Устройство для совмещения и экспонирования

326669 Союз Советскик Социалистическитт РеспубликЗависимое от авт. свцдетельсгца МЗаявлено 18,1 тт.1969 ( 1325789/26-25) Кл, Н О 1/ 7168 явки Л" с присоединениеа иоритет Комитет по аелам изобретений и открытийвете Министре Дата опубликования описания 6.111.197. Чернявский ксенов явител СТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИ 2 агом, обеспечивающим нижней клтшовой наИзобретение относится к оборудованию полупроводникового производства, в частности к установкам для совмещения рисунка на подложке с рисунком на фотошаблоне и экспонирования при фотолитографии.Известны установки для совмещения и экспонирования, содержащие устройство для совмещения, оптическую систему для визуального контроля совмещения, источник света для экспонирования. Эти установки при использовании их для совмещения рисунков, имеющих элементы размером несколько микрон, не обеспечивают точной и постоянной величины микрозазора между подложкой и фотошаблоном, в частности, из-за перемещения подложки в вертикальной плоскости пневмоприводом.Целью изобретения является создание установки для совмещения иэкспонирования,обеспечивающей более высокую точность установки микрозазора между подложкой и фото- шаблоном.Цель достигается тем, что привод манипулятора для точного вертикального перемеще ця подложки выполнен в виде электромагнита и двух независимых шарнирно установленных на оси рычагов. Один из рычагов верхним плечом находится в постоянном контакте с нижней клиновой направляющей, а нижним плечом, являющимся якорем электромагнита,связан с другим рычточное перемещениеправляющец.На чертеже изображено предлагаемое уст ройство для совмещения и экспонирования.Устройство состоит из оптического устройства 1, источника света 2, корпуса 3 с фото- шаблоном 4, стола 5 со сферической опорой для размещения подложки 6, снабженного О манипулятором 7 с клиновой направляющей8 вертикального перемещения и клиповой направляющей 9 горизонтального перемещения подложки. Направляющие скреплены между собой пружиной 10.5 Привод перемещения клиновой направляющей 9 состоит из рычага 11 независимого перемещецпя, рычага 12, прижатого пружиной 13 к клиновой направляющей 9, и рычага 14 с электромагнитом 16, снабженным тумбле ром 16. Рычаг 14 может перемещаться от кулачка 17,Подложка 6 располагается на столе 6, афотошаблоц 4 закрепляется в корпусе 3, Затем рычаг 11 отводится, ц клиновая цаправ ляющая 9 перемещается в горизонтальнойплоскости прп помощи пружины 10, поднимая клиновую направляющую 8, которая прижимает подложку 6 к фотошаблону 4. После прижима подложки рычаг 12 останавливает- ЗО ся вместе с клиновой направляющей 9, вклюкорректор Е, Михе Заказ 51211 Изд. М 95 Тиратк 448ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при СоМосква, 71-35, Раушская иаб., д. 4(5 Подписное те Министров СССРппография, ир. Сапунов чается тумблер 16, и электромагнит 15 жестко соединяет рычаг 14 с рычагом 12. Далее рычаг 14 отводит в обратном направлении кулачком 17 клиновую направляющую 9 на определенное расстояние так, что между подложкой б и фотошаблоном 4 образуется микрозазор. Затем при помощи манипулятора 7 осуществляется совмещение, контролируемое через оптическое устройство, После того как совмещение произведено, подложка снова прижимается к фотошаблону, оптическое устройство отводится в сторону, на его место подводится источник света и производится экспонирование. Предмет изобретен и я Устройство для совмещения и экспонирования рисунка подложки с рисунком фотошаблона, содержащее оптическую систему, источник света, корпус для размещения фотошаблона, стол для закрепления подложки, манипулятор горизонтального перемещения подложки, манипулятор вертикального переме щения подложки с верхней и нижней клиновыми направляющими и приводами грубого и точного перемещения, отличающееся тем, что, с целью повышения точности установки микрозазора между подложкой и фотошабло ном при их совмещении, привод манипулятора для точного вертикального перемещения подложки выполнен в виде электромапшта и двух независимых шарнирно установленных на оси рычагов, один из которых верхним пле чом находится в постоянном контакте с нижней клиновой направляющей, а нижним плечом, являющимся якорем электромагнита, связан с другим рычагом, обеспечивающим перемещение нижней клиновой направляю щей.