Патенты с меткой «затвором»

Номер патента: 1436101

Опубликовано: 07.11.1988

Автор: Терешкин

МПК: E02B 7/36, G05D 3/12

Метки: гидротехническим, затвором, шлюза

...спаренньн. наодном валу дна потенциометра, Выхсдысумматоров 12 связаны с входами регулируемых электрогидравлических уста"новок 1. Устройство работает следующим образом.При движении затнора 5 посредством силовых поршней 3, связанных по 5 средством штокон 4 с кромками затвора, длина магнитопроводов трансформаторов не остается неизменной, поэтому магнитное сопротивление изменяется и зависит от положения поршней 3.-" Причем при синхронном движении затвора 5 магнитные сопротивления обоихмагнитопроводов равны, а при несинхронном они отличны, Так как магнитноесопротивление не остается постоянным,1 то не остается постоянным магнитныйпоток в магнитопронодах и ЭДС на вторичных обмотках 7 трансформаторов, аследовательно, и на входах реверсивного...

Номер патента: 1492134

Опубликовано: 07.07.1989

Автор: Сиразетдинов

МПК: F16K 3/22, F16K 3/316

Метки: задвижка, затвором, коническим

...с неподвижным соединением(ца сварке) затвора со штоком, продольный разрез; на фиг. 3 - разрез 15А-А на фиг, 2; на фиг, 4 - узел 1на фиг. 3.Задвикка сотоит из корпуса 1,крышки 2, конического затвора 3,штока 4 и прямоугольной направляющей 5, неподвижно закрепленной в затворе при помощи, например, съемнойпластины б, фиксируемой болтами 7.В нижней части направляющей 5 имеются выступы 8, предотвращающие ее 25перемещение вдоль прямоугольного отверстия затвора. Контактирующие сзатвором 3 криволинейные уплотцительные поверхности 9 корпуса 1 выполнены на торцах выступающих внутрь корпуса частей 10 присоедицительных патрубков 11. Направляющая 5 установлена с возможностью перемещения в ответных пазах 12 корпуса 1, Выполнение направляющей...

Номер патента: 1576641

Опубликовано: 07.07.1990

Автор: Любимский

МПК: E02B 7/42

Метки: гидротехническим, затвором, маневрирования

...113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 1 Изобретение относится к механическому оборудованию гидротехнических сооружений, преимущественно для глубинныхводовыпускных отверстий,Целью изобретения является упрощение конструкции и снижение материалоемкости,На фиг.1 изображено устройство, общий вид; на фиг.2 - сечение А-А на фиг.1,Устройство состоит из затвора 1, обводного блока 2, установленного на стенке пазаустоя затвора водовыпускного отверстияниже его потолка, и троса 3, закрепленногоодним концом на подъемном барабане 4, адругим - на спусковом барабане 5 реверсивного грузоподъемного механизма 6. Приэтом трос 3 жестко соединен с затвором вузле 7 соединения и запасован...

Номер патента: 1617085

Опубликовано: 30.12.1990

Автор: Иванов

МПК: E02B 7/20

Метки: воды, гидротехническим, затвором, подаче, шлюз

...8 коррекции, где проводится сравнение сигналов, пропорциональных заданному и действительному значениям указанного отклонения, поступающих с блока 1 задания и блока 7 деления соответственно. Определение действительного значения отношения скорости приращения подачи воды к площади наименьшего сечения потока воды проводится блоком 7 деления по сигналам, пропорциональным действительным значеснлям скорости и площади, поступающим соответственно с блока 6 определения скорости приращения подачи воды, определяемой по данным блока 3 вычисления степени открытия затвора, блока 5, вычисляющего площадь потока по сигналу блока 4 уровня, принимаемого эа значение площади поперечного сечения потока воды в камере, и сигнала блока 1 задания,...

Номер патента: 1618975

Опубликовано: 07.01.1991

Авторы: Алехин, Бойцова, Буковский

МПК: B01J 3/00, F16J 13/24

Метки: автоклава, байонетным, блокирующее, затвором, крышки

...Канал 33 обеспечивает доступ газа непосредственно в уплотнительный шланг, а канал 34 - в наддиафрагменную полость 8 пневмозамка. Газ рабочего давления для наполнения автоклава поступает под крышку 6 пневмозамка и через отверстие в клапане 11 выходит в атмосферу. В то же время он действует на диафрагму 7 и одновременно прижимает клапан 11 к седлу. При совпадении оси штока 12 пневмозамка с осью отверстия 4 в штыре 3 шток 12 перемещается в отверстие 4 и посредством клапана 10, закрепленного на штоке 12 пневмозамка, открывает клапан 11.Газ рабочего давления поступает в автоклав, а клапан 10 перекрывает отверстие для выхода газа в атмосферу. Если же шток 12 не переместился в отверстие 4 штыря 3, то клапан 11 закрыт, и газ рабочего...

Номер патента: 1621817

Опубликовано: 15.01.1991

Авторы: Александер, Владимир, Томас

МПК: H01L 29/78

Метки: затвором, изолированным, мощный, полевой, транзистор

...следовательно, устройство будет работатьв качестве устройства р-канала, а неустройства п-канала,Два истока помещаются на одной итой же поверхности полупроводникового7 6рабатывания способности выдерживать высокое обратное напряжение, и глубину, зависящую от необходимого обратного напряжения для данного устройства. Таким образом, для 400 В-ного устройства нижняя и -область может иметь глубину порядка 35 мкм, в то время как для 90 В-ного устройства она имеет глубину порядка 8 мкм. Другие глубины выбирают в зависимости от требуемого обратного напряжения устрой" ства для обеспечения получения необходимой более толстой области истощения, требуемой для предотвращения пробоя во время состояния подачи об-, ратного напряжения. Более верхнюю...

Номер патента: 1650863

Опубликовано: 23.05.1991

Автор: Каплан

МПК: E02B 7/36

Метки: гидропривод, гидротехническим, затвором, маневрирования

...узел уплотнения каната 7. Приспособление установлено на гермокрышке 23 камеры затвора 8, Весь гидропривод собран в единый агрегат, по своим габаритам не превышающим железнодорожные габариты погрузки. Это стало возможным благодаря тому, что все узлы гидропривода собраны на вертикальной раме 2, а рама 2 соединена с гидроцилиндром 1 с помощью болтов 13 и бобышек 12. Расположение всех узлов гидропривода на вертикальной раме 2, установленной параллельно гидроцилиндру 1 и закрепленной к нему, позволяет сделать конструкцию гидропривода компактной и доступной для обслуживания.Подачей рабочей жидкости по одному из трубопроводов 9 производят маневрирование затвором 8 посредством гидро- цилиндра 1. Положение затвора 8 определяют...

Номер патента: 1661308

Опубликовано: 07.07.1991

Авторы: Андрияхов, Лебедев, Фоминых, Чекалин

МПК: E03C 1/12

Метки: водяным, затвором, сливной, трап

...из помещения, на-иболее длительный рабочий режим, Во время этого режима вентильный клапан 9 закрыт, отводной патрубок 3 открыт, и жидкость через решетку 2, зазор между отвсд ным патрубком 3 и колоколом 4 поступает вотводной патрубок 3 и далее в систему гидрокоммуникаций. Второй режим - режим стерилизации 15 трапа для последующей его очистки от механических загрязнений, Режим предусматривает полное заполнение сливного трапа стерилизующим агентом и выдерживание в таком состоянии в течение необходимого, 20 достаточно длительного, времени. Для работы сливного трапа на данном режиме (решетка 2 снята) посредством ключей закрывают вентильный клапан 9 и, вращая гайку 12, опускают колокол 4 до перекрытия 25 отводного патрубка 3 крышкой 5. При...

Номер патента: 1681098

Опубликовано: 30.09.1991

Авторы: Агзамова, Бронштейн, Молодцова, Сиразетдинов

МПК: F16K 3/12

Метки: двухдисковым, задвижка, затвором, клиновым

...клинового затвора со шпинделем вверх диски 1 и 2 отходят от седел 9, задвижка открывается. Величина поворота дисков относительно друг друга при закрывании и открывании задвижки обуславливается погреш настями изготовления и перекосами взаимно контакти рующих уплотн ител ьн ых и оверхностей дисков и седел корпуса задвижки,Средние сферические части 3 и 4 дисков 1 и 2 взаимно контактируют на участке диаметром, равным диаметру седел 9 корпуса задвижки, что увеличивает площадь взаимно контактирующих участков дисков до максимально возможного их конструктивного значения. Большая площадь взаимно контактирующих поверхностей дисков по сравнению с аналогами и прототипом уменьшает удельное давление на сферические поверхности 3 и 4 дисков от...

Номер патента: 1693193

Опубликовано: 23.11.1991

Авторы: Антонов, Любицкий, Шифрин

МПК: E02B 9/06

Метки: аварийно-ремонтным, водовода, воздуха, впуска, выпуска, затвором, напорного, пространство

...пропуске воды через туннельный водовод 2 диск 5 перекрывает отверстие 18 входной камеры 4 аэрационного трубопровода 3, что предотвращает зарастание влекомыми и взвешенными наносами, как его, так и клапанного устройства 10,Опускание аварийно-ремонтного затвора осуществляется подачей масла под давлением в его гидроприемник, Эта подача одновременно обеспечивает поступление масла под давлением над поршнем 7 сервомотора 8, что позволяет опустить шток 6 и связанный с ним диск 5, а значит и открыть отверстие 18 входной камеры 4 аэрационного трубопровода 3,По окончании процесса опускания затвора вода из туннельного водовода 2 уходит. Вследствие чего в нем образуется вакуум, благодаря которому под действием атмосферного давления опустится...

Номер патента: 1732809

Опубликовано: 07.05.1992

Авторы: Раймунд, Ульрих, Эрнст

МПК: B22D 11/22, B22D 41/26

Метки: емкость, затвором, металлургическая, него, огнеупорные, поворотным, ротор, статор

...отверстие 14 ротора 12.располагается на его торцовой поверхности, а выходноеотверстие 15 расположено на его образующей поверхности. Вставка 34 имеет в этом случае наружный фланец, прилегаю-щий к наружной стороне металлическойстенки 4 резервуара, на который снаруживоздействует плита опоры 27 в закрытомположении в целях фиксации статора 8 наместе в связис тем, что он выполнен коническим,Изображенный на фиг,8 и 9 поворотныйзатвор 1 также содержит огнеупорный ротор 12, поворачиваемый вокруг горизонтальной оси 0 - 0 и перемещаемый вдольэтой оси в выемке 6 с цилиндрической внутренней поверхностью 35 трубчатого огнеупорного статора 8, имеющего, например,квадратное наружное сечение. Ротор 12плотно прилегает цилиндрической поверхностью 36 к...

Номер патента: 1733905

Опубликовано: 15.05.1992

Авторы: Бучукури, Разоренов

МПК: F41C 3/00

Метки: затвором, пистолет, самозарядный, свободным, спортивный

...гильз любой формы и длины. а также повышение надежности работы затвора при откате и накате.Укаэанная цель достигается тем, что в спортивном самозарядном пистолете эа 40 50 15 и 16 - по задним направляющим 13 и 14 в рамке 1 и стойке 10. прицела 9, проходя 55 5 10 15 20 25 30 35 дние направляющие выполнены с начальным участком, параллельным передним направляющим, а на задних опорных плоскостях затвора выполнены скосы.На фиг, 1 показан спортивный самозарядный пистолет; на фиг, 2 - разрез А-А на фиг, 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг, 1; на фиг, 4 - участок задней направляющей, разрез В-В на фиг. 3; на фиг, 5, 6 и 7 - различные положения затвора при экстракции гильзы.Спортивный самозарядный пистолет со свободным затвором содержит...

Номер патента: 1742993

Опубликовано: 23.06.1992

Авторы: Никулина, Сильченков

МПК: H03K 19/094

Метки: затвором, испл-типа, логический, полевых, транзисторах, шотки, элемент

...соответственно, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с. целью повышения быстродействия логического элемента; в него введены два резистора, причем затворы транзисторов соединены со стоком третьего транзистора, исток и затвор которогоподключены к отрицательной шине источника питания, к которой подсоединены иистоки шестого и седьмого транзисторов, 5стоки первого и второго транзисторов под-.ключены к затворам четвертого и пятоготранзисторов соответственно, а через резисторы нагрузки токового ключа соответственно соединены с общей шиной, к которойподключены стоки четвертого и пятого транзисторов, истоки четвертого и пятого транзисторов через первый и четвертый диодысдвига уровня соединены с выходными ши.нами логического элемента и...

Номер патента: 1106350

Опубликовано: 07.03.1993

Авторы: Агрич, Иванковский, Мухин

МПК: H01L 21/265

Метки: затвором, интегральных, к-моп, поликремниевым, самосовмещенным, создания, схем

...исГла; с,ИЕЙ,)В: )сНОЙ ГХГМПЛЭТЭЦ(1 Еи ЕО(.-ссЕЪ)я сГ)БЬ(1)Е 1 ИР ВО ПрС .СЗВОГИГИГ)СТ;: Г,ЛИНЫ КЗНЗГЗ П-типа ИЛ, П ):,с , -г(ОЛ,ЗОВЗ 1,;1, ;,;1 Е.ВЕ МсХ(У 1)0;Н:;ВОГ,)" Г.-ан с,.г н Г саЧОМ ГггС( ба; ПОСКО" С"окав- И ;Г с ):.;, , с" :. ОЛО;ИНЗ ДИЗЛЕктриков НЭД Э(ИМИ,)ГласЯ 1 И В ОтлИчИЕ От протОтИПа ОЭЗГ)0 С". -,(- сн ЭЧИтЕЛЬНО (На тОЛГЦИНУ За ВОГ 1 ЧОГ.,;ИЗЛ К: ОИКЭ, ЧТО СОСТЭВЛЯЕТ "Ос 1" ОЗВОЛЯЕ. гОВ:.- СИТЬ бЫСТродЕЙГТВИЕ Ис) ЕГОЭЛЬНЫХ С;(ЕГИ ЗЭ Савт СНИЖЕНИЯ СОПРО- твл,аНИЯ ППЛИКРЕМНИЕВЫХ ЗатВОРОВ, ЛЕГИОУЕМ-,Х Дйфф Зйай фОСфОРсаа ДО УРОВНЯ ЯЗ ; П-)С ОГИ/Г, 1.-; ИЗВЕСТНОМ СПОСОбЕ ПРОИС- ходит к;пенсэция фосфора в Голикремниевых .".Этвооах р-канальных тра нзис"Оров+ООРОМ ВРИЕ:ИРОВ" н И Р-ИСТОКОВ, СОКОВ ИОЧ ЧО ИМГГГЭ-ТЗ.1 Г 011 РЗ...

Номер патента: 1335047

Опубликовано: 30.06.1993

Авторы: Егудин, Лихтман, Полянов, Смирнов

МПК: H01L 21/338

Метки: барьера, виде, затвором, полевого, транзистора, шоттки

...соответственно 0,05 мкм и 0,4 мкм, Затем методом Фотолитографии с применением ионно-химического и химического способов травления формируютэлектроды истока.и стока которые за 9отем вжигают при температуре 480 С втечение 30 с с целью получения омических контактов, имеющих низкое переходное сопротивление. После этогона всю поверхность подложки последовательно напыляют слои Т 1, Ч соответствующей толйины и слой Ац толщиной0,5 мкм. Затем методом Фотолитографиина поверхности слоя Ац Формировали 47 2Фоторезистивную маску, через которую производили ионное травление Ац. Затем последовательно удаляли не защищенную Ац часть слоев Ч и Т 1, Травление слоя Ч осуществляли в плазме СР+ 0 в течение 3,5 мин, что обеспечивало боковое подтравлнвание...

Номер патента: 1834746

Опубликовано: 15.08.1993

Автор: Раймунд

МПК: B22D 41/22, B22D 41/26

Метки: емкость, затвором, металлургическая, него, огнеупорные, поворотным, ротор, статор

...проточный канал 2 расположенного под ним, проходящего в продольном направлении выпускного коллектора 2 вплоть до малых конечных зон проходит по всей длине статора 4, соответственно ротора 5, и тем самым почти по всей длине емкости 1. При соответствующей ширине в этом случае могут отливаться литые полосы с размерами, близкими конечным,Из фиг.б и 7 можно видеть статор 4 и ротор 5, имеющие большое число распределенных по их длине с интервалом в осевом направлении щелеобразных радиальных отверстий 6 и 7, которые могут более или менее приводиться к перекрытию зд с ит поворота, соответственно осевого перемещения, ротора 5 в статоре 4. На изображении штриховыми линиями также обозначено; что как статор 4, так и ротор 5 могут...

Номер патента: 1837042

Опубликовано: 30.08.1993

Авторы: Анциферов, Богданец, Гладкий, Денисенко, Лельчук, Малюга, Ткачук

МПК: B65G 27/24

Метки: вагонов, горизонтальным, железнодорожных, загрузки, затвором, микропроцессорное, приводом, электромеханическим

...уменьает содержимое регистров содержащих к д емкости бункера и код отпускаемой дог з ь После полного открывания затвора на-ч нается гравитационное истечение ,атериала, которое можно описать вырэжен 14 еОз = К У Вг Рсз, Р) датчика заслонки затвора - полное отание затвора. О срабатывании этого дата сигнализирует изменение сигнала с ничного на нулевое на пятом выходе ка регистар управления 10, контроль ко ого выполняет устройство 23. Количестимпульсов считанное за промежуток ремени от изменения сигнала на выходе того триггера до изменения сигнала на ходе шестого триггера блока регистра уп вления 10 служит для расчета скорости ижения заслонки затвора. Полученные личества импульсов служит для расчета авитационного истечения материала за емя...

Номер патента: 2005138

Опубликовано: 30.12.1993

Авторы: Лукутин, Обухов

МПК: F03B 15/06

Метки: затвором, микрогидроэлектростанции

...подключению управляющего входа системы управления затвором микро- ГЭС к цепи вспомогательной нагрузки отпадает необходимость в выработке командным устройством сигнала для управления затвором гидротурбины, а само устройство управления затвором должно содержать. только исполнительный механизм без усилителя, так как на него поступает сигнал большой мощности, используемый для питания электрической вспомогательной нагрузки.Это обеспечивает упрощение конструкции, повышение КПД и надежности системы управления затвором гидротурбины, так как в предлагаемом устройстве по сравнению с прототипом отсутствует канал формирования управляющего сигнала на систему управления затвором в командном устройстве, а само устройство управления затвором микроГЭС не...

Номер патента: 1345976

Опубликовано: 28.02.1994

Авторы: Глущенко, Красножон, Смирнов

МПК: H01L 21/82

Метки: затвором, интегральных, мдп-транзисторов, микросхем, поликремниевым

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МДП-ТРАНЗИСТОРОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ С ПОЛИКРЕМНИЕВЫМ ЗАТВОРОМ, включающий создание на монокремниевой подложке полевого окисла, подзатворного окисла и поликремниевого затвора, формирование областей истока и стока, создание межслойной изоляции, вскрытие контактов и создание металлизации, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления и повышения быстродействия МДП-транзисторов и степени интеграции МДП БИС на их основе, после создания поликремниевого затвора проводят его окисление при 800 - 900oС, травление окисла кремния по всей поверхности структуры до удаления его над участками формирования областей истока и стока и через полученную маску проводят ионное легирование монокремния для...

Номер патента: 814168

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Игнатьев, Липин

МПК: H01L 21/04

Метки: барьер, затвором, полевых, типа, транзисторов, шоттки

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛЕВЫХ ТРАНЗИСТОРОВ С ЗАТВОРОМ ТИПА БАРЬЕР ШОТТКИ на полупроводниковой подложке, включающий в себя напыление и вжигание контактного сплава, напыление защитного слоя, вскрытие окна в защитном слое, напыление барьерного материала, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа получения транзисторов с субмикронной длиной канала и повышения выхода годных изделий, на структуре n - ni-типа создают n+-слой, в n-слое формируют контактные площадки истока и стока, формируют меза-структуры травлением n+- и n-слоев до подложки, создают маску из защитных материалов с узкой щелью, расположенной между контактными площадками стока и истока, контролируемыми травлением n+-слоя до границы...

Номер патента: 1543948

Опубликовано: 20.11.1995

Авторы: Бабанин, Фролов

МПК: F41A 3/12

Метки: запирающий, затвором, механизм, ружья, скользящим

ЗАПИРАЮЩИЙ МЕХАНИЗМ РУЖЬЯ СО СКОЛЬЗЯЩИМ ЗАТВОРОМ, содержащий ствол, затвор, затворную раму, извлекатель и размыкатель затвора, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы и упрошения конструкции, в нем размыкатель затвора и извлекатель выполнены в виде единой детали в форме двуплечего подпружиненного рычага, на торце ствола выполнен скос, при этом одно плечо рычага взаимодействует со скосом.

Номер патента: 1628766

Опубликовано: 27.05.1996

Авторы: Ахинько, Ильичев, Инкин

МПК: H01L 21/18

Метки: затвором, полевых, самосовмещенным, транзисторов

...лучшей однородности толщины маскирующего покрытия) уменьшается дисперсия сопротивления областей истоков и позволяет снизить температуры вжиганий 50 стоков по плоскости подложки, Температурные режимы в предлагаемом способе выбраны из соображений минимизации удельногосопротивления,о областей истока - стокапри удовлетворительной морфологии поверхности контакта при температурах меньше 410 С (425 С) р1 Ом мм (для и-типаобластей) и р5 Ом мм (для р-типа) притемпературах430 С (435 С) ухудшаетсяморфология поверхности омических контактов областей истока - стока,Неизвестно формирование защитныхпокрытий (сквозь которые осуществляетсяимплантация примеси) посредством низкотемпературного окисления подложки арсенида галли,я, что позволяет судить...

Номер патента: 1559975

Опубликовано: 10.07.1996

Авторы: Артамонов, Ахинько, Гольдберг, Емельянов, Зыбин, Ильичев, Инкин, Кравченко, Липшиц, Полторацкий, Родионов, Шелюхин

МПК: H01L 21/283

Метки: арсениде, галлия, затвором, полевых, сбис, создания, транзисторов, шоттки

1. Способ создания полевых транзисторов с затвором Шоттки для СБИС ЗУ на арсениде галлия, включающий формирование истоковых и стоковых областей, нанесение защитного слоя, вскрытие в нем окон с помощью фотолитографии, локальное окисление подзатворной области, удаление оксида, формирование металлизации затвора, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных схем путем увеличения точности задания пороговых напряжений транзисторов посредством влияния на степень нестехиометрии поверхностного слоя арсенида галлия, локальное окисление проводят методом термического окисления в атмосфере сухого кислорода при 400 600oС в течение 5 90 мин, а удаление оксида проводят методом термического отжига в атмосфере водорода при 600...

Номер патента: 1565292

Опубликовано: 10.07.1996

Авторы: Артамонов, Ахинько, Гольдберг, Григорьев, Ильичев, Инкин, Липшиц, Шелюхин

МПК: H01L 21/335

Метки: затвором, полевых, самосовмещенным, транзисторов

1. Способ изготовления полевых транзисторов с самосовмещенным затвором, включающий формирование на подложке арсенида галлия затвора из ниобия либо нитрида ниобия и маскирующего затвор покрытия, формирование маскирующего покрытия под изготовление областей истока и стока, формирование областей стока и истока, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости величины зазоров между истоком, стоком и затвором, после формирования покрытия под изготовление областей стока и истока проводят окисление подложки в атмосфере "сухого" кислорода при 400 600oС в течение 5 90 мин, затем отжигают подложку в среде водорода при 640 700oС в течение 10 50 мин, а после формирования областей истока и стока удаляют маскирующее...

Номер патента: 1507131

Опубликовано: 10.04.2004

Авторы: Нечаев, Чернявский

МПК: H01L 21/28

Метки: затвором, полевых, транзисторов, шоттки

1. Способ изготовления полевых транзисторов с затвором Шоттки, включающий формирование на полупроводниковой подложке омических контактов истока и стока, нанесение металлизации, формирование на поверхности подложки в области затвора металлического электрода травлением металлизации через маску, последовательное нанесение первой и второй диэлектрических пленок, формирование фоторезистивной маски с окном над поверхностью металлического электрода, изотропное травление через окно в фоторезистивной маске второй диэлектрической пленки до вскрытия поверхности первой диэлектрической пленки, травление первой диэлектрической пленки до вскрытия поверхности металлического электрода, удаление...

Номер патента: 1586469

Опубликовано: 27.05.2012

Авторы: Канищев, Куксо, Пекуров, Румак, Тишкевич, Хатько

МПК: H01L 29/76

Метки: затвором, изолированным, полевых, транзисторов

Способ изготовления полевых транзисторов с изолированным затвором, включающий формирование на полупроводниковой подложке областей исток - сток, нанесение подзатворного диэлектрика, создание области высокоомного канала в подзатворном диэлектрике, образование затвора, контактов к областям истока - стока, дополнительных контактов к области высокоомного канала, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных приборов путем улучшения однородности высокоомного канала, после образования дополнительных контактов к области высокоомного канала проводят электротренировку в течение 32-66 с при заземленном затворе, положительном напряжении на истоке с напряженностью поля (1,6-2,8)...