Патенты с меткой «соединений»

Номер патента: 1832751

Опубликовано: 20.01.1998

Автор: Коровкин

МПК: C23C 14/32, C23C 8/24

Метки: износостойких, металлов, покрытий, соединений

1. Способ получения износостойких покрытий из соединений металлов, включающий конденсацию металла на поверхность изделий и обработку изделий с нанесенным покрытием в камере с низкотемпературной плазмой газового дугового разряда с горячим катодом при создании в камере магнитного поля, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытий за счет уменьшения размеров зерен, конденсацию металла и обработку изделий в камере с низкотемпературной плазмой выполняют одновременно при температуре изделий 80 - 500oС, при этом во время обработки к изделиям прикладывают потенциал относительно стенок камеры.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что обработку изделий газовой плазмой выполняют перед нанесением металла.

Номер патента: 1527732

Опубликовано: 20.04.1998

Авторы: Банин, Кабанова, Климов, Смирнова, Тевлин, Шереметьев

МПК: B01D 61/44

Метки: соединений, труднорастворимых

Способ получения труднорастворимых соединений металлов, включающий подачу исходного металлсодержащего раствора в катодную камеру электродиализатора с катионитовой мембраной с последующим отделением образовавшегося осадка от маточного раствора, отличающийся тем, что, с целью увеличения производительности процесса за счет увеличения скорости отделения осадка продукта и повышения содержания в нем основного вещества, маточный раствор возвращают в катодную камеру, а исходный раствор подают в количестве, обеспечивающим pH осаждения соответствующего соединения металла на выходе из катодной камеры.

Номер патента: 1623012

Опубликовано: 20.05.1998

Авторы: Аджиев, Бурман, Гурская, Кундо, Любарский, Никитин, Фаддеенкова

МПК: B01J 31/18, C02F 1/74

Метки: окисления, растворах, сернистых, соединений

...сероводород и гидросульфид натрия в количестве 115 мг/л (в пересчете на сероводород), а также смесь одно- и двузамещенного фосфатов калия в количестве 0,13 моль/л, используемую в качестве буфера. В реактор подают воздух со скоростью 19,2 л/ч. Объем, занимаемый жидкостью в реакторе, 195 мл. Время контакта окисляемого раствора с воздухом 10,4 мин. Давление воздуха -0,1 МПа.Содержание сероводорода и гидросульфидионов в окисленном растворе 18 мг/л (в пересчете на сероводород), Степень жидкофазного окисления сероводорода составляет 84,3 скорость окисления 0,37610 моль Б /лфмин.Пример 9. В реактор загружают пропиленовую стружку толщиной -2 мм в количестве 18 г. В реактор со скоростью 1100 мл/ч подают окисляемый раствор при температуре...

Номер патента: 1154774

Опубликовано: 20.03.1999

Авторы: Бордюг, Бояринова, Девекки, Заяц, Иванова, Кошелев, Малов, Рабинович, Скоробогатова, Страшнова, Шапошников, Шевченко

МПК: B01J 23/86, B01J 37/03, C07B 35/02 ...

Метки: гидрирования, катализатор, кислородсодержащих, приготовления, соединений

1. Катализатор для гидрирования кислородсодержащих соединений, содержащий оксиды меди, цинка, хрома, щелочно-земельного металла и углерод, отличающийся тем, что, с целью повышения активности катализатора, он в качестве оксида щелочно-земельного металла содержит оксид магния и дополнительно содержит оксид алюминия при следующем соотношении компонентов, мас.%:Оксид цинка - 9,9-20,3Оксид хрома - 2,0-10,1Оксид магния - 0,5-4,9Оксид алюминия - 19,7-25,3Углерод - 2,0-3,2Оксид меди - Остальное2. Способ приготовления катализатора для гидрирования кислородсодержащих соединений путем смешивания водных растворов нитратов меди, хрома, щелочно-земельного металла...

Номер патента: 1156296

Опубликовано: 20.03.1999

Авторы: Безлюдова, Девекки, Кошелев, Соболевский, Страшнова, Черкасов

МПК: B01J 23/86, C07C 29/00

Метки: алкоксилформиатов, гидрирования, карбонильных, катализатор, разложения, соединений

Катализатор для разложения алкоксилформиатов и гидрирования карбонильных соединений, включающий оксиды меди и хрома или оксиды меди, хрома и магния и/или алюминия, отличающийся тем, что, с целью расширения области применения катализатора для гидрирования непредельных соединений и увеличения активности катализатора для разложения алкоксилформиатов, катализатор дополнительно содержит оксиды никеля и железа при следующем содержании компонентов, мас.%:Оксид меди - 1-30Оксид хрома - 0,1-30,0Оксид магния и/или оксид алюминия - 0,1-30,0Оксид никеля - 1-50Оксид железа - 7-75при этом массовое соотношение оксидов магния и алюминия составляет 1: 0,13-15,0.

Номер патента: 1837593

Опубликовано: 27.03.1999

Авторы: Баргон, Васильев, Журавлев, Фотиев

МПК: C01F 17/00, C01G 3/00

Метки: бария, медьсодержащих, оксидных, редкоземельного, соединений, элемента

Способ получения медьсодержащих оксидных соединений редкоземельного элемента и бария, включающий приготовление раствора смеси солей меди и редкоземельного элемента, введение в раствор гидроксида однозарядного катиона, осаждение смешанного соединения редкоземельного элемента и меди, его отделение от раствора, промывку, смешение с гидроксидом бария и термообработку полученной смеси, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса, в качестве гидроксида однозарядного катиона используют водный раствор аммиака, осаждение ведут при pH 6,5 - 7,0 и термообработку полученной смеси проводят в начале при 380 - 420oC до полного прекращения газовыделения и затем при 840 - 860oC с...

Номер патента: 782211

Опубликовано: 10.04.1999

Авторы: Галанин, Горбачев, Гриценко, Зиновьева, Ли, Мурин, Окунь

МПК: B01D 53/14

Метки: абсорбент, газов, сернистых, соединений

Абсорбент для очистки газов от сернистых соединений на основе водного раствора сульфата аммония, отличающийся тем, что, с целью повышения его сорбционной емкости, он дополнительно содержит гидрат закиси железа при следующем соотношении компонентов, мас.%:Сульфат аммония - 16,7 - 42,3Гидрат закиси железа - 0,6 - 7,5Вода - Остальное

Номер патента: 1287424

Опубликовано: 20.04.1999

Авторы: Елизаров, Кривоногов, Шептухин

МПК: B23K 28/00

Метки: исследований, металлографических, образец-спутник, сварных, соединений, теплообменников

Образец-спутник для металлографических исследований сварных соединений теплообменников, состоящий из сваренных между собой по крайней мере одной трубы и трубной доски, отличающийся тем, что, с целью экономии металла и повышения объективности результатов исследований при условии обязательного травления металла как трубы, так и трубной доски, он снабжен промежуточной втулкой, размещенной в отверстии трубной доски и сваренной с трубой кольцевым швом, выполненным по их торцам.

Номер патента: 999660

Опубликовано: 10.07.1999

Авторы: Гусев-Донской, Кубасов, Мазанько, Мельников-Эйхенвальд, Рябов, Хейфец, Шур

МПК: C25B 1/26, C25B 1/46

Метки: соединений, хлора, хлоркислородных, щелочи

1. Способ получения хлора и щелочи или хлоркислородных соединений путем электролиза раствора хлорида щелочного металла в каскаде электролизеров, соединенных последовательно и снабженных поверхностными теплообменниками с использованием охлаждающего агента, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода по току и снижения энергозатрат, в качестве охлаждающего агента используют раствор с продуктами электролиза из последнего электролизера каскада, пропуская его в обратной последовательности потоку электролита через камеру теплообменников каскада, причем в камерах поддерживают давление 50 - 200 мм рт.ст.2. Способ получения хлора и щелочи и хлоркислородных соединений по п.1, отличающийся...

Номер патента: 1730871

Опубликовано: 10.07.1999

Авторы: Белецкий, Денисов, Лисиченок, Пастухов

МПК: C30B 11/00

Метки: полупроводниковых, соединений

Устройство для получения полупроводниковых соединений, содержащее вертикально установленную кварцевую ампулу с гидрозатвором в верхней части размещенный в ней графитовый тигель и независимые нагреватели, отличающееся тем, что, с целью повышения качества получаемых соединений халькогенидов за счет уменьшения внутренних напряжений, тигель имеет форму, подобную форме ампулы, а на его боковой поверхности выполнены вертикальные сквозные прорези.

Номер патента: 1547484

Опубликовано: 20.08.1999

Авторы: Дорош, Качмар, Кост, Михальченков, Сюзев

МПК: G01B 5/14

Метки: качества, раструбных, сборки, соединений

Устройство для контроля качества сборки раструбных соединений, содержащее штангу, закрепленный на ней вилкообразный кронштейн и укрепленные на обоих концах кронштейна щупы, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля, оно снабжено двумя державками, каждая из которых одним концом установлена на конце кронштейна с возможностью вращения относительно оси, перпендикулярной к оси штанги, и имеет У-образный паз на свободном конце с углом при вершине 70 - 75o и подпружиненным относительно державки угловым рычагом, установленным в У-образном пазу с возможностью поворота относительно оси, проходящей через вершины паза и рычага, а каждый из щупов выполнен в виде...

Номер патента: 1492656

Опубликовано: 20.08.1999

Авторы: Корнилов, Лебедев, Фролов

МПК: C01F 17/00, C01G 56/00

Метки: кислых, растворов, редкоземельных, соединений, трансплутониевых, элементов

Способ получения кислых растворов соединений редкоземельных и трансплутониевых элементов, включающий обработку оксалатов редкоземельных и трансплутониевых элементов щелочным реагентом и растворение образующегося соединения в минеральной кислоте, отличающийся тем, что, с целью сокращения длительности процесса и его упрощения, в качестве щелочного реагента используют раствор карбоната щелочного металла или аммония с концентрацией 0,1-0,5 моль/л в количестве, обеспечивающем мольное отношение CO23-: РЗЭ (ТПЭ) 6.

Номер патента: 1387238

Опубликовано: 20.08.1999

Авторы: Березкин, Ермаков, Кузнецова, Лихолобов, Пискунов

МПК: B01J 31/02, B01J 31/26, C01G 49/14 ...

Метки: железа, закисного, каталитическая, композиция, окисления, соединений

Каталитическая композиция для окисления соединений закисного железа кислородом, включающая нитрит щелочного металла, отличающаяся тем, что, с целью повышения активности композиции в кислых средах с высокой концентрацией солей, она дополнительно содержит одноатомный спирт C1 - C4 или одноатомный спирт C1 - C4 и 1-нитрозо-2-нафтол или 2-нитрозо-1-нафтол при следующем соотношении компонентов, моль/л:Нитрит щелочного металла - 0,7 10-2 - 1,0 10-21-Нитрозо-2-нафтол или 2-нитрозо-1-нафтол -...

Номер патента: 1637216

Опубликовано: 20.08.1999

Авторы: Баргон, Журавлев, Кощеева, Розенталь, Середа, Фотиев

МПК: C01G 1/00

Метки: медьсодержащих, оксидных, сверхпроводящих, соединений

Способ получения медьсодержащих оксидных сверхпроводящих соединений, включающий соосаждение гидроксидов соответствующих металлов из растворов их солей и последующую термообработку, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода и чистоты целевого продукта, предварительно соосаждают гидроксиды меди и редкоземельных элементов, полученный осадок взмучивают в растворе гидроксида бария или смеси гидроксидов бария и другого щелочноземельного элемента с одновременной отгонкой воды при гидродинамическом числе Пекле 0,25-0,45 и давлении 0,03-1,0 атм.

Номер патента: 1354488

Опубликовано: 20.08.1999

Авторы: Акимов, Борзых, Зотова, Никитин, Фаддеенкова, Чистяков

МПК: B01J 23/34, B01J 31/06, C02F 1/74 ...

Метки: катализатор, окисления, сернистых, соединений

Катализатор для окисления сернистых соединений, включающий активный компонент и носитель - термопластичный полимер, отличающийся тем, что, с целью повышения активности катализатора, он содержит в качестве активного компонента оксид марганца (III или IV) при следующем соотношении компонентов, мас. %:Оксид марганца (III или IV) - 2 - 20Носитель - Остальное

Номер патента: 1593006

Опубликовано: 20.08.1999

Авторы: Арбузов, Буянов, Золотовский, Кудинов, Одегова, Павлюхина, Савостин, Чуприкова

МПК: B01J 23/84, B01J 37/02

Метки: газах, катализатор, окисления, отходящих, сернистых, соединений

1. Катализатор для окисления сернистых соединений в отходящих газах, содержащий соединения ванадия, железа и оксид алюминия, отличающийся тем, что, с целью повышения активности и стабильности катализатора, он содержит в качестве соединения ванадия и железа фазу оксиферрованадата при атомном соотношении Fe : V = 1 : 1 при следующем соотношении компонентов, мас.%:Оксиферрованадат - 2,97 - 9,66Оксид алюминия - Остальное2. Способ получения катализатора для окисления сернистых соединений в отходящих газах путем пропитки носителя растворами смеси солей железа и ванадия, сушки и прокаливания, отличающийся тем, что, с целью повышения активности катализатора, пропитку осуществляют...

Номер патента: 1365436

Опубликовано: 27.08.1999

Авторы: Водолазов, Команецкий, Литвиненко, Мукминов, Филимонов, Черняев

МПК: B01J 49/00

Метки: анионитов, десорбции, кремния, соединений

1. Способ десорбции соединений кремния с анионитов, включающий их обработку раствором щелочи в присутствии защитной солевой добавки при pH среды 12,7 - 12,9 с последующим выводом десорбата, отличающийся тем, что, с целью снижения затрат на осуществление способа за счет возможности повторного использования десорбата и дополнительного извлечения молибдена из десорбата, десорбат обрабатывают 2 - 3-кратным избытком по отношению к кремнию гидроокиси кальция при избыточной щелочности 10 - 20 г/л по гидроокиси натрия и времени контакта 1,5 - 2,5 ч с последующим отделением осадка кремния и возвратом растворов после доукрепления щелочью и солью на десорбцию соединений кремния, причем после...

Номер патента: 1367355

Опубликовано: 27.08.1999

Авторы: Буянов, Доронин, Исаева, Криворучко, Якимова

МПК: B01D 53/48, C01B 17/04

Метки: газов, сернистых, соединений

1. Способ очистки газов от сернистых соединений с получением элементарной серы в присутствии циркулирующего катализатора при повышенной температуре, отличающийся тем, что, с целью повышения селективности образования серы, уменьшения расхода катализатора и обеспечения возможности переработки запыленных газов, процесс проводят в восходящем потоке микросферического или порошкообразного катализатора при 151 - 280oС.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса, очистку осуществляют при 210 - 280oС.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что при осуществлении процесса при 151 - 210oС 5 - 10% циркулирующего катализатора направляют на...

Номер патента: 1369430

Опубликовано: 27.08.1999

Авторы: Баклагин, Ворогушин, Лунин, Михальченков, Сюзев, Хорошилов

МПК: F16L 37/08

Метки: быстроразъемных, втулка, демонтажа, разъемная, раструбных, соединений, трубопроводов

Втулка разъемная для демонтажа быстроразъемных раструбных соединений трубопроводов с пружинным стопорным кольцом, содержащая два шарнирно соединенных полукольца с окнами, в каждом из которых с возможностью поворота закреплен кулачок, связанный шарнирно выступом со скобой, и разжимные приспособления, установленные с возможностью взаимодействия с пружинным стопорным кольцом, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности, разжимное приспособление выполнено в виде ступенчатых зубчатых пластин, при этом на внутренней поверхности полуколец втулки выполнены продольные пазы, в каждом из которых расположена зубчатая пластина с возможностью перемещения вдоль оси трубопровода.

Номер патента: 1328986

Опубликовано: 27.08.1999

Авторы: Водолазов, Команецкий, Ласкорин, Литвиненко, Мукминов, Фастова

МПК: B01J 49/00, C01B 33/02

Метки: анионитов, десорбции, кремния, соединений

1. Способ десорбции соединений кремния с анионитов, включающий обработку анионита раствором минеральной соли и введение в суспензию гидроксида натрия при перемешивании, отличающийся тем, что, с целью снижения расхода гидроксида натрия, более полной десорбции кремния и повышения механической прочности регенерированного анионита, гидроксид натрия вводят в суспензию до pH среды 12,8 - 13,0, перемешивание ведут до концентрации кремния в суспензии (в расчете на диоксид кремния) 10 - 15 г/л и мольного отношения натрия, введенного со свободной щелочью, к кремнию 1,3 - 1,6, после чего уменьшают количество вводимого гидроксида натрия до pH среды 11,0 - 12,4, а перемешивание ведут до концентрации...

Номер патента: 1533178

Опубликовано: 27.08.1999

Авторы: Баклагин, Богерук, Данильченко, Лунин, Михальченков, Попов

МПК: B25B 27/02

Метки: быстроразъемных, размыкатель, раструбных, соединений, трубопроводов

Размыкатель быстроразъемных раструбных соединений трубопроводов, содержащий две шарнирно соединенные между собой полувтулки, выполненные с возможностью базирования по наружному диаметру трубы и торцам ее буртика и взаимодействия с пружинным стопорным кольцом соединения, имеющие диаметрально расположенные окна, и обойму для связи полувтулок, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и снижения трудоемкости работы с размыкателем, на полувтулках выполнены приливы с отверстиями, размыкатель снабжен силовым толкателем, имеющим размещенные в отверстиях приливов полувтулок подвижные вдоль осей отверстий гидроцилиндры с полуотверстиями на корпусах, предназначенные для...

Номер патента: 1598420

Опубликовано: 27.08.1999

Авторы: Жигарев, Кургузов, Максимова, Махонин, Попов, Суховерхов

МПК: B22F 1/00, C01B 31/30

Метки: реактор, синтеза, соединений, тугоплавких

Реактор для синтеза тугоплавких соединений, содержащий камеру с крышкой и патрубки для подвода и отвода газов, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности процесса синтеза, он снабжен дополнительной камерой, установленной на крышке, капсулой с фторокислителем, расположенной в центре дополнительной камеры, тонкостенной перемычкой, герметизирующей капсулу снизу, и запорным устройством, герметизирующим дополнительную камеру сверху, причем объем капсулы с фторокислителем определяется соотношениемгде Vк - объем капсулы;Vкр - объем камеры реактора, см3;K -...

Номер патента: 1258014

Опубликовано: 10.09.1999

Авторы: Бровкина, Горин, Ипполитов, Мартынюк, Чернышов, Щетинина

МПК: C01B 15/12

Метки: аммония, борсодержащих, перекисных, соединений

1. Способ получения перекисных борсодержащих соединений аммония путем взаимодействия концентрированной перекиси водорода, кислородсодержащего соединения бора и газообразного аммиака, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода продукта и упрощения процесса, его ведут при pH 4,0 - 9,2 и температуре 30 - 60oC.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что качестве кислородсодержащего соединения бора используют или борный ангидрид, или тетраборат аммония, или пентаборат аммония.3. Способ по п. 1 и 2, отличающийся тем, что перекись водорода берут концентрацией 30 - 92% при соотношении бора и перекиси водорода 1:(1,5 - 3).

Номер патента: 1325758

Опубликовано: 27.09.1999

Авторы: Балашов, Башин, Буянов, Горбунов, Золотовский, Исаева, Криворучко, Попов

МПК: B01J 23/84, C01B 17/04

Метки: газах, катализатор, окисления, отходящих, сернистых, соединений

Катализатор для окисления сернистых соединений в отходящих газах, содержащий оксиды ванадия и металлов-промоторов, нанесенные на носитель - оксид алюминия, отличающийся тем, что, с целью повышения активности катализатора, в качестве промоторов он содержит оксиды железа (III) и щелочного металла, выбранного из группы, включающей натрий, калий и цезий, при следующем соотношении компонентов, мас.%:Оксид ванадия - 1 - 4,8Оксид железа (III) - 1 - 4,8Оксид натрия калия или цезия - 0,1 - 0,5Оксид алюминия - Остальное

Номер патента: 1568460

Опубликовано: 27.09.1999

Авторы: Кашпура, Лахмостов, Матрос, Носков

МПК: C02F 1/28, C02F 1/72

Метки: вод, органических, соединений, сточных

Способ очистки сточных вод от органических соединений окислением кислородом воздуха, включающий последовательно испарение, пропускание паровоздушной смеси через слой твердого катализатора, окисление и конденсацию отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса путем увеличения нагрузки на катализатор и снижения энергозатрат, испарение ведут в одном слое инертного зернистого материала, а конденсацию - в другом, при этом через каждые 5 - 100 мин изменяют последовательность прохождения воды через слои и процесс ведут при соотношении катализатор: инертный материал, составляющем 1 : 3 - 20.

Номер патента: 1665622

Опубликовано: 10.10.1999

Авторы: Горелов, Субботин

МПК: B23P 6/00

Метки: винтовых, ремонта, соединений

Способ ремонта винтовых соединений, преимущественно труб из термоупрочненных алюминиевых сплавов со стальными замками, при котором производят нагрев замка, его отвинчивание и навинчивание нового, отличающийся тем, что, с целью повышения качества соединения путем релаксации напряжений и производительности ремонта, нагрев замка производят до температуры закалки алюминиевого сплава, выдерживают соединение при этой температуре до выравнивания температурного поля по всему сечению соединения, а перед отвинчиванием замка соединение охлаждают по режиму закалки алюминиевого сплава.

Номер патента: 1584308

Опубликовано: 10.10.1999

Авторы: Арбузов, Буянов, Золотовский, Клевцов, Комышан, Коробов, Лапина, Сакаева, Хаконов, Цыбулевский

МПК: B01J 23/02, B01J 23/22, C01B 17/04 ...

Метки: газов, катализатор, клауса, отходящих, промышленных, реакции, серы, соединений

Катализатор для очистки отходящих промышленных газов по реакции Клауса от соединений серы, содержащий диоксид титана, промотированный 1,5 - 35,0 мас. %, сульфата щелочноземельного металла, выбранного из группы, включающей кальций, стронций, барий, отличающийся тем, что, с целью повышения активности катализатора в присутствии кислорода, он дополнительно содержит оксиды магния и ванадия при следующем соотношении ингредиентов, мас.%:Оксид магния - 3,3 - 13,2Оксид ванадия - 1,8 - 7,2Диоксид титана, промотированный сульфатом щелочно-земельного металла - Остальное

Номер патента: 1213577

Опубликовано: 20.10.1999

Авторы: Асанов, Бартенев, Комаров, Котельников, Пилипенко, Сахапов, Сироткин, Стрижков, Цайлингольд, Чехов, Чуприн

МПК: B01D 53/46, B01J 23/84

Метки: газа, дегидрирования, карбонильных, катализатор, контактного, н-бутенов, окислительного, процесса, соединений

Катализатор для очистки контактного газа процесса окислительного дегидрирования н-бутенов от карбонильных соединений, содержащий оксиды железа, натрия, кальция, магния, цинка и фосфора, отличающийся тем, что, с целью повышения активности катализатора, он дополнительно содержит оксид ванадия и/или оксид свинца при следующем соотношении компонентов, мас.%:Оксид натрия - 6,7-20,2Оксид кальция - 4,2-11,2Оксид магния - 1,7-8,3Оксид цинка - 9-14,9Оксид фосфора - 0,2-9,2Оксид ванадия и/или оксид свинца - 0,01-2Оксид железа - Остальное

Номер патента: 670005

Опубликовано: 10.11.1999

Авторы: Аграфенин, Аграфенина

МПК: H01L 21/302

Метки: полупроводниковых, соединений, травитель

Травитель для полупроводниковых соединений, содержащий трехокись хрома и соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью получения зеркально-гладкой поверхности пластин кристаллов и пленок полупроводниковых соединений типа А4В4С6 и А4В6С6, он дополнительно содержит уксусную кислоту и воду при следующем соотношении компонентов, вес.%:Трехокись хрома - 2,5 - 10Соляная кислота - 2,6 - 18Уксусная кислота - 1,86 - 12,65Вода - Остальное

Номер патента: 797459

Опубликовано: 10.11.1999

Авторы: Золотухин, Максимов, Марончук

МПК: H01L 21/302

Метки: aiiibv, полупроводниковых, селективного, соединений, типа, травления

Способ селективного травления полупроводниковых соединений типа AIII BV, включающий нанесение металла на поверхность полупроводникового соединения с последующей термообработкой, отличающийся тем, что, с целью упрощения селективного травления и увеличения глубины травления, металл, преимущественно индий или галлий, наносят в виде пленки толщиной 0,1-10 мкм на участки полупроводника, подлежащие травлению а термообработку проводят при температуре, превышающей температуру диссоциации полупроводника на 20-200oC в потоке инертного газа.