Установка для герметизации полупроводниковыхприборов

1О П И С А Н И Е 306513ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союэ Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства11 ПК Н 01 7/6 91/26 13 явлено 26.Х.1969 с присоединением заявки Ъ оритет Комитет по делам зооретений и открыт при Совете МинистреДК 621.382(088.8)19 Опубликовано 11 Л 1 71. юллете я 2.11 Дата опубликования пцсаг авторыизобретения Л,Рязанов, Л. Г, Фюрст, А, А, ЛБелов и Ю, Д, Мишуков Лобиков, И вушкин, В Трофимов, А. Д. Антонцев, Н. Н аявит ПОЛУП РО ВОДН И КО ВЪХВ РМЕТИЗАЦ ПРИБОУСТАНОВ 2 деформации отрезка, Это заатпзацшо герметизации иолу- приборов, а также цовьппеппе ости этой операции,прцооров прцтрудцяет автохпроводццковыхпроизводитель Изобретение относится к производству полупроводников, а именно к установкам для герметизации полупроводниковых приборов преимущественно интегральных твердых схем.Известны установки для прессования изде лий из термореактивной пластмассы, которые содержат пресс с поворотным столом, несущим нагреваемые пресс-формы, гидроцилццдры смыкания пресс-форм и прессования, устройство для загрузки и выгрузки приборов и 10 систему управления, На рабочей позиции механизмом загрузки в камеру пресс-формы засыпается материал, Затем цилиндр прессования проталкивает расплавившийся под действием давления и температуры материал в 15 формообразующую полость пресс-формы. После этого пресс-форма проходит через ряд холостых позиций, на которых происходит полцмеризация материала. На позиции выгрузки изделий пресс-форма раскрывается, ц ме ханизм выгрузки вынимает изделия из прессформы,При герметизации на такой установке полупроводниковых приборов, например интегральных схем, собранных на отрезке метал лической ленты, требуется точная ориентация приборов в формообразующих полостях нагретой пресс-формы. Установка в пресс-форму отрезка ленты затруднена из-за цежесткостц отрезка и возможности обрыва соединений 30 Б предложенной установке этц недостатки устранены благодаря тому, что устройство для загрузки и выгрузки приборов выполнено в виде ротора, в пазах которого расположены две пары рычагов для захвата кассет, и связано с приводом поворотного стола. Привод представляет собой мальтийский хтеханцзхт, кривошип которого жестко соединен с расположенным на его осц двухцевочцым крцвошпцом первого промежуточного мальтийского механизма. Крест последнего жестко соединен с расположенным ца его осц двухцевочцым крцвошипом мальтийского механизма поворота ротора устроцства для загрузки ц выгрузки приборов, Кривошип мальтийского механизма привода поворотного стола также жестко соединен с двухцевочным крцвошцпом второго промежуточного мальтийскогго механизма с крестом, который жестко соединен с расположенным на его осц кулачком, воздействующим на рычаги для захвата кассет.На фиг, 1 показано предложенное устройство; ца фпг. 2 - 5 - устройство для загрузки ц выгрузки приборов; ца фцг. 6 - ротор с рычагами.55 60 б 5 Пресс 1 закреплен ца раме почуявтоматя.Поворотный стол 2 несет нечетное шсло блоков 3 прессования. смыкающих кассеты 4.Блок 3 прессования содержит нижнюю плиту б ц верхнюю плиту б, в которой расположена рабочая каъееря для материала, Материал в виде прессованных таблеток закладывается з магазинное устройство 7 ц подается В рабочую камеру верхней плиты б блока 3 механизмом загрузки таблеток, Пресс имеет пдрянлические цилиндры 8 ц 9 смыкания кассет прессования. Смену кассет на рябо)сй:Еозцецц пресса осуществляет устройстго 10 для загрузки и выгрузки приборов.Устройство 10 выполнено в вцде ротора 11, в пазах которого расположены подвн)кные рычаги 12 для захвата кассет 4. Поворотный стол 2 и устройство 10 имеют общий привод, представляющий собой мальтийский механизм, кривошип 13 которого поворачивает стол 2 и соединен с двухцевочцым кривошипод 14 первого нромежуто)шого мальтийского механизма. Крест 16 этого механизма соединен с двухцево шым кривошипом 1 б мальтийского механизма с крестом 17 привода ротора 11 устройстьа 10. Кривошип И соединен также с двухцевочным кривошипом 18 второго промежуточного мальтийского механизма с крестом 19, соединенным с кулачком 20, который управляет движением рычагов 12 для захвата кассет 4 и датчиком 21, включающим через сцс ) еу управления цилиндр 8 смыкания кассет и цилиндр 9 прессования,Ротор 11 устройства 10 (см. фнг. 6) имеет пазы 22, в которых расположены обе пары рычагов 12, стянутые попарно пружинами 23, Рычаги вращаются на закрепленных в корпусе осях 24 ц связаны планками 25, задающцмц идентичное движение обеим парям рычагов. В корпусе ротора расположен ползун 26 со штырем 27, воздействуощим на концы рычагов, На концах ползуна закреплены опоры вращения 28, па которые воздействует кулачок 20. Нижняя плита 5 блока 3 прессозанця имеет фиксирующие штыри 29, кассета 4 имеет углубления под штыри, а концы рычагов 12 для захвата кассет выполнены со скосами 30.Установка работает следуощцм образом.Оператор на позиции обслужцза;пя устанавливает на монтажный столик кассету с приборами, подлежащими герметцзацш. После этого рычаги 12 сводятся, захватываот кассеты на рабочей позиции пресса ц снимают их с фиксирующих штырей 29, Затем ротор 11 поворачивается на 180 ц переносит холодную кассету, установленную оператором, на рабочую позицшо пресса, а кассету с загерметизированными приборами - с рабочей позиции пресса на позицию оператора. Это обеспечивается устройством 10 для загрузки и выгрузки приборов.Устройство 10 и поворотный стол 2 1 рцводятся от общего двигателя, Кривошн; 3 мальтийского механизма привода стола, вра 10 15 20 25 30 35 40 45 50 ц 1151 сь, ново;)ячцВаст двухцеВОчны с)5 Вошцц 14, 1 оторый связан с мальтийским крестом 16 соед псины.; с двехцсво пы) к)цвоц 1 пои 16. Последнии );Оворачивает мальтийский крест 17, я через пего ротор 11.Кривошип И связан также с двухцевочц ы)1 есри 130 ш 1:пом 18, Есоторый поворячцвст Еяяльтцнскцц крест 19, приводящ)ш кулачок О, Послед)шй Воздействует на одну цз опор 28 и передвигает нолзун 26 в корпусе ротор:11. Кулачок попеременно воздействует на о:оры 28 прп повороте ротора 11, Рычаги 12 расходятся, н кассета опускается на фиксирующие штыри 29, Подъем ц опускание кассет Ооеспспц)яотс 51 с 1 сосамн 30 )ЫчяГОВ,Цилиндр 9 прессования опускает верхнюю плиту б блока прессования ня кассету, которая была поднята на время смены кассет. Затем крвошип И мальтийского механизма поворачивает стол па одну позццшо. Холодная кассета переходит на нозццио нагрева, а ца рабочую позицию пресса поступает нагретая кассета, прошедшая все Озцццц нагрева, Кривошип 13 продолжает вращаться, цо рычаги 12 захвата кассет пеподв)кны. В это время кулачок 20 устройства 10 для загрузки и Выгрузки приборов вклочает датчик 21, которьш через систему управления Вклочает цилиндр 8 смыкания и после зягрузсц блока 3 таблеткой - цилиндр 9 прессовашнц После этого кривошип 13 останавливается. а реле времени отсчитывает время вьдержки корпусов приборов нод давлением. Через некоторое время реле времени отключает цилиндр 8 смыкания, включается привод поворотного стола 2 ц кривошцп 13 поворачивает стол еще ця одну позицию, Опрессоваццая кассета с ряоочей позиции пресса переходит ня позицшо полимерцзации под деиствцем температуры блока 3 прессования, а ня рябоуо позицшо поступает кассета с загерметизированными приборами после полимер;Езаццц. Цилцндр 9 прессования поднимает верхиОо плиту 6 блока прессования, ц рычап 12 производят новую смену кассет, Остановки электродвигателя привода стола 2 ц устройства 10 для зяГрузки ц ВЫГру)зим 13)1 ебо)ОВ, а тя 1 с)есе других механизмов ц узлов установки обеснечеВя ются системой уп)явленц 51, ВклО)1 я 1 ощей блоки элсктроавтоматцкц па логических элсмепах и пдроцривод,Таким образом, установка работает так, что ця рабочей позиции пресса попеременно н)01)313051 тсл О,1)ессовка приборов В кассетезаменя сассеты с заерметцзцровяпнэхц црцборамц холодной кассетой, Касссты после;Еовятельцо проходят все позиции пресса и 3 О:3 вряцяОтс 5 на рабочую озццшо нягретыш до температуры, необходимой для опрессовкц, зятем они вновь проходят все позиции, ця которыдс осуществляется цолцмеризация матсрцаля корпусов приборов нри температуре, задаваемой Олокамц прессования,вращаются на рабочуо позицию, после чегопроисходт смена кассет, Все Опера. ив (оматизированы.Датчик, управляющий работой гидроццлицдров, через систему управления обссцсч;- вает в первом такте подъем вер.(це 1.л:ы 5 блока прессования, необходимый для смены кассет, а во втором такте - вк:почение цилиндра смыкания, а также подъем ппока цилиндра прессования ц опускание его для прессования после загрузки материала. Прц этом 10 в первом такте кассета с загерметизированными приборами подается ня позицшо оператора, а вновь установленная кассета направляется на прогрев. Во втором такте оцрсссовашяя исеет поступает ня выдержку: рп 15 температуре цолцмеризациц, смены (яссет це происходит, 11 ечетцое количество позиций па поворотном столе обеспечивает пеирл рыбное чередование загерметизировапцо и пустой; кассет цд рабочей позиции пресса. 20П редм ет изобретенияУстановка для герметизации полупроводниковых приборов в корпуса из пластмассы методом прессования, содержащая пресс с ново ротным столо, мальтийский ех(цз привода стола, пресс-формы, гидроццлицдры смыд.и:,росс-формы и прессования, устроиство длч плрузки и выгрузки приборов, систему . рявлецця отлчаю 1 а.вся тем, что, с целью пс;вышсння производительности установки, ,сс( ВО для завам зки и ВыгрУзки приборов вы,Олцспз .; ;лс ротора, в пазах которого расположены стянутые пружинами две пары ры:ясов для захватя кассет, причем поворот ротора устройства для здгрузц и выгрузки приборов для перенося кассеты на следующую позицшо стола .:роизводптся от мальтийского механизма привода стола пресса, кривошип которого жестко соединен с расположенным цд его оси двухпевочцым кривошипом первого промежуточного мальтийского механизма, рсст которого, в свою очередь, жестко соедис.", с рдсположгчшым ця его осц двухцевочц 1.:з крцвон 1:цОм ыяльтцйсОГО механизма поворота роторд устройства для загрузки и выгрузки приборов, а перемещение рычагов для захвата кассет устройства для загрузки ц выгрузки прцооров производится кулачком, закрепленным на осц креста второго промежугочного мальтийского механизма, двухцевочцый рцвошцп которого закреплен на кривошице малыгйского мехацизма привода стола пресса.ипография, пр. Сапунова каз 3836/3 Изд.1489 НИИПИ Комитета по делам пзобрстенцй и о Москва, Ж, РаушскаТираж 473 Подписнорытий при Совете Мшшстров ССС паб д 475