Патенты с меткой «281997»

Номер патента: 281997

Опубликовано: 01.01.1970

МПК: C23C 14/26

Метки: 281997

...часть образца находится при более низкой температуре и не испаряется. При необходимости диэлектрическое основание, ца котором размещен диск, может охлаждаться, что полностью исключит возможность взаимодействия испаряемого материала с материалом диэлектрического основания,бр етени я едмет и Спосоо тем Вь 1 со тем, что, кольцевог материал магнитно скиц-эфф испарения маочастотного нс целью осупо источника,в форме диско поля, обеспекта ца его б распыают на индукИзобретение относится к области испарения материалов в вакууме.Известен способ испарения материалов в вакууме путем высокочастотного нагрева. Однако известный способ це позволяет осуществлять процесс испарения из кольцевого источника.Предложенный способ позволяет осуществлять...