Способ химико-механического полирования полупроводниковых пластин и стеклянных заготовок

(5 Ц 5 Н 01 Е 21 304 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИК ПАТЕНТУ Комитет Российской Федерации по патентам и товарным знакам(71) Центральный научно-исследовательский институт пленочных материалов и искусственной кожи(73) Центральный научно-исследовательский институт пленочных материалов и искусственной кожи(54) СПОСОБ ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОГО ПОЛИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН И СТЕКЛЯННЫХ ЗАГОТОВОК(57) Сущность изобретения: химико-механическое лолирование проводят, как обычно, В качестве полировальника используют нетканый игпопробивной материал, состоящий из полиэтипентерефтальных волокон и пропитанный полиуретаном.2002338 45 50 55 Изобретение относится к технологии обработки материалов электронной техники и может быть использовано для химико- механической полировки полупроводниковых пластин, фотошаблонных заготовок и стекол для кинескопов,Известен способ химико-механического полирования полупроводниковых пластин и стеклянных заготовок, включающий укрепление полируемого материала на держателе и полировальника на притире с последующим их контактированием при взаимном вращении и непрерывном нанесении полировального состава на полировальник с предварительной его пропиткой, При таком способе наблюдается недостаточная долговечность материала в процессе полирования, низкая скорость съема и малый выход годных пластин.Цель изобретения - повышение процента выхода годных пластин, скорости их съема и увеличение долговечности материала(полировальника) при расширении ассортимента полируемого материала.Цель достигается тем, что в способе хи. мико-механическоГо полирования полупроводниковых пластин и стеклянных заготовок, включающем укрепление полируемого материала на держателе и полировальника на притире с последующим их контактированием при взаимном вращении и непрерывном нанесении полировального состава на полировальник с предварительной его пропиткой, в качестве полировальника используют материал, состоящий из смеси малоусадочных полиэтилентерефталатных волокон при их содержании от 30 до 100 и высокоусадочн ых полиэтилентерефталатных волокон при их содержании до 70%, пропитанный полиуретаном при его содержании в материале от 15 до 650 .П р и м е р 1, Укрепляют пластину кремния на держателе, полировальный материал - на притире, В качестве полировального материала используют нетканый иглопробивной материал, состоящий из смеси малоусадочных полиэтилентерефталатных ф ормул а и зо бр ете н и я СПОСОБ ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОГО ПОЛИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН И СТЕКЛЯННЫХ ЗАГОТОВОК, включающий укрепление полируемого материала на держателе и полировальника на притире с последующим их контактированием при взаимном вращении и непрерывном нанесении полировального состава на полировальник, отличающийся волокон при их содержании от 30 до 100 и высокоусадочных полиэтилентерефталатных волокон при их содержании до 70 .Нетканый иглопробивной материал пропитывают полиуретаном до его содержания в материале от 15 до 65. Далее держатель с полируемым материалом взаимодействует с притиром, на котором укреплен материал 10 (полировальник), при этом взаимном вращении и непрерывном нанесении полировального состава на полировальник с предварительной его пропиткой.В качестве малоусадочных полиэтилен терефталатных волокон использованы волокна, полученные из расплава полимера, синтезированного путем поликонденсации этиленгликоля с терефталевой кислотой, в качестве высокоусадочных полиэтилентерефталатных волокон - волокна, полученные из расплава полимера, синтезированного путем поликонденсации этиленгликоля с терефталевой кислотой, содержащей 4-8% изофталевой кислоты,Полиуретан синтезирован на основе полиэтиленбутиленгликольадипината, 4,4 -дифенилметандиизоцианата и этиленгликоля, При этом долговечность материала составляет от 160 до 240 циклов, Скорость сьема пластин кремния 18-2,4 мкм/мин, а процесс выхода годных пластин достигает 60- 70%.П р и м е р 2, То же, что в примере 1. Надержателе закрепляют стеклянную заготовку. При этом долговечность материала составляет от 200 до 270 циклов, скорость съема стеклянных заготовок от 2,5 до 4,0 мкм/мин, процент выхода годных пластин от 50 до 65 . Предлагаемый способ позволяет улучшить показатели процесса химико-механического полирования материалов посравнению с известным в 10 - 12 раз. 56) Никифорова-Денисова С.Н. Механическая и химическая обработка. М.: Высшаяшкола, 1989, с. 40. тем, что в качестве полировальника используют нетканый иглопробивной материал, состоящий из смеси малоусадочных полиэтилентерефталатных волокон при их содержании 30 - 1000 и высокоусадочных полиэтилентерефталатных волокон при их содержании до 70%, пропитанный полиуретаном при его содержании в материале 15 - 65.