Комплект приспособлений для выполнения химико технологических операций

":- с: ; гдео и и с А 1 т е аоаьво Сс оа Сссетских Социалистическ их Ресублк-1 05219,26-2Ц Н 1;1. 7 68 аявлен с прнсоедннн.сКоестет ис дела 1 внорнт иий и отко,тдете,",Ьиистсов СССР ублнко .ан 1 1,3 Л.1971. БО;лс,.ь,.,(К 621,3 88 8) анни 29 Л 11.19 та опосиковання о Авторизоорстения ляги, н Я еиков, С линов, В Затвитель КОМПЛЕКТ ПРИСПОСОБЛЕНИЙ ДЛЯ ВЫПОЛНЕНИ ХИМИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОП ЕРАЦИ Йе относится к пронзводв частности к устройобработкн полупров Пзобретснн ств полупроводников, ствам для хнмнческой одниковых пластин.Известны кассеты различных конструкций 5 дл 51 хнанчссОн ооработки поляроводниковых пластин н нх мсжоперационнои транспортировки. Перегрузка пластин из кассет для обработки в кассеты для межоперационной транспортировки осуществляется либо с помощью пин О цета, либо с помощью вакуумных присосок. Такая перегрузка каждой пластины отнимает много времени и приводит к загрязнению и мсханичсскнм поврежденияа пластин.Целью изобретения является повышение ка З честна обработки путем исключения контактирования рабочей поверхности пластин с перегрузочными устройствами и увеличенис производительности.Для этого предложенный комплект снабжен 20 приспособлением для взаимной ориентации рабочей кассеты и кассеты для межоперационной транспортировки, выполненным в виде диска с хвостовиком и направляющими на торцовой части. Кассета для межоперационной транс портировки представляет собой диск с гнездами под пластины, имеющий вырезы, соответствующие профилю рабочей кассеты и превышающие его по размерам.На фиг. 1 и 2 показано приспособление для 60 ориентации рабо:Сн кассеты с кассетой для межоперацнонной транспортировки нсрсд нсрегрузкой и после нсрегрузкн полупроводниковых пластин; на фиг. 3 - комплект приспособлений в плане.Комплскт прнспосооленпн для в 1 нолнснн 51 химико-технологических операций содержит прнспосоолсние 1 для взаимной орнстанин рабочей кассеты 2 н кассеты 3 для мсжоперацнонной транспортировки. Приспосооленнс 1 выполнено в вндс диска, снабженного хвостовнком 4 с ориентирующей рабочую кассету концевой частью э н направляющими 6 для ориентации кассеты Л.Рабочая кассета 2 имеет выступ 7 для укладки пластин н посадочное отверстие д, Кассета 3 для межопсрационной транспортировки имеет углубления 9 для размещения пластнн 10 н направляющие отверстия 11. По профилю рабочей кассеты 2 в кассете 3 выполнены вырезы 12, при эток ежд профилем касссты 2 и вырезамн в кассете 3 предусмотрен рабочий зазор.Подготовленные к обработке пластины 10, размещенные в углублениях 9 кассеты 3, поступают на рабочее место. Кассета 3 опускается на рабочую кассету 2, размещенную на приспособлении 1 и ориентированную с помощью концевой части 5 н хвостовика 4. При опускании кассета 3 ориентируется относительно ра303680 2КГ,(г 1 бочсй кассеты 2 с помощью отверстий 11 по наиравляющим б. Поскольку мс)кд вырезами 12 и кассете д и профилем рабочей кассеты 2 имс- Ося зазорь, кссста,5 свооодно Оиускастс 1 НР Гриспособлснис 1, при этом пластины 10 оста-,) ются иа 13 ступа.; 7 рабочси кассеты. После этого раоочая кассета вместе с пластинами иодпи)астся и иаира 13 лястс 51 иа Обр(ботО. ПО окончании обработки рабочая кассета 2 вновь иадс 13 астс 51 иа .(остояк Р 11 ОГъскастся дО кон тктиро 3 аи 151 с тор НОВО 1 астыо ирисиосоолсии 51 1. Кассста ) иодни 5 астс 51 так, то илас 11- иь 10 Окязыаотея Б мглОлсии 5 г( 9 и )аис- ИОРТИР 5 СТС 5 ИГ СЛСДМ 0 ЦМ 10 ОИСРЯЦИЮ. П р с д )1 с 1 и 3 0 0 р с т с и и 51 Комилск Нрисиосоолсиии Л 5 ыиолиси 151,имико-тс.(иолоисеки( ОисрацРЙ на по- ГСиро)одиикоы:( игРстиа;(, содср)кащий ра босО кассете и кассет дл 5 ьсКОГсрациоинОЙ транспортировки, Г)г.гичаОщас) тем, что, с целью повыщсиия качества обрабогки иутсм искл 0 ения контактирОВания ра 00 Гсй ИО 3 ср:(- ности пласчн с перегрузочными устройствами и 5 всличсни 51 ироизводитсльиости, Ои сиаО)ксн вриспособлснием для взаимной ориспацци рабочей кассеты и кассеты для мс)коисрационной траиспортироки.2. Комплект приспособлений ио и. 1, от,пчсцогцийся тем, что присособлсиис для заим- НОЙ Ор РСнтяции раОО 1 сЙ касссы и касссть дл 51 ме)коперЦиоииой транспортироки ыиолнеио 13 Бидс диска с (ВосО 3 и(О) и нГра 3 л 51 ощи) и иа торцо 30 й Гас 1 и. 3. Комплект ирисиособлс;ИЙ ио и. , Отл(1- ч(/ОГГ(Гсл тем, то кассета для мс)коиерциоииой трансиортироьки Выполнена виде диска с гнездами под пластины, имеющего Вырезы, соОтвс ст 13 ющис ирофилю рабОчси кассел и ирсвыиающис его размеры..г1 1 дД и Состизитсль Н. П. Островска П. Курилко Коррскгор Т. А. Джаманкулов зедакзор 3, Орловска 1 скре бластная типография Костромского управления по печатм Заказ 3879ЦНИИПИ Комит Изд. 717а по делам изобретений Москва, Ж, Ра 1 иоаяс 473и открытий при гискэя наб., д. 4/ 11 од.и.сиопте Министров СССР