Состав для полирования силленитов
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Абразивный полирующий порошок - 0,1 - 5,0
Указанная кислота или водный раствор кислота - Остальное
2. Состав по п.1, отличающийся тем, что он дополнительно содержит поверхностно-активное вещество синтанол или вторичный алкилсульфонат натрия в количестве 0,05 - 0,50 мас.%.
3. Состав по пп.1 и 2, отличающийся тем, что он дополнительно содержит стабилизатор состава - оксиэтилцеллюлозу или соединение из ряда лигносульфонатов в количестве 0,1 - 1,0 мас.%.
Заявка
4384394/25, 24.02.1988
Институт радиотехники и электроники АН СССР
Некрасов Е. М, Копылов Ю. Л, Кравченко В. Б, Куча В. В, Чернушич А. П
МПК / Метки
МПК: H01L 21/463
Метки: полирования, силленитов, состав
Опубликовано: 20.01.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1565298-sostav-dlya-polirovaniya-sillenitov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Состав для полирования силленитов</a>
Предыдущий патент: Способ измерения удельного заряда частиц
Следующий патент: Устройство для обработки призабойной зоны скважины
Случайный патент: Устройство для исследования двигательной активности мышц и энергообмена у животных