Состав для химико-механического полирования полупроводников и диэлектриков
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1797409
Авторы: Волков, Котелянский
Описание
Наполнитель - 15 - 30
Загуститель - 5 - 10
Ортофосфорная кислота - 0,06 - 12
Комплексообразователь - 0,003 - 6,4
Вода - Остальное
Заявка
4921871/25, 27.03.1991
Институт радиотехники и электроники АН СССР
Волков А. И, Котелянский И. М
МПК / Метки
МПК: H01L 21/304
Метки: диэлектриков, полирования, полупроводников, состав, химико-механического
Опубликовано: 20.01.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1797409-sostav-dlya-khimiko-mekhanicheskogo-polirovaniya-poluprovodnikov-i-diehlektrikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Состав для химико-механического полирования полупроводников и диэлектриков</a>
Предыдущий патент: Устройство для установки тензорезистора
Следующий патент: Загрузочное устройство печи кипящего слоя
Случайный патент: Способ получения молочно-белкового сгустка