ZIP архив

Текст

28 997 ОП И САНИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликтельстваЗависимое от авт. св Заявлено 15 Х 111.1968 ч. 48 Ь) 13, 1262882/22-1) с присоединениеПрчоритет явкиПК С 23 с 13/08 К 621,793.14(088.8 омитет по делам иаооретеиий и открыт при Совете Мииистро СССРОпубликовано 14,1 Х,1 Дата опубликования Бюллетень29 писаши 7.ХП.197 Авторыцзобретецц В. А. арб,Гоцч т аявитель СПОСОБ ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В тором и частоту электромагнитного поля подбирают таким образом, чтобы распыление происходило только с боковой поверхности образца, При этом тонкий слой вещества ца боковой поверхности диска плавится и испаряется, Средняя часть образца находится при более низкой температуре и не испаряется. При необходимости диэлектрическое основание, ца котором размещен диск, может охлаждаться, что полностью исключит возможность взаимодействия испаряемого материала с материалом диэлектрического основания,бр етени я едмет и Спосоо тем Вь 1 со тем, что, кольцевог материал магнитно скиц-эфф испарения маочастотного нс целью осупо источника,в форме диско поля, обеспекта ца его б распыают на индукИзобретение относится к области испарения материалов в вакууме.Известен способ испарения материалов в вакууме путем высокочастотного нагрева. Однако известный способ це позволяет осуществлять процесс испарения из кольцевого источника.Предложенный способ позволяет осуществлять процесс испарения из кольцевого источника, что, в свою очередь, приводит к повышению равномерности и чистоты получаемых при его использовании пленок.Способ позволяет наносить покрытия на крупногабаритные поверхности,Данный способ отличается от известного тем, что испарению подвергают материал в форме диска при частоте электромагнитного поля, обеспечивающей появление скин-эффекта ца его боковой поверхности.При осуществлении способа образец ляемого вещества в виде диска размещ диэлектрическом основании соосно с терпалов в вакууме пуагрева, от,гачагогггиася гествления процесса цз испарению подвергают а при частоте электроечнвающей появление оковой поверхности.

Смотреть

Заявка

1262882

МПК / Метки

МПК: C23C 14/26

Метки: 281997

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-281997-281997.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">281997</a>

Похожие патенты