ZIP архив

Текст

О 3125 САН И РЕТЕНИ Союз Советск циалистических Республик АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ от авт. свидетельствависи Заявлено 04,Ч 11.1969 ( 1354295/26.2с присоединением заявкиПриоритет М. Кл. Н 011 7/00 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРликовано 21,Ч,1972. Бюллетень14 УДК 621.382 002(088.8) Дата опубликования описания 22 Х.1 Авторыизобретен Кучин, В. И, Нижегородов и В. П. Шаповалов явитель ОВОГО ПРИБОРА ПОСОБ ИЗГОТОВЛЕН ЛУПРОВО Изобретение относится к электронной промышленности. Данный способ может быть использован при производстве сплавных диодов и транзисторов на основе монокристаллического германия п-типа, 5Известен способ изготовления полупроводниковых приборов на основе монокристаллического германия и-типа путем механической разделки слитка на пластины, пластин на кристаллы, химической подготовки поверхности 10 кристаллов под вплавление, отжига кристаллов перед вплавлением переходов при температуре, не превышающей температуру вплавления навесок в кристалл, а именно, при 400 - 540 С в течение 5 - 7 мин без регламен тирования скорости охлаждения кристаллов после отжига.При известном способе на,параметрах приборов отрицательно сказываются дефекты структуры, заложенные при выращивании мо нокристаллов, на которые накладываются механические напряжения, неизбежно возникающие в процессе разделки слитков монокристаллов германия на кристаллы.Предлагаемый способ позволяет уменьшить 2 влияние неконтролируемого флуктуационного распределения центров рекомбинации в объеме р-п-перехода, т. е. уменьшить дефекты структуры, заложенные при выращивании монокристалла, а также снять механические на пряжения, возникающие при разделке слитков. Он отличается тем, что отжиг кристаллов перед вплавлением проводят при температуре выше температуры вплавления, но ниже температуры активной термоконверсии для германия а-типа, в течение времени, которое превышает время вплавления в 5 - 6 раз, и со скоростью охлаждения не более 15 С/мин,.Способ осуществляется следующим образом.,Исходный слиток монокристаллического германия и-типа любым известным способом разрезают последовательно на пластины и кристаллы, после чего любым известным способом проводят химическую обработку поверхности кристаллов, например, травлением в НО+КОН, Кристаллы германия после обработки их,поверхности загружают в кассеты и помещают в водородную печь для отжига.Температура печи с загруженными кристаллами, произвольно повышается до температуры выше температуры вплавления электродов, например до 600 С, и выдерживается на этом уровне в течение времени, которое превышает время вплавления в 5 - 6 раз, например, в течение 30 мин. Затем печь с загруженными кристаллами охлаждают со скоростью не более 15 С/.иин, После этого отожженные кристаллы выгружают из,печи и отправляют на сборку, в,процессе которой кристаллы и элек312549 Составитель И. Лепешкина Корректор Е. Миронова Текред 3. Таранеико Редакор Б. Федотов Заказ 1343/1 Изд.604 Тираж 448 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 тродные навески загружают в кассеты для вплавления р-и-переходов. Вплавление происходит в водородных .печах при температуре порядка 560 С в течение 5 - 7 мин. Предмет изобретенияСпособ изготовления полупроводникового прибора на основе монокристаллического германия п-типа путем механической разделки слитка на пластины, пластин на кристаллы, химической подготовки поверхности кристаллов под вплавлениепредварительного отжига кристаллов перед вплавлением, вплавления р-;-перехода, отличающился тем, что, с целью уменьшения влияния неконтролируемого флуктуационного распределения центров ре комбинации в объеме р-п-перехода, отжигкристаллов проводят в течение времени, превышающего в 5 - 6 раз время вплавления, и лрн температуре, превышающей температуру вплавления электродов, но ниже температуры 10 активной термоконверсии для германия и-типа, с последующим охлаждением со скоростью не более 15 С/лин,

Смотреть

Заявка

1354295

В. Д. Кучин, В. И. Нижегородов, В. П. Шаповалов

МПК / Метки

МПК: H01L 21/00

Метки: 312549

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-312549-312549.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">312549</a>

Похожие патенты