Патенты с меткой «358727»

Номер патента: 358727

Опубликовано: 01.01.1972

МПК: C23C 14/26

Метки: 358727

...к испарителю б обеспечивается гибкими проводниками 18. Установка имеетат3мосферные клапаны 19 для запуска атмосферного воздуха в вакуумную систему и камеру. Для подъема и опускания колпака 1 вакуумной камеры служит подъемник 20 с электродвигателем 21 и редуктором 22 с конической парой 23. Вакуумная камера и элементы установки смонтированы на каркасе 24, внутри которого размещены привод барабана 5, включающий электродвигатель 25, редуктор 2 б и вакуумный ввод с шестеренчатой конической парой 27, высоковакуумный затвор 28, установленный между колпаком 1 вакуумной камеры и диффузионным насосом 29; распределительная клапанная коробка 30, которая соединяется через трубопроводы 31 с диффузионным насосом 29 и форвакуумным насосом 32 и...