Муп
Кассета для полупроводниковых кристаллов
Номер патента: 314254
Опубликовано: 01.01.1971
Авторы: Зеньков, Лифл, Муп, Онегин
МПК: H01L 21/00
Метки: кассета, кристаллов, полупроводниковых
...для а5 сборки.Цель изобретения - и иориентации кристаллов.Эта цель достигается тем, что плита с гнез.дами выполнена из основания с плоской ра 10 бочей поверхностью и рамки со сквознымигнездами, подвижной относительно основания, перемещение которой ограничено упорами; на двух взаимно перпендикулярных гранях рамки укреплены плоские пружины, под 15 жимающие рамку к граням основания.Благодаря этому кристалл базируется посвопм двум взаимно пересекающимся боковымграням, которые прижимаются к базовым боковым поверхностям гнезд, что значительно20 увеличивает точность ориентации кристаллов.На фиг. 1 и 2 изображена кассета; нафиг, 3 показаны гнезда с кристаллами до ихокончательной ориентации; на фиг. 4 - гнезда с кристаллами после их...