Патенты с меткой «полирования»
Способ химико-механического полирования полупроводниковых пластин и стеклянных заготовок
Номер патента: 2002338
Опубликовано: 30.10.1993
Авторы: Валеев, Илларионова, Сидоренко
МПК: H01L 21/304
Метки: заготовок, пластин, полирования, полупроводниковых, стеклянных, химико-механического
...волокон при их содержании от 30 до 100 и высокоусадочн ых полиэтилентерефталатных волокон при их содержании до 70%, пропитанный полиуретаном при его содержании в материале от 15 до 650 .П р и м е р 1, Укрепляют пластину кремния на держателе, полировальный материал - на притире, В качестве полировального материала используют нетканый иглопробивной материал, состоящий из смеси малоусадочных полиэтилентерефталатных ф ормул а и зо бр ете н и я СПОСОБ ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОГО ПОЛИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН И СТЕКЛЯННЫХ ЗАГОТОВОК, включающий укрепление полируемого материала на держателе и полировальника на притире с последующим их контактированием при взаимном вращении и непрерывном нанесении полировального состава на полировальник,...
Способ полирования плоских поверхностей деталей
Номер патента: 2005046
Опубликовано: 30.12.1993
Авторы: Дубровский, Киселев, Унянин
МПК: B24B 29/00, B24B 55/02
Метки: плоских, поверхностей, полирования
...цель достигается тем, чтопредложен способ полирования деталей лепестковыми кругами, при котором инструменту сообщают вращение, а лепестки в50зоне резания деформируют СОТС, отличающийся тем, что деформирование лепестков перед входом в контакт с заготовкой и нанесение СОТС на их рабочую поверхность осуществляется за счет ударного воздействиялепестков о неподвижную поверхностьСОТС путем использования кинетической энергии вращающегося инструмента.В известных технических решениях таких отличительных признаков, как деформировэние лепестков перед входом в контакт 5 10 15 20 25 Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемому способу является способ полирования деталей лепестковыми кругами, при котором...
Способ полирования пластин из керамических материалов
Номер патента: 1743114
Опубликовано: 15.07.1994
Авторы: Ерусалимчик, Рогов, Савушкин, Шаляпин
МПК: B24B 1/00
Метки: керамических, пластин, полирования
СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ ПЛАСТИН ИЗ КЕРАМИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ, при котором на рабочую поверхность инструмента наносят полирующий состав, содержащий алмазный порошок, глицерин и синтетическое моющее средство, и осуществляют подачу разбавителя, отличающийся тем, что, с целью повышения качества при полировании пластин из материалов на основе Al2O3, в качестве разбавителя берут силиказоль с 3,4 - 11,0%-ным содержанием двуокиси кремния, при этом количество наносимого полирующего состава и подаваемого разбавителя берут в объемном соотношении 1 : 3 - 6 соответственно.
Способ полирования полупроводниковых пластин
Номер патента: 1792557
Опубликовано: 09.01.1995
Авторы: Башевская, Белов, Рогов, Смычникова, Тюнькова
МПК: B24B 31/00
Метки: пластин, полирования, полупроводниковых
...такжеразброс толщины по пластине.1 В процессе обработки пластин шламполупроводникового материала остается наполировальнике. Масло постепенно улету 15чивается с полировальника, особенно, еслипроводится обработка материалов группыА В (Станки снабжены вытяжной вентиляЧцией), Экспериментально установлено, чтопри продолжительности обработки 20-50мин стабильно поддерживается требуемаяплоскостность пластин арсенида галлия,При продолжительности менее 20 мип измерение плоскостности носит необъективный характер, т.к, количество снятого спластин припуска мало. Однако при этомвполне понятно, что масла на полировальнике вполне достаточно, и его количествопрактически не влияет на точность обработки пластин, Если продолжительность...
Способ полирования
Номер патента: 1517244
Опубликовано: 09.02.1995
Авторы: Баранова, Заболотская, Рогов, Татаренков
МПК: B24B 1/00
Метки: полирования
1. СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ, при котором детали и вращающемуся полировальнику сообщают относительное перемещение и создают давление между ними в объеме полирующего агента, в качестве которого берут состав, содержащий двуокись кремния, перекись водорода, вещество для регулирования pH среды и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки кремниевых пластин за счет стабилизации получения поверхностного слоя, полирование проводят при давлении 7 - 15 кПа и линейной скорости, наиболее удаленной от оси вращения точки полировальника, контактирующей с пластинами, равной 1,5 - 4,0 м/с, а в качестве вещества для регулирования pH среды берут дикарбоновую кислоту, в качестве двуокиси кремния - силиказоль, смесь которых имеет pH = 2,5 -...
Способ полирования деталей
Номер патента: 1783714
Опубликовано: 20.03.1995
Авторы: Глеб, Городкин, Кордонский, Насонов, Прохоров, Прохорчик, Шульман
МПК: B24B 3/12
Метки: полирования
1. СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ ДЕТАЛЕЙ, при котором на деталь, перемещающуюся в наведенном полюсными наконечниками магнитном поле, действуют абразивосодержащим слоем, размещенным на эквидистантной относительно детали поверхности полировальника, формируемого из магнитной жидкости, отличающийся тем, что, с целью улучщения качества полируемой поверхности и повышения производительности, магнитную жидкость непрерывно перемещают через магнитное поле, при этом поверхность полировальника формируют неоднородным магнитным полем, линии равной напряженности которого ориентируют эквидистантно детали, а величину напряженности и градиента магнитного поля в процессе полирования уменьшают по экспоненте.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве...
Способ химико-механического полирования пластин арсенида галлия
Номер патента: 1715133
Опубликовано: 20.08.1995
Авторы: Башевская, Заказнова, Колмакова, Рогов, Тюнькова
МПК: H01L 21/302
Метки: арсенида, галлия, пластин, полирования, химико-механического
СПОСОБ ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОГО ПОЛИРОВАНИЯ ПЛАСТИН АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ, включающий обработку пластины вращающимся полировальником и полирующим составом, содержащим абразив, сульфаминовую кислоту, пероксид водорода, поверхностно активное вещество и воду, отличающийся тем, что, с целью улучщения плоскостности пластин при сохранении качества поверхности, химико - механическое полирование проводят в два этапа на одном полировальнике, причем на первом этапе удаляют 80 95% припуска полирующим составом, содержащим в качестве абразива натриевый цеолит, а на втором этапе удаляют 5 20% припуска полирующим составом, содержащим в качестве абразива силиказоль, а в качестве поверхностно активного вещества используют сульфанол при следующем содержании...
Способ полирования полупроводниковых пластин
Номер патента: 1725704
Опубликовано: 20.09.1996
Авторы: Башевская, Белов, Заказнова, Колмакова, Рогов, Тюнькова
МПК: H01L 21/302
Метки: пластин, полирования, полупроводниковых
Способ полирования полупроводниковых пластин, включающий наклейку на каждый спутник трех пластин, размещение спутников в гнездах кассеты на полировальнике, воздействие на пластины вращающегося полировальника и абразивного состава при нагружении пластины, отличающийся тем, что, с целью повышения точности обработки, обработку пластин ведут при линейной скорости точки полировальника, совпадающей с положением центра кассеты, от 1,4 до 2,4 м/с и давлении от 5 до 7 кПа, причем используют абразивный состав динамической вязкостью 4 8 сП.
Раствор для электрохимического полирования металлов
Номер патента: 1429596
Опубликовано: 27.05.1999
Авторы: Воронина, Гак, Сироткин, Суворов, Шишкова
МПК: C25F 3/24
Метки: металлов, полирования, раствор, электрохимического
Раствор для электрохимического полирования металлов, преимущественно марганецсодержащих сплавов, содержащий ортофосфорную и серную кислоты, этиловый спирт, соли щелочных металлов сульфокарбоновых кислот фракции C16-C20 и воду, отличающийся тем, что, с целью снижения шероховатости и повышения отражательной способности поверхности, он дополнительно содержит моющее средство "Ама" при следующем соотношении компонентов, мас.%:Серная кислота - 30 - 42Ортофосфорная кислота - 35 - 45Этиловый спирт - 9 - 20Соли щелочных металлов сульфокарбоновых кислот фракции C16-C20 - 0,01 - 0,03Моющее средство "Ама" - 0,01 - 0,05Вода...
Раствор для электрохимического полирования металлических изделий
Номер патента: 747104
Опубликовано: 27.05.1999
Авторы: Воронина, Карязин, Кашеев, Филиппенко, Харитонов, Штанько
МПК: C25F 3/24
Метки: металлических, полирования, раствор, электрохимического
Раствор для электрохимического полирования металлических изделий, содержащий серную и ортофосфорную кислоты, этиловый спирт и органическую добавку, отличающийся тем, что, с целью повышения класса чистоты и степени блеска поверхности стальных изделий, в качестве органической добавки он содержит соли щелочных металлов сульфокарбоновых кислот фракции C16-C20 при следующем соотношении компонентов, об.%:Серная кислота (уд.вес. = 1,84 г/см3) - 35 - 45Ортофосфорная кислота (уд.вес = 1,71 г/см3) - 35 - 45Этиловый спирт (уд.вес = 0,80 г/см3) - 15 - 25Соли щелочных металлов сульфокарбоновых кислот фракции...
Раствор для электрохимического полирования металлов
Номер патента: 598363
Опубликовано: 27.05.1999
Авторы: Воронина, Карязин, Саратова, Штанько
МПК: C25F 3/16
Метки: металлов, полирования, раствор, электрохимического
Раствор для электрохимического полирования металлов, содержащий фосфорную кислоту, амид органической кислоты и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения качества полирования магнитных сплавов, содержащих ванадий, в качестве амида органической кислоты он содержит амид насыщенной карбоновой кислоты общей формулыгде R = H, C2H4OH;n = 8 - 16;при следующем соотношении компонентов, мас.%:Фосфорная кислота - 80 - 90Амид насыщенной карбоновой кислоты - 0,1 - 0,2Вода - Остальное
Состав для полирования силленитов
Номер патента: 1565298
Опубликовано: 20.01.2000
Авторы: Копылов, Кравченко, Куча, Некрасов, Чернушич
МПК: H01L 21/463
Метки: полирования, силленитов, состав
1. Состав для полирования силленитов, содержащий абразивный полирующий порошок и кислоту, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обрабатываемой поверхности, в том числе стойкости к лазерному излучению, в качестве кислоты используют кислоту из ряда: муравьиная, уксусная, молочная, щавелевая, малоновая, винная, лимонная, сульфаминовая или водный раствор по крайней мере одной из указанных кислот с водородным показателем рН < 3 при следующем соотношении компонентов, мас.%:Абразивный полирующий порошок - 0,1 - 5,0Указанная кислота или водный раствор кислота - Остальное2. Состав по п.1, отличающийся тем, что он дополнительно содержит поверхностно-активное вещество...
Состав для химико-механического полирования полупроводников и диэлектриков
Номер патента: 1797409
Опубликовано: 20.01.2000
Авторы: Волков, Котелянский
МПК: H01L 21/304
Метки: диэлектриков, полирования, полупроводников, состав, химико-механического
Состав для химико-механического полирования полупроводников и диэлектриков, содержащий наполнитель, загуститель, комплексообразователь, травящий реагент и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обрабатываемой поверхности, производительности процесса, уменьшения токсичности и коррозионного воздействия, в качестве травящего реагента использована ортофосфорная кислота, при следующем соотношении компонентов, мас.%:Наполнитель - 15 - 30Загуститель - 5 - 10Ортофосфорная кислота - 0,06 - 12Комплексообразователь - 0,003 - 6,4Вода - Остальное
Способ полирования монокристаллов дифторида бария и травитель для полирования монокристаллов дифторида бария
Номер патента: 1281085
Опубликовано: 20.06.2000
Автор: Свешникова
МПК: H01L 21/306
Метки: бария, дифторида, монокристаллов, полирования, травитель
1. Способ полирования монокристаллов дифторида бария, включающий подачу травителя на тканевый полировальник, вращение полировальника вокруг оси и прижатие обрабатываемых монокристаллов к полировальнику, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки поверхности, травитель на полировальник подают с расходом 5 10-8 - 1,66 10-7 м3/с, а полировальник вращают вокруг своей оси с угловой скоростью 1,0 - 1,66 об/с.2. Травитель для полирования монокристаллов дифторида бария на основе водных растворов соляной и серной...
Состав для полирования монокристаллов
Номер патента: 1450438
Опубликовано: 27.05.2002
Авторы: Арзуманян, Журавлева, Нестерова, Павлов, Циглер
МПК: C30B 29/10, C30B 33/00
Метки: монокристаллов, полирования, состав
Состав для полирования монокристаллов, включающий этиленгликоль и неорганическую кислоту, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности полирования монокристаллов -йодноватой кислоты с высоким классом чистоты поверхности, в качестве неорганической кислоты он содержит 24,5-25,7%-ную азотную кислоту, а дополнительно включает раствор насыщенной йодноватой кислоты и алмазный микропорошок при следующем количественном соотношении ингредиентов, %:Этиленгликоль - 9-1124,5-25,7%-ная азотная кислота - 65,5-69,5Раствор насыщенной йодноватой кислоты - 6-8Алмазный микропорошок - Остальное
Способ виброконтактного полирования
Номер патента: 1153468
Опубликовано: 10.04.2005
Авторы: Баев, Иванов, Николаев, Носов
МПК: B24B 1/00
Метки: виброконтактного, полирования
Способ виброконтактного полирования, при котором к изделию с двух сторон через упругие элементы поджимают абразивные ленты и в зону обработки подают технологическую жидкость, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности за счет сокращения вспомогательного времени, изменяют величину зазора между основой ленты и изделием путем создания в указанном зазоре заданной величины давления технологической жидкости.
Способ магнитно-абразивного полирования наружных цилиндрических поверхностей
Номер патента: 1216907
Опубликовано: 10.01.2014
Авторы: Бабук, Дружинин, Морозов, Тарун, Хомич, Чачин, Шлепов
МПК: B24B 31/112
Метки: магнитно-абразивного, наружных, поверхностей, полирования, цилиндрических
1. Способ магнитно-абразивного полирования наружных цилиндрических поверхностей ферромагнитным абразивным порошком в магнитном поле, при котором чашеобразные полюсные наконечники с кольцевой рабочей зоной располагают симметрично оси детали, задают детали и полюсным наконечникам вращение и движение подачи, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и качества обработки, ось детали смещают за пределы наружных поверхностей полюсных наконечников на величину (0,1-0,6)d, где d - диаметр детали.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что полюсные наконечники располагают так, что их торцовые поверхности образуют угол
Способ полирования пера лопаток гтд лепестковым кругом
Номер патента: 1732604
Опубликовано: 10.01.2014
Автор: Свинтицкий
МПК: B24B 19/14
Метки: гтд, кругом, лепестковым, лопаток, пера, полирования
Способ полирования пера лопаток ГТД лепестковым кругом, при котором лопатке сообщают возвратно-поступательное перемещение относительно инструмента, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки, полирование производят с деформацией лепесткового круга, при которой хорды дуги контакта круга с обрабатываемой поверхностью спинки и корыта лопатки равны.