Всгсоюзная пдтйт1п, -; у»; . -; lt; -fбиблг-

ОПИСАНИЕ 314255ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ бова Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 18,т 111,1969 ( 1357139/26-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 071 Х,1971, Бюллетень2Дата опубликования описания 12.Х 1.1971 К Н 01 7/68 Комитет ло делам изобретений и открытий ори Совете Министров СССРАвторыизобретения Голубовски Е. Е, Онегин, В, Н. Лифлянд и Заявител БРОБУНКЕР Изобретение относится к устройствам для автоматической загрузки полупроводниковых кристаллов на операциях сборки полупроводниковых приборов, в установках для присое- динения кристаллов и автоматических уст ройствах для укладки кристаллов в кассеты, Устройство может быть также применено в тех случаях, когда требуется поштучное отделение кристаллов от общего потока с возможностью точной фиксации их положения 10 на лотке для дальнейшего автоматического манипулирования с ними.Известны вибробункеры, лотки и тому подобные устройства, в которых для поштучного отделения деталей применяются различно го вида отсекатели с механическим воздействием на детали (прижим деталей, трение детали о деталь и т. д.). Применение таких устройств для поштучного отделения хрупких деталей плоской формы (например, полупро водниковых кристаллов) невозможно, так как отсекатели, механически воздействующие на поверхности деталей, наносят им повреждения.Цель изобретения - обеспечить отделение 25 кристаллов без повреждения их поверхности.В описываемом устройстве это достигается тем, что лоток содержит подвижный упор, установленный за отверстием вакуумного присоса, выполненным в лотке на расстоянии, 30 обеспечивающем отсечение от потока одного кристалла при подводе вакуума в отверстие и отводе упора от лотка.Подвижный упор и вакуумный присос сблокированы между собой. Отсечение одной детали от потока осуществляется за счет того, что предыдущие детали удерживаются вакуумом. В результате повреждение деталей от механического воздействия отсекателя исключается.На фиг. 1 схематически показан вибробункер, вид сверху; на фиг. 2 представлены схемы поштучного отделения кристаллов.Предлагаемый вибробункер состоит из чаши 1 с винтовым лотком 2, в котором выполнено отверстие 3, соединенное со штуцером 4. Лоток 2 прерывается подвижным упором 5, имеющим возможность поворачиваться на оси 6. Возврат упора 5 в первоначальное положение осуществляется пружиной 7.На магистрали подвода вакуума к отверстию 3 расположен клапан включения вакуума, сблокированный с поворотом упора 5. Кристаллы насыпаются в чашу 1 и под действием вибрации поднимаются по винтовому лотку 2 до упора 5.Детали (кристаллы), занимающие у упора одно из положений (например, лицевой стороной вверх), могут захватываться вакуумным захватом 8 и переноситься на рабочую314255 Предмет изобретения Б - Б А-А3 фи гг Закуумфиг 2 Составитель В, ГришинРедактор Ю. Полякова Техред Т. П. Курилко Корректор 3. И. Тарасов Заказ 3164/11 Изд,1344 Тираж 473 ПодписноеЦН 1 ИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д, 4/5 ипография, пр, Сапунова,позицию, а детали 9, занимающие другое положение (лицевой стороной вниз), при отводе упора 5 поштучно пропускаются по лотку дальше. На лотке за упором накапливаются кристаллы, занимающие только одно положение. Они могут быть также перенесены на рабочую позицию.Поштучное отделение кристаллов производится следующим образом.При опускании упора 5 одновременно включается вакуум в отверстии 3 на лотке, удерживающий предпоследний кристалл 10 перед упором 5. Предыдущие кристаллы 11 - 13 и т, д. при этом не могут продвинуться по лотку и только один кристалл 9, находящийся перед упором 5, под действием вибрации пройдет дальше по лотку за упор на позицию накопления ориентированных кристаллов. Тем самым производится поштучное отделение кристаллов без механического повреждения. После подъема упора под действием пружины 7 отключается вакуум в отверстии 3, и кристаллы 11 - 13 перемещаются к упору 5. Вибробункер для загрузки кристаллов полупроводниковых приборов, содержащий кор пус с винтовым лотком и устройство для поштучного отделения кристаллов, отличаюиийся тем, что, с целью повышения надежности подачи кристаллов, устройство поштучного отделения кристаллов выполнено в ви де подвижного упора и сблокированного сним вакуумного присоса, причем подвижный упор установлен за отверстием вакуумного присоса, выполненным в лотке на расстоянии, обеспечивающем отсечение от потока одного 20 кристалла при подключении вакуума и отводе упора от лотка,