Кассета для полупроводниковых кристаллов

О П И С А Н И Е 34254ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 11.Ч,1969 ( 1326456/26-25)с присоединением заявки1 ПК Н 0 П 7 У иоритетубликовано 07,1 Х,1971. Бюллетеньпо делам и открыти Министров СР Комитеизобретен К 621.328 002(088 8) и Сов бликования описания 12.Х 1.1971 Авторыизобретения Е. Онегин, В. лянд и В, А. Зеньк ЭСЕГ:;Т 1 Гт 1 " я 1 ъ ы: ;Заявител КАССЕТА ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛ 2 овышение точност ружаеот 100 Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов, а именнок сборочным процессам, и может найти при.менение в производстве гибридных интегральных схем.В полупроводниковой промышленности присборке, контроле и тому подобных операцияхшироко применяют в качестве накопителейкристаллов различного типа кассеты с вакуумными присосками.Емкость (число одновременно загмых деталей) таких кассет колеблетсядо 1000 шт.Кассета обычно представляет собой плиту,на рабочей поверхности которой выполненыспециальные углубления-гнезда. В дне гнездимеются отверстия, связанные с камерой разрежения. Кристаллы укладываются в гнездакассет, и последняя используется в качествезагрузочного устройства в сборочных машинах различного типа,Известные конструкции кассет не обеспечивают высокой точности ориентации (базирования) кристаллов, необходимой на некоторых сборочных операциях, например, приавтоматическом присоединении полупроводниковых кристаллов к подложкам гибридныхинтегральных схем. Объясняется это тем, чтопогрешность базирования кристаллов в гнездах определяется зазопами между боковыми стенками гнезд и кристаллами,сками на размеры кристалловэтом суммарная погрешность не тнеобходимой точности для а5 сборки.Цель изобретения - и иориентации кристаллов.Эта цель достигается тем, что плита с гнез.дами выполнена из основания с плоской ра 10 бочей поверхностью и рамки со сквознымигнездами, подвижной относительно основания, перемещение которой ограничено упорами; на двух взаимно перпендикулярных гранях рамки укреплены плоские пружины, под 15 жимающие рамку к граням основания.Благодаря этому кристалл базируется посвопм двум взаимно пересекающимся боковымграням, которые прижимаются к базовым боковым поверхностям гнезд, что значительно20 увеличивает точность ориентации кристаллов.На фиг. 1 и 2 изображена кассета; нафиг, 3 показаны гнезда с кристаллами до ихокончательной ориентации; на фиг. 4 - гнезда с кристаллами после их ориентации.25 Кассета-накопитель представляет собой основание 1 с плоской рабочей поверхностью,на которой установлена подвижная рамкасо сквозными гнездами 3. Гнезда 3 имеютбоковые поверхности 4, упоры 5 и 6, укрепЗО ленные на основании 1, ограничивают пере314254 7 иг. иг,иг. оставитель В. Гришин Техред Т. Л. Курилко Корректор 3. И, Тарасова оляков актор Заказ 3164/10 Изд.1344 Тираж 473 ПодписноеЦ 1.П 1 ИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 гнография, пр, Сапунова мещение рамки 2, которая поджимается купорам о плоскими пружинами 7.Ориентирование кристаллов выполняетсяследующим образом.В гнезда 3 кассеты укладывают (вручную 5или специальным кассетоукладчиком) предварительно ориентированные кристаллы 8.При этом они занимают в гнездах д различные положения (см, фиг. 3), После этого перемещают рамку 2 из одного крайнего положения в другое до упоров 6 и обратно 1 см,фиг. 2),При движении рамки 2 поверхности 4гнезд Г соприкасаются с гранями кристаллов 15и перемеща 1 от их на некоторое ограниченноерасстояние, за счет чего кристаллы ориентируются относительно двух взаимно пересекающихся граней кристалла (см. фиг. 3). Предмет изобретенияКассета для полупроводниковых кристал. лов, содержащая основание и рамку с гнездами для размещения кристаллов, отличаюиаяся тем, что, с целью повышения точности ориентации кристаллов, рамка свободно ус. тановлена на рабочей плоскости основания, на двух взаимно перпендикулярных гранях которого укреплены плоские пружины, поджимающие рамку к противоположным граням основания с укрепленными на них регулируемыми упорами, обеспечивающими базирование рамки с различными угловыми положениями относительно основания.