Способ полирования монокристаллов дифторида бария и травитель для полирования монокристаллов дифторида бария

Номер патента: 1281085

Автор: Свешникова

Описание

1. Способ полирования монокристаллов дифторида бария, включающий подачу травителя на тканевый полировальник, вращение полировальника вокруг оси и прижатие обрабатываемых монокристаллов к полировальнику, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки поверхности, травитель на полировальник подают с расходом 5 10-8 - 1,66 10-7 м3/с, а полировальник вращают вокруг своей оси с угловой скоростью 1,0 - 1,66 об/с.
2. Травитель для полирования монокристаллов дифторида бария на основе водных растворов соляной и серной кислот, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки поверхности, он содержит указанные компоненты в следующем соотношении, об.%:
Соляная кислота - 0,1 - 2,0
Серная кислота - 0,1 - 1,0
Вода - Остальное

Заявка

3894742/25, 04.04.1985

Институт физики полупроводников СО АН СССР

Свешникова Л. Л

МПК / Метки

МПК: H01L 21/306

Метки: бария, дифторида, монокристаллов, полирования, травитель

Опубликовано: 20.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1281085-sposob-polirovaniya-monokristallov-diftorida-bariya-i-travitel-dlya-polirovaniya-monokristallov-diftorida-bariya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ полирования монокристаллов дифторида бария и травитель для полирования монокристаллов дифторида бария</a>

Похожие патенты