смачивающегося раоплавом тугоплавкого материала.На чертеже представлен иопаритель, общий 15вид,Иопаритель состоит из графитового тигля1, внутри которого расположен стакан 2 изсмачивающегося раоплавом тугоплавкопо материала, например молибдена, нагревателя 3 20и радиационного экрана 4,В стакан 2 загружают навеоку иопаряемого металла, После достижения рабочего вакуума на иопаритель подают напряжение ипостепенно увеличивают ток нагревателя 8, 25 при этом происходит разогрев графитового тигля, стакана и навести. По достижении необходимой температуры навеока металла несколько меньшая по объему, чем старикан, расплавляется, смачивает всю поверхность старикана и начинает испаряться. Расплав не смачивает графитовые стеньки, в результате чего не выходит за пределы тигля, что обеспечивает стабильную работу испарителя, Скорость испарения зависит от установившейся в тигле температуры перегрева расплава и может регулироваться изменением тока нагревателя. Термический иопаритель для ва установок, содержащий графитовый нагреватель и радиациоеный экран, и 1 ийся тем, что, с целью увеличения напыления и,надежности работы, вн ля расположен стакан, выполненный чивающегося раоплавом тугоплавко риала.Типография, пр. Сапунов Заказ 4061/15 Изд,1649 Тираж 406 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5

Смотреть

Заявка

1411012

И. Л. Гольдберг, Л. И. Чебоненко, Б. П. Мальцев, И. В. Лобанов

МПК / Метки

МПК: C23C 14/26

Метки: вакуумных, испаритель, термический, установок

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-358428-termicheskijj-isparitel-dlya-vakuumnykh-ustanovok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Термический испаритель для вакуумных установок</a>

Похожие патенты