Котлецов
Фотошаблон и способ его изготовления
Номер патента: 1026564
Опубликовано: 15.02.1994
Авторы: Довжик, Зубрицкий, Коган, Коломиец, Котлецов, Лантратова, Любин, Шило
МПК: G03F 1/00
Метки: фотошаблон
1. Фотошаблон, содержащий подложку с двухслойным маскирующим покрытием на основе халькогенидных стеклообразных полупроводников, прилегающий к подложке нижний слой которого выполнен из материала системы As - Se, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности и износостойкости конструкции материал нижнего слоя имеет полимеризованную структуру, а верхний слой выполнен из материала AsI-xSex, где 0,45 x 0,55 с деполимеризованной структурой, причем толщина нижнего слоя удовлетворяет условию 0,05 h
Дифракционное устройство для измерения ширины элементов топологического рисунка
Номер патента: 1597543
Опубликовано: 07.10.1990
Авторы: Жуковский, Колгин, Котлецов, Смирнов, Шалашев
МПК: G01B 21/02
Метки: дифракционное, рисунка, топологического, ширины, элементов
...уровней напряжения прикладывает ся к входам приводов 27 и,28, Выход " ной сигнал Фотоприемника 7, сост ветствующий установленному режиму приводов 27 и 28, поступает на вход усилителя 16 и через аналоговый ком мутатор 10 на вход аналого цифрово го преобразователя 11 и далее в 97543 , 6цифровой форме записывается в память вычислительного блока 12Сначала производится совмещение плоскости измеряемого элемента с плоскостью предметов приемной телескопической системы, Для этого вычиСлительный блок 12 подает на вход регистра 23 двоичный код аналоговыйэквивалент которого обладает небольшим приращением по сравнению с уровнем напряжения, ранее установленнымна входе привода 28, Соответствующий новому положению привода 28 выходной сигнал...
Проекционный объектив с увеличением -130
Номер патента: 991346
Опубликовано: 23.01.1983
Авторы: Александрова, Гуревич, Котлецов, Пигулевская, Тихончук
МПК: G02B 13/14
Метки: объектив, проекционный, увеличением
...- положительная линза, третийположительная двухсклеенная линза, а991346 Ююсачлмиэображений ЬФУ/77 РЮ Составитель В.АндреевА,Козориэ Техред м, Тепер Корректор С,Век еда 3 Тираж 509 ВНИИПИ Государственно Заказ 126 Под о комитета СС й и открытий аушская наб-35,д, 4 лиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 3четвертый - мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, первый компонент выполнен одиночным отрицательным, обращенным вогнутостьюк плоскости предметов, второй - в виде двояковыпуклой линзы и расположен от первого компонента на расстоя"нии 0,58 Фокуснопо расстояния объектива, в четвертый компонент выполненположительным, 1 ЕНа чертеже приВедена принципиальная оптическая схема предлагаемогообъектива,Объектив состоит...
Устройство для распознавания дефектов фотошаблонов
Номер патента: 955126
Опубликовано: 30.08.1982
Авторы: Громов, Кельман, Котлецов, Крупников, Миронов, Подвысоцкая, Якубайтис
МПК: G06K 9/46
Метки: дефектов, распознавания, фотошаблонов
...связности соответственно, но работают сотставанием. Время отставания определяется элементом 3 задержки. Таким образом, на выход устройства, т, е. на вход вычислительного блока 21 поступают коды, соответствующие элементам контуров и их ин дексам."С выхода второго селектора 8 коды, соответствующие элементу контура и его индексу, поступают в узел 12 нормальной топологии, В узле 12 нормальной топологии каждая ветвь контура анализируется отдельно, т. е. в отдельности анализируется каждая последовательность кодов элементов контуров с,одинаковым индексом. В процессе этого анализа узел 12 разделяет каждую ветвь контура на прямолинейные и кри волинейные участки и классифицируют криволинейные участки на допустимые углы и дефекты. В случае...
Монохроматический объектив для проекционной фотолитографии
Номер патента: 892399
Опубликовано: 23.12.1981
Авторы: Бобров, Котлецов, Туркевич
МПК: G02B 19/00
Метки: монохроматический, объектив, проекционной, фотолитографии
...фотолитографии,1Цель изобретения - увеличение поляизображения обьектива с сохранениемего высокого качества. Поставленная цель достигается тем, то, в монохроматический объектив, содержащий голографическую линзу в виде зонной пластинки, введены вторая аналогичная голографическая линза и апертурная(прототип),ышпеное расстояниеволны света,овый номер коп ьг,72 Ц 35,)ф ВНИИПИ Заказ 11 252/70 Тираж 542 Подписно филиал ПП 11 "Патент, г. Ужгород, уп. Проектная, 4 диафрагма, причем радиусы колец голографических линз подчиняются уравнению где У - фокусное расстояние линзьпЛ - длина волны света- порядковый номер кольца;линзы расположены нт фокусном ртсстоянки друг от друга, а апертурная диафратма расположена между гологртфическкмилинзами на...
Устройство для равномерного освещения объекта
Номер патента: 654924
Опубликовано: 30.03.1979
Авторы: Болотников, Котлецов, Окишева, Сокольский
МПК: G02B 19/00
Метки: объекта, освещения, равномерного
...в предлагаемом устройстве для равномерного освещения объекта микролинзы выполнены с отрицательной оптической силой, удовлетворяющей соотношениюб - Нюгде Й - диаметр освещаемого объекта;д - световой размер микролинз;5 - расстояние от конденсора до плоскости объекта,при этом плоскость объекта совмещена сказ 191/9243 НПО ираж 590 одписно Типография, пр, Сапунова,плоскостью изображения источника света, создаваемой положительным компонентом конденсора.На чертеже изображена оптическая схема предлагаемого устройства.оУстройство состоит из источника 1 света и конденсора 2, выполненного в виде склейки положительного компонента 3 с набором микролинз 4. При этом микролинзы набора выполнены с отрицательной оптиче ской силой р, удовлетворяющей...
Способ измерения размеров тестовых элементов рисунка фотошаблонов
Номер патента: 643747
Опубликовано: 25.01.1979
Авторы: Владимиров, Котлецов, Савин, Туркевич, Шац
МПК: G01B 11/02, G01B 11/24, G02B 27/42 ...
Метки: размеров, рисунка, тестовых, фотошаблонов, элементов
...вфокальной плоскости,Устройство содержит когерентныйисточник света 1, который освещаетконтролцруеый фГтошаблон 2 с тестовым элементом рисунка 3, объектив4 преобразования Фурье который вУ8 ГЯ Е4 Яввуйнваа 1 рвидьт плвстщ Составитепь ЛобзоваРедактор Т, Шагова Техред 3.Фанта Корректор С. Шекмар Заказ 8009/38 Тираж, 865НИИПИ Государственного комипо делам изобрете113035, Москва, Ж,Подписноета СССРий и открытийаушская наб филиал ППП фПатентд, г, Ужгород, уп, Проектна своей задней фокальной плоскости 5формирует распределение света, точ но соответствующее преобра зованиюфурье от рисунка. В этой плоскостиустановлены прямоугольные щели 6, вырезающие из пространственного спектрасветовые потоки в разных порядкахспектра. Фотоумножители 7,...
Автоколлимационный объектив
Номер патента: 587434
Опубликовано: 05.01.1978
Авторы: Болотников, Котлецов, Сокольский
МПК: G02B 17/08
Метки: автоколлимационный, объектив
...зеркальным отражающим покрытиемна задней поверхности, Компонент 4 представляет собой положительный мениск, обрв-щенный вогнутостью к зеркалу. фокусноерасстояние преломляюшей компонента выбрано в пределах 6-7 и, а его толщина пооси - в пределах 0,13-0,17 р, Оптическаясила плосковыпуклой линзы составляет величину порядка 0,7 оптической силы вогнутой отражаюшей поверхности. Плоскостьизображения 6 удалена от соответствующейграни призмы 1 нв такое же расстояние А,что и наблюдаемый обьект 2. 35При работе обьектива излучение от объекта 2 попадает на входную грань призмы 1.Часть излучения отражается светоделительной гранью призмы и проходит через плосковыпуклую линзу 3, компонент 4 и преломляюшую поверхность зеркала 5, затем падает нв его...
318188
Номер патента: 318188
Опубликовано: 01.01.1971
Метки: 318188
...15 Спосоо получения изолировавон пе а нных проводников на многоо ферритовой,пласпине:путем экспон светочувствительной соли палладия 20 дующей металлизацией, отличпютии что, с целью получения печатных пр в отверстиях, экспонирование произв лимированным пучком, направленны лом к поверхности, равным арктанге 25 щения диаметра отверстия к толщи зины, системытверстнойироваиияс после.,йся тем,оводников,одят кол.м под уг.псу отпопе пласИзобретение относится к радотопромышлепности и может быть использовано для получения системы печатных проводников на ферритовой пластине.Известен спосоо получепя системы пе ат,пых троводп 3 кров па дэлектрнеско подложке. Диэлектрическуо подложку обрабатывают двойной хлористой солью,палладия, высушивают,...