Состав для полирования силленитов

Номер патента: 1565298

Авторы: Копылов, Кравченко, Куча, Некрасов, Чернушич

Описание

1. Состав для полирования силленитов, содержащий абразивный полирующий порошок и кислоту, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обрабатываемой поверхности, в том числе стойкости к лазерному излучению, в качестве кислоты используют кислоту из ряда: муравьиная, уксусная, молочная, щавелевая, малоновая, винная, лимонная, сульфаминовая или водный раствор по крайней мере одной из указанных кислот с водородным показателем рН < 3 при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Абразивный полирующий порошок - 0,1 - 5,0
Указанная кислота или водный раствор кислота - Остальное
2. Состав по п.1, отличающийся тем, что он дополнительно содержит поверхностно-активное вещество синтанол или вторичный алкилсульфонат натрия в количестве 0,05 - 0,50 мас.%.
3. Состав по пп.1 и 2, отличающийся тем, что он дополнительно содержит стабилизатор состава - оксиэтилцеллюлозу или соединение из ряда лигносульфонатов в количестве 0,1 - 1,0 мас.%.

Заявка

4384394/25, 24.02.1988

Институт радиотехники и электроники АН СССР

Некрасов Е. М, Копылов Ю. Л, Кравченко В. Б, Куча В. В, Чернушич А. П

МПК / Метки

МПК: H01L 21/463

Метки: полирования, силленитов, состав

Опубликовано: 20.01.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1565298-sostav-dlya-polirovaniya-sillenitov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Состав для полирования силленитов</a>

Похожие патенты