Состав для химико-механического полирования полупроводников и диэлектриков

Номер патента: 1797409

Авторы: Волков, Котелянский

Описание

Состав для химико-механического полирования полупроводников и диэлектриков, содержащий наполнитель, загуститель, комплексообразователь, травящий реагент и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обрабатываемой поверхности, производительности процесса, уменьшения токсичности и коррозионного воздействия, в качестве травящего реагента использована ортофосфорная кислота, при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Наполнитель - 15 - 30
Загуститель - 5 - 10
Ортофосфорная кислота - 0,06 - 12
Комплексообразователь - 0,003 - 6,4
Вода - Остальное

Заявка

4921871/25, 27.03.1991

Институт радиотехники и электроники АН СССР

Волков А. И, Котелянский И. М

МПК / Метки

МПК: H01L 21/304

Метки: диэлектриков, полирования, полупроводников, состав, химико-механического

Опубликовано: 20.01.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1797409-sostav-dlya-khimiko-mekhanicheskogo-polirovaniya-poluprovodnikov-i-diehlektrikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Состав для химико-механического полирования полупроводников и диэлектриков</a>

Похожие патенты