Тэгай

Номер патента: 1699251

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Лапидус, Малышев, Скворцов, Тэгай

МПК: G01N 22/00

Метки: градуировки, датчика, параметров, полупроводниковых, резонансного

СПОСОБ ГРАДУИРОВКИ РЕЗОНАНСНОГО ДАТЧИКА ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ, заключающийся в расположении образцов, аттестованных по удельному сопротивлению на измерительное отверстие резонансного датчика, и снятии зависимости выходного сигнала резонансного датчика от электрофизического параметра образцов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности при измерении эпитаксиальных слоев на проводящих изотипных подложках, в качестве образцов, аттестованных по удельному сопротивлению, используют полупроводниковые образцы толщиной, не превышающей максимальную толщину измеряемых эпитаксиальных слоев, на тыльную поверхность которых нанесен металлический слой, измеряют толщину полупроводникового образца, а в качестве электрофизического...

Номер патента: 1024808

Опубликовано: 23.06.1983

Авторы: Ильин, Комаров, Крылов, Лидоренко, Салохин, Тэгай

МПК: G01N 21/41

Метки: гигрометр

...прозрачнымистержнями световодами и подключенными к измерительному прибору по схемевычитания электрических сигналов.На чертеже представлена схема гигрометра.Гигрометр содержит источник 1 света, входной световод 2, фотоприемник3 измерительный прибор 4, фотоприемник 5, выходные световоды б и 7, влагочувствительный слой .8 в виде пленки неорганической соли, оптическипрозрачные стержни 9 и 10 с матированными боковыми гранями, отражающее покрытие 11, нанесенное на нижние торцы стержней 9 и 10.Оптически прозрачные стержни вгигрометре могут быть выполнены в ви. З 0 де прямоугольных стержней для согла"сования с свеоводами прямоугольного сечения, В случае использованиясветоводов круглого сечения можноприменить стержни в виде цилиндрицес...