Способ определения энергии активации диффузии тонких пленок

Ссюа Советских Социалистических Республик1/.1966 ( 1079134/26-25) аявлено заявкиприсоединение Комитет по делам зобретеиий и открытий при Совете Министров СССР, С. Баталов и Л. Н. Линни витель Я ЭНЕРГИИ АКТИВАОНКИХ ПЛЕНОК ПОСОБ ОПРЕДЕЛ ДИффУЗИнта дпффвавших чза промеулой: зии,7 от стпц газа сутки вреЛггг Ы Ьп; - Ь0где Лпг, Ьп числа дифвременные 2, гггЗ, , Ьп; фундирующихинтервалы Л 1, Лп; - изменения гастиц в одинаковые в единице объема,ехр ( константа, не завися их температурных температуры Т,альная газовая пос ая (для гнтерва некаянебольшлов) отуниверс де янна еляе Энергия акти так же, как ордин агах:изации диффузииангенс наклона ямои 1 пД - :1Р,Т Изобретение относится к способам определения диффузионных характеристик различных материалов, в частности энергии активации диффузии газов в тонкие пленки различных материалов.Известен способ определения энергии активации диффузии, при котором на поверхность образца наносят тонкий слой исследуемого материала, подключают к измерительной ячейке, одним из элементов которой является образец, источник СВЧ-агощности и измеряют добротность получившегося контура.Для повышения точности определения и расширения диапазона измерений величины энергии активации, согласно предложенному способу, изготовляют из подготовленного образца полый резонатор, выбирая необходимую толщину исследуемого слоя подбором геометрических размеров резонатора и частоты, на которой осуществляют измерения. Над н апыляемой поверхностью поддерживают неизменным давление исследуемых газов, изменяют температуру в изучаемом диапазоне и измеряют зависимость от температуры коэффициента диффузии, для определения которого проводят последовательно несколько измерений изменения числа диффундирующих в скин- слое частиц, осуществляя регистрацию изменения электропроводности слоя избранной толщины. Зависимость коэффпцг числа и, продиффундир в скин-слой толщиной Л мени Л 1 выражается фор Энергия активизации диффузии Еляется из соотношения:Заказ 2030/4 Изд. Мо 858 Тираж 473 ПодписноеЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская нгб., д. 4,5 Типография, пр. Сапунова, 2 Для определения энергии активации диффузии из исследуемого материала изготовляют образец в виде полого резонатора. Необходимую для измерений толщину скин-слоя, в которой диффундируют частицы газа, выбирают, варьируя геометрические размеры резонатора и величину частоты, на которой проводят измерения. После этого поддерживают неизменным давление исследуемых газов над напыляемой поверхностьо, изменяют температуру в изучаемом диапазоне и измеряют зависимость от температуры коэффициента диффузии Д. В соответствии с соотношением (1) для о 1- ределения коэффициента диффузии проводят последоватеьно несколько езъ 1 ерениЙ числа диффупдирующих в скин-слое частиц, регистрируя для этого изменение электропроводности слоя избранной толщины. Число продиффундировавших в скин-слой частиц связано с его электоопроводностью известным из кинетической теории явлений переноса соотношением. Затем по соотношению (2) или (3) находят численное значение энергии активации,Одинаковые временные интервалы между измерениями выдерживают с точностью в зависимости От требуемой точности измерений,Способ определения энергии активации диффузии тонких пленок различных материалов, 5 по когорому на поверхность образца наносяттонкий слой исследуемого материала, подключают к измерительной ячейке, одним из элементов которой является образец, источник СБЧ-мощности и измеряют добротность полу чившегося контура, отличающийся тем, что,с целью повышения точности определения и расширения диапазона измерений величины энергии активации, изготовляют из подготовленного образца полый резонатор, выбирая 15 необходимую толщину исследуемого слоя подбором геометрических размеров резонатора и частоты, на которой осуществляют измерения, поддерживают неизменным давление исследуемых газов над напыляемой поверхно стью, изменяют температуру в изучаемом диапазоне и измеряют зависимость от температуры коэффициента диффузии, для определения которого проводят последовательно несколько измерений изменения числа диффун дирующих в скин-слое частиц, осуществляярегистрацию изменения электропроводности слоя избранной толщины, причем одинаковые временные интервалы между измерениями выдерживают с точностью в зависимости от тре буемой точности измерений.