Патенты с меткой «201484»

Номер патента: 201484

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Загоруйко, Лискер, Черепов

МПК: C23C 14/26

Метки: 201484

...иа чертеже.Внутри вакуумной камеры 1 размещен цилиндрический нагреватель 2, Внутри нагревателя 2 установлен испаритель, состоящий из двух камер 3 и 4. Камеру 3 загружают иопаряемым веществом 5. Камеры 3 и 4 сообщаются между собой посредством цилиндрического канала б, оканчивающегося герметичным затвором 7, Камера 4 снабжена выходным отверстием 8, служащим для выпуска из камеры паров 9 напыляемого на подложку 10 вещества 5. Затвор 7 открывают пление насыщенного паравеличины,Через канал б пар из камеры 3 подает в ка 5 меру 4, и через отверстие 8 выходит из камеры 4, а достигнув подложки 10, образует наней пленку 11.Вследствие того, что оси канала 6 иотверстия 8 взаимно перпендикулярны, иаО подложку поступает только моноатомиыйпар, что...