Архив за 1994 год

Номер патента: 1533118

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Ермаков, Крынский, Плешков

МПК: B22F 3/02

Метки: порошка, пресс-форма, прессования

ПРЕСС-ФОРМА ДЛЯ ПРЕССОВАНИЯ ИЗДЕЛИЙ ИЗ ПОРОШКА, преимущественно сферических, содержащая корпус с центральным отверстием, верхний и нижний пуансоны, расположенные по оси, установленную в корпусе обойму с конической внутренней полостью и размещенный внутри нее упругий кольцевой элемент, отличающаяся тем, что, с целью экономии порошка, снижения трудоемкости изготовления и повышения качества изделий путем прессования в размер, она снабжена амортизаторами, размещенными на торцах обоймы, обойма и упругий кольцевой элемент выполнены разъемными в горизонтальной плоскости, наружная поверхность каждой части кольцевого элемента выполнена с прогибом, величина которого соответствует величине упругой деформации материала кольца, а рабочие торцы...

Номер патента: 1743090

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Архипенко, Большаков, Никитин

МПК: B23K 26/00

Метки: лазерной

СПОСОБ ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ, при котором плотность мощности в пятне нагрева лазерного излучения, предварительно пропускаемого через диафрагму, изменяют пропорционально скорости перемещения обрабатываемой заготовки, корректируя расстояние между поверхностью последней и фокусом лазерного излучения, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки по криволинейной траектории с малым радиусом кривизны, плотность мощности в зоне обработки поддерживают пропорциональной расстоянию от этой зоны до центра кривизны траектории перемещения луча, для чего луч смещают относительно отверстия диафрагмы в направлении от центра кривизны траектории его перемещения.

Номер патента: 1471901

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Брюхно, Громов, Добровичан, Коновалов, Опалев, Шер

МПК: H01L 21/82

Метки: диэлектрической, изоляцией, интегральных, компонентов, кремниевых, структур, схем

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ КОМПОНЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, включающий формирование на кремниевой монокристаллической подложке диэлектрического слоя, изготовление из этого слоя маски с окнами для вытравливания разделительных канавок, вытравливание в подложке разделительных канавок, формирование маски с окнами для вытравливания подложки при получении монокремниевых участков с уменьшенной толщиной, формирование монокремниевых участков с уменьшенной толщиной вытравливанием подложки через окна маски, заращивание окон этой маски оксидом кремния, осаждения на полученный рельеф опорного слоя поликремния, удаление части подложки до вскрытия монокремниевых участков с уменьшенной и увеличенной толщиной,...

Номер патента: 782692

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Волков, Зейгарник, Каганов, Пашков, Рикман, Смирнов

МПК: H02K 44/08

Метки: автономный, генератор, магнитогидродинамический

АВТОНОМНЫЙ МАГНИТОГИДРОДИНАМИЧЕСКИЙ ГЕНЕРАТОР, содержащий канал, электромагнит, конденсаторную батарею начального возбуждения, включенную через управляемый ключ параллельно обмотке электромагнита, и нагрузку, отличающийся тем, что, с целью упрощения МГД-генератора и получения на его выходе серии униполярных импульсов, последовательно с конденсаторной батареей начального возбуждения и параллельно с обмоткой электромагнита введены частотные управляемые ключи, соединенные с устройством для их переключения в противофазе.

Номер патента: 657707

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Дядченко, Кулешов, Кураев, Лыжин, Рябоконь, Сучков

МПК: G01M 9/04

Метки: аэродинамической, регулируемое, сопло, трубы

1. РЕГУЛИРУЕМОЕ СОПЛО АЭРОДИНАМИЧЕСКОЙ ТРУБЫ, содержащее корпус, соединенный со стенками, выполненными в виде последовательно соединенных между собой жестких и гибких элементов, образующих входной, дозвуковой и сверхзвуковой участки сопла, при этом жесткие элементы соединены с корпусом посредством приводов, и перегородку, отличающееся тем, что, с целью упрощения процесса регулирования и улучшения качества потока, оно снабжено стержнем, размещенным на жестком элементе дозвуковой части сопла и соединенным шарнирно с перегородкой и жестким элементом сверхзвуковой части сопла и посредством тяги с корпусом, соединенным в свою очередь с жестким элементом входного участка сопла с помощью шарнирного параллелелограмма.2. Сопло по п. 1,...

Номер патента: 1535156

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Котов, Кривопусков

МПК: B64D 33/02, G01M 9/06

Метки: воздухозаборника, дроссельной, модели, характеристики

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДРОССЕЛЬНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ МОДЕЛИ ВОЗДУХОЗАБОРНИКА, например, в аэродинамической трубе с регулируемым органом и индикатром помпажа, заключающийся в дискретном перемещении регулируемого органа от исходного положения с заданным шагом, в измерении на каждом шаге параметров дроссельной характеристики - коэффициентов восстановления полного давления и расхода воздуха f, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени эксперимента, после перемещения регулируемого органа и измерения параметров и f f сопоставляют измеренное значение коэффициента восстановления полного давления

Номер патента: 1589495

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Титкова, Ушаков

МПК: B23D 31/00

Метки: резки

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕЗКИ, содержащее корпус, два режущих поворотных диска с пазами, образующими режущие кромки, и привод поворота режущих дисков, отличающееся тем, что, с целью расширения технологических возможностей и повышения качества получаемых изделий, оно снабжено шарнирно соединенными с режущими дисками скалками, режущие диски выполнены ступенчатыми с утонением к периферии, пазы с режущими кромками расположены в утоненной части режущих дисков, в их утолщенной части выполнены радиальные пазы и в них расположен один из концов скалок, привод поворота режущих дисков выполнен в виде ходового винта с двумя гайками с пазами на наружной поверхности, установленными с возможностью синхронного возвратно-поступательного перемещения, при этом...

Номер патента: 1589849

Опубликовано: 15.02.1994

Автор: Евсеенков

МПК: G21C 13/06

Метки: пробка, реактора, уплотнительная, ядерного

УПЛОТНИТЕЛЬНАЯ ПРОБКА ЯДЕРНОГО РЕАКТОРА, содержащая центральный стержень с каналами и опорным утолщением, запирающий механизм, охватывающий стержень, нажимную шайбу с запорным кольцом и уплотнительными элементами, расположенную на центральном стержне и контактирующую с запирающим механизмом и упругий элемент, расположенный между торцами опорного утолщения и нажимной шайбой, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности уплотнения в аварийной ситуации, контактирующие между собой поверхности нажимной шайбы и запирающего механизма выполнены сферическими, а на торце запорного кольца выполнены радиальные пазы.

Номер патента: 1744963

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Близник, Глазунов, Капульцевич, Паршина, Салихова, Сычев

МПК: C12N 1/16, C12N 15/00, C12P 21/00 ...

Метки: candida, valida, белка, дрожжей, кормового, продуцент, штамм

Штамм дрожжей Candida valida ВКПМ Y-1359 - продуцент кормового белка.

Номер патента: 1745044

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Косьмирова, Лещенко, Торопчин

МПК: G01N 29/04

Метки: акустического

1. СПОСОБ АКУСТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ИЗДЕЛИЙ, заключающийся в том, что в контролируемом изделии и окружающей изделие акустической среде с помощью размещенных в ней у поверхности изделия электродов возбуждают механические колебания, измеряют параметры этих колебаний и по результатам измерения определяют качество контролируемого изделия, отличающийся тем, что, с целью упрощения контроля изделий, в качестве акустической среды используют плазму, а на электроды подают электрическое напряжение.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что используют плазму, полученную за счет термической диссоциации газа, прилегающего к поверхности изделия или выделяемого его поверхностью.3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что созданную плазму, изолируют от...

Номер патента: 494032

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Мельников, Мельникова, Сапожникова

МПК: C07D 251/16, C07D 251/48, C07D 251/54 ...

Метки: n-карбалкоксиэтилендиаминопроизводных, симм, триазина

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ N-КАРБАЛКОКСИЭТИЛЕНДИАМИНОПРОИЗВОДНЫХ СИММ-ТРИАЗИНА общей формулы где Y - низший алкил, NRR'-группа, где R и R - водород, алкил, содержащий 1 - 5 атомов углерода, алкенил, фенил, замещенный фенил;Х - хлор, алкилтио-, алкокси, NRR'-группа, где R и R' имеют указанные значения;R - низший алкил, отличающийся тем, что производные триазина общей формулы

Номер патента: 547133

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Кравченко, Солдаткин, Ференец

МПК: G01B 5/24

Метки: аэродинамических, углов

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ АЭРОДИНАМИЧЕСКИХ УГЛОВ, содержащий обтекаемое тело с приемником давления, пневмоэлектрический преобразователь, электропневматический переключатель, опорный генератор и следящий привод с обмоткой возбуждения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности преобразования, в него дополнительно введен коммутатор фазы, включенный между опорным генератором и обмоткой возбуждения следящего привода.

Номер патента: 1591700

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Евсеев, Иванов, Мазнев, Федотов

МПК: G21K 5/08

Метки: облучения, рулонированного

1. УСТАНОВКА ДЛЯ ОБЛУЧЕНИЯ РУЛОНИРОВАННОГО МАТЕРИАЛА, содержащая ускоритель электронов с устройством вывода пучка, снабженным закрытой фольгой прямоугольной апертурой, устройство транспортировки материала с двумя блоками роликов, установленными по разные стороны от устройства вывода пучка, причем каждому ролику одного блока соответствует ролик в другом блоке, оси роликов обоих блоков расположены в плоскостях, проходящих под отличным от 90o углом к плоскости фольги устройства вывода пучка, отличающаяся тем, что, с целью расширения диапазона толщин обучаемых материалов при высоком коэффициенте использования излучения, плоскости размещения осей роликов в обоих блоках параллельных друг другу, верхний ролик одного блока расположен...

Номер патента: 1591750

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Брюхно, Коновалов, Лебедев, Шер

МПК: H01L 21/18

Метки: микросхем

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОСХЕМ, включающий создание в кремниевой подложке n-типа первых диффузионных областей p-типа, формирование канавок, разделяющих p- и n-области в подложке, формирование диэлектрической пленки на поверхности канавок, осаждение поликремния, удаления материала подложки до вскрытия дна канавок и создание во вскрытых изолированных канавками участках кремниевой подложки диффузионных базовых и эмиттерных областей n-p-n- и p-n-p- транзисторных структур, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных микросхем за счет повышения воспроизводимости параметров распределения примеси в p-n-p- транзисторных структурах, первые диффузионные области p-типа в кремниевой подложке создают глубиной, не превышающей разность между...

Номер патента: 1591776

Опубликовано: 15.02.1994

Автор: Ваганов

МПК: G01L 1/22, H01L 29/84

Метки: датчик, микроэлектронный

МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ДАТЧИК, содержащий корпус, мембранный чувствительный элемент, выполненный в виде монокристаллической кремниевой пластины с контактными площадками, расположенными на планарной поверхности пластины вне площади мембраны, тензорезисторов и металлической разводки, крышку-кондуктор, соединенную с планарной поверхностью чувствительного элемента со сквозными отверстиями, расположенными в соответствии с расположением контактных площадок, и жесткие внешние проволочные выводы, отличающийся тем, что, с целью снижения стоимости за счет возможности использования групповых методов изготовления при одновременном уменьшении габаритов и температурной погрешности, повышении надежности, в датчик дополнительно введена втулка со сквозными...

Номер патента: 1699251

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Лапидус, Малышев, Скворцов, Тэгай

МПК: G01N 22/00

Метки: градуировки, датчика, параметров, полупроводниковых, резонансного

СПОСОБ ГРАДУИРОВКИ РЕЗОНАНСНОГО ДАТЧИКА ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ, заключающийся в расположении образцов, аттестованных по удельному сопротивлению на измерительное отверстие резонансного датчика, и снятии зависимости выходного сигнала резонансного датчика от электрофизического параметра образцов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности при измерении эпитаксиальных слоев на проводящих изотипных подложках, в качестве образцов, аттестованных по удельному сопротивлению, используют полупроводниковые образцы толщиной, не превышающей максимальную толщину измеряемых эпитаксиальных слоев, на тыльную поверхность которых нанесен металлический слой, измеряют толщину полупроводникового образца, а в качестве электрофизического...

Номер патента: 1648121

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Малиновский, Медведев, Паутов, Тепленчук, Федоров, Чехович

МПК: F04D 29/60

Метки: агрегат, насосный

НАСОСНЫЙ АГРЕГАТ, содержащий насос, приводной электродвигатель, установленный на несущей проставке, крепящейся к корпусу насоса, патрубки которого приварены к трубопроводам контура, и опорные устройства, каждое из которых выполнено в виде опорной плиты, опирающейся на ролики, и пакета демпферных тарельчатых пружин, собранных в стакане и поджимаемых через диск регулировочным винтом, ввернутым в резьбовую втулку опоры, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности путем определения и регулирования нагрузок на опорные устройства при тепловых расширениях трубопроводов контура, каждое опорное устройство снабжено стержнем, в регулировочном винте, диске и дне стакана тарельчатых пружин каждого опорного устройства выполнены соосные...

Номер патента: 1648157

Опубликовано: 15.02.1994

Автор: Казарян

МПК: G01L 7/08, G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный, матричный

ЕМКОСТНЫЙ МАТРИЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ по авт. св. No 1577483, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет одновременного измерения давления, температуры и теплового потока, в него дополнительно введены первая и вторая диэлектрические пленки, выполненные из полиамидокислотного лака, причем на одной из поверхностей каждой из них сформированы первые электроды, выполненные из меди, с соответствующими выводами, на каждый первый электрод нанесен второй электрод, выполненный из никеля, при этом вторые электроды соединены электрически друг с другом и общим выводом, а с зазором от всех электродов и выводов нанесен металлизированный экран, причем площадь первого электрода равна площади обкладки конденсатора...

Номер патента: 1648228

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Огородников, Преслицкий

МПК: H02K 44/06

Метки: индукционного, линейного, насоса, обмотка, трехфазного

ОБМОТКА ТРЕХФАЗНОГО ЛИНЕЙНОГО ИНДУКЦИОННОГО НАСОСА, содержащая параллельные ветви, образованные соединением катушечных групп в фазных зонах у полюсов, и имеющая постоянное число витков на длине полюсного деления в средней части и уменьшенное число витков на длине полюсного деления в концевых частях, отличающаяся тем, что, с целью повышения развиваемого давления и КПД, обмотка выполнена с нечетным числом полюсных делений, а одна из параллельных ветвей обмотки содержит фазные зоны концевых полюсных делений, которые соединены последовательно между собой и с фазными зонами одного из полюсных делений с постоянным числом витков.

Номер патента: 548984

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Белоусов, Витолс, Китари-Оглу, Корельская, Макарова, Смирнов

МПК: C08F 8/24

Метки: катионитов, фосфоновокислотных

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОСФОНОВОКИСЛОТНЫХ КАТИОНИТОВ путем хлорметилирования структурированных сополимеров стирола с дивинилбензолом в присутствии безводного хлористого олова или хлористого цинка и фосфорилирования, отличающийся тем, что, с целью повышения сорбционных характеристик по отношению к ионам тяжелых металлов и упрощения технологии получения катионитов, хлорметилирование осуществляют в присутствии треххлористого фосфора.

Номер патента: 1538754

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Попов, Шар

МПК: G06F 3/02

Метки: защиты, помех

УСТРОЙСТВО ЗАЩИТЫ ОТ ПОМЕХ, содержащее элемент ИЛИ - НЕ, элемент И - НЕ и триггер, причем выход элемента ИЛИ - НЕ соединен с первым входом элемента И - НЕ, выход которого соединен с входом сброса триггера, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности защиты от помех путем защиты сигнала "Ответ" как в низком, так и в высоком уровне, в него введены второй и третий элементы И - НЕ, причем вход "Ответ" устройства соединен с входом элемента ИЛИ - НЕ и первым входом второго элемента И - НЕ, выход которого соединен с входом установки триггера, а второй и третий входы второго элемента И - НЕ соединены соответственно с входами сигналов "Ввод" и "Вывод" устройства для подключения к выходам "Ввод" и "Вывод" асинхронного микропроцессорного...

Номер патента: 1476997

Опубликовано: 15.02.1994

Автор: Сосунов

МПК: F02C 7/04

Метки: воздухозаборник, газотурбинного, двигателя, надувной

НАДУВНОЙ ВОЗДУХОЗАБОРНИК ГАЗОТУРБИННОГО ДВИГАТЕЛЯ, содержащий цилиндрический каркас с закрепленными на нем эластичным чехлом и прорезиненной оболочкой и установленный на каркасе патрубок подвода сжатого воздуха, отличающийся тем, что, с целью предупреждения образования льда, он снабжен магистралью с электромагнитным клапаном, торцовая часть каркаса отогнута с образованием камеры, внутренняя поверхность каркаса снабжена продольными ребрами с выполненными в них окнами, а сам каркас размещен между чехлом и оболочкой с образованием рабочей полости между ним и последней, сообщенной с камерой, магистраль подключена к патрубку, а патрубок - к камере, причем чехол и оболочка скреплены между собой через окна.

Номер патента: 788926

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Ваганов, Носкин

МПК: G01L 9/06

Метки: давления, полупроводниковый

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ, содержащий мембранный чувствительный элемент в виде профилированной монокристаллической кремневой пластины, на планарной стороне которой в площади мембраны выполнены тензорезисторы, соединенные токопроводящими областями с контактными площадками, размещенными за пределами мембраны, внешние выводы и держатель в виде пластины из того же материала, соединенный с профилированной стороной чувствительного элемента, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности за счет исключения контакта внешних выводов с измеряемой средой, на профилированной стороне чувствительного элемента выполнены лунки, на дне которых размещены контактные площадки, электрически соединенные с внешними выводами, жестко...

Номер патента: 1026564

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Довжик, Зубрицкий, Коган, Коломиец, Котлецов, Лантратова, Любин, Шило

МПК: G03F 1/00

Метки: фотошаблон

1. Фотошаблон, содержащий подложку с двухслойным маскирующим покрытием на основе халькогенидных стеклообразных полупроводников, прилегающий к подложке нижний слой которого выполнен из материала системы As - Se, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности и износостойкости конструкции материал нижнего слоя имеет полимеризованную структуру, а верхний слой выполнен из материала AsI-xSex, где 0,45 x 0,55 с деполимеризованной структурой, причем толщина нижнего слоя удовлетворяет условию 0,05 h

Номер патента: 1651455

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Архипенко, Большаков, Никитин

МПК: B23K 26/00

Метки: лазера, луча, прерывания, технологической, установки

СПОСОБ ПРЕРЫВАНИЯ ЛУЧА ЛАЗЕРА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ УСТАНОВКИ, при котором канал прохождения луча периодически перекрывают и открывают по команде с устройства управления двумя последовательно установленными в нем быстродействующими и медленнодействующим затворами, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости прерывания луча путем уменьшения массы исполнительного элемента затвора за счет снижения тепловых нагрузок на него, команды на закрытие обоих затворов подают одновременно, а команду на открытие медленнодействующего затвора - с опережением команды на открытие быстродействующего затвора на величину не более времени срабатывания медленнодействующего затвора и не менее разности времени срабатывания затворов.

Номер патента: 1651628

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Батаков, Царев

МПК: F24F 13/10

Метки: воздуха, расхода

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ РАСХОДА ВОЗДУХА, содержащее регулировочные пластины, закрепленные на регуляторе расхода воздуха установленном в воздуховоде, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности в работе устройства, регулятор расхода воздуха выполнен в виде стержня, установленного с возможностью поворота параллельно стенкам воздуховода, при этом регулировочные пластины закреплены на стержне под острым углом относительно его оси.

Номер патента: 1074367

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Данильченко, Малков, Нестеров, Уфимцев

МПК: H03H 3/02

Метки: дисковых, кристаллических, элементов

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИСКОВЫХ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ, заключающийся в разделке кристалла на заготовки заданного угла среза, шлифовании, круглении, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных элементов и снижения трудоемкости изготовления их путем повышения точности расположения мест крепления кристаллического элемента и исключения операции повторного нахождения кристаллографической оси Z1, шлифование граней XY1 осуществляют до размера, меньшего диаметра дискового кристаллического элемента на 2 - 6% .

Номер патента: 1182764

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Карапетьян, Панфилова, Салдадзе, Шарф

МПК: C07C 13/12, C07C 5/05

Метки: циклопентена

1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЦИКЛОПЕНТЕНА селективным гидрированием циклопентадиена при комнатной температуре в атмосфере водорода в присутствии комплексного палладийсодержащего катализатора, отличающийся тем, что, с целью удешевления и повышения производительности процесса, в качестве катализатора используют макропористый полиаминный анионит АН-221, содержащий 2,5 10-5 - 6,0 10-5 г ат палладия на 1 г анионита.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что процесс ведут при давлении водорода 1 атм.

Номер патента: 1480683

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Прокофьев, Урицкий, Шаталов

МПК: H01L 21/82

Метки: диэлектрической, изоляцией, интегральных, компонентов, кремниевых, структур, схем

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ КОМПОНЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, включающий вытравливание в кремниевой подложке рельефа, формирование на рельефе слоя изолирующего оксида кремния, осаждение легированного слоя поликремния, наращивание опорного слоя поликремния, удаление части подложки с вскрытием монокремниевых участков, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических характеристик интегральных схем за счет уменьшения и стабилизации заряда в слое изолирующего оксида кремния, слой легированного поликремния осаждают толщиной 0,5 - 2,0 мкм, а в качестве легирующего элемента используют бор с концентрацией в слое поликремния 1017 - 2

Номер патента: 1598842

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Евсеев, Иванов, Мазнев

МПК: H05H 5/00

Метки: облучения

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБЛУЧЕНИЯ, содержащее источник пучка ускоренных частиц и контейнер индивидуальной радиационной защиты, в котором размещены камера системы формирования и вывода пучка, соединенная с источником заряженных частиц каналом транспортировки, при этом плоскость выпускного окна камеры расположена параллельно оси канала транспортировки, а камера снабжена средствами для ее поворота относительно оси канала транспортировки, отличающееся тем, что, с целью упрощения эксплуатации устройства, стенки камеры, противолежащая выпускному окну, снабжена противовесом из радиационного защитного материала, при этом суммарная толщина противовеса и прилегающей к нему стенки контейнера равна толщине полного поглощения проникающего излучения.2....