Рпрофюзная 1пдиптяо. ган: . -, g-•at. ij. ylif—, . »

Союз Ссеетских Социалистическин РеспубликЗависимое от Заявлено 08. авт. свидетельства11,1968 ( 1253966,26-25.Ч. Кл. Н 01 7/ Комитет по делов изобретений и открытий при Совете Министров СССР,1.197 та опубликования описания 9,111,197 Авторызобретещ:л И КРОМАНИ ПУЛЯТОР ацпп 5 -1 а плит полупроводникоустановлен фоонтнрованы направемещается столик 9, яющих 10 закреплен помощью радиальнотановлена ось 12, тью пружинной плапрорези. Края плаустройства орпентастолом 3. 30 с присоединением заявки М Изобретение относится к устройствам точной механики и может быть применено при производстве полупроводниковых приборов.Известен микроманипулятор, содержащий корпус, координатно-поворотный узел, состоящий из жестко связанных между собой и установленных один на другом столиков и привода перемещения от микрометрических винтов или рычагов. Этот микроманипулятор не обеспечивает высокой точности перемещейия.Целью изобретения является повышение точности перемещения при том же выполнении элементов микроманипулятора. Цель достигается тем, что в микроманипулятор введен третий столик, установленный над координатно-поворотным узлом и связанный с его осью поворота плоской пружинной пластиной. Пластина имеет две прорези и закреплена средней частью на оси координатно-поворотного узла, а боковыми сторонами - на рабочем столе.На чертеже показан предложенный микро- манипулятор.Микроманипулятор установлен на нижней плите 1, над которой жестко укреплена базовая плита 2 с перемещающимся по ней на шариках рабочим столом 3. К столу крепятся стойки 4, которые проходят через отверстие в плите 2, На стойках 4 установлено устроиство орпент вой пластиной б, 1 тошаблон 7,На нижней плите 1 см ляющие 8, в которых пер На столике 9 в направл столик 11, ъа котором с упорных подшипников ус связанная со средней час стины 13, имеющей две стины 13 через плиту 14 ции скреплены с рабочим Перемещения столиков 9, 11 и оси 12 через пластину 13 передаются рабочему столу 3. При неточном изготовлении деталей и неаккуратной сборке перемещения столиков и поворот оси не параллельны плоскости перемещения рабочего стола 3. Вертикальная составляющая этих перемещений вызывает деформацию среднеи части пластины 13, при этом не возникает горизонтальных смещений прикрепленного к ней рабочего стола 3. Пластина 13 передает горизонтальные перемещения рабочему столу 3 от столиков 9, 11 и осп 12 и компенсирует непараллельность их перемещений. Рабочий стол 3 передвигается по плоскости плиты 2, благодаря чему пластина б перемещается параллельно нижней плоскости фотошаблопа 7, прп этом сохраняется по326668 Составитель В. ГришинРедактор Т, ОрловскаяТехред 3. Тараненкокторьн Л. Николаева и В,Ко ет аж 448 ипография, пр, Сапунова, 2 стоянный зазор между полупроводниковой пластиной и фотошаблоном.На нижней плите 1 установлен винт 15 с гайкой 1 б, который упирается в мембрану 17 исполнительной камеры 18 объемной гидро- передачи, закрепленной на столике 9. Исполнительная камера 18 соединена трубопроводом 19 с управляющей камерой 20, которая установлена на нижней плите 1 и заполнена практически несжимаемой жидкостью. В верхней части камеры 20 имеется сильфон 21, который упирается в микрометрический винт 22, вращающийся в неподвижной гайке 23, Перемещая винт 22, сжимают или освобождают сильфон 21.жидкость из сильфона 21 поступает в исполнительную камеру 18 и переме 1 цает мембрану 17. Мембрана упирается в винт 15, неподвижный относительно нижней плиты 1 благодаря гайке 1 б, поэтому перемещение мембраны 17 вызывает перемещение столика 9. В случае освобождения сильфона 21 пружина 24, которая осуществляет силовое замыкание столика 9 с плитой 1 и винтом 15, перемещает столик 9, и жидкость из исполнительной камеры 18 поступает в камеру 20. Давление жидкости в камере 20 и усилие пружины 25 прижимает сильфоп 21 к винту 22. Благодаря тому что площадь поперечного сечения сильфона 21 значительно меньше пло щади мембраны 17, с помощью микрометрического винта 22 обеспечива 1 от весьма точные перемещения стола 9. Аналогичную конструкцию имеет привод столика 11. Перемещения столика 11 осуществляются винтом 2 б, а по ворот вокруг оси 12 - винтом 27. Предмет изобретения Микроманипулятор, содержащий корпус, 15 координатно-поворотный узел, включающийдва жестко связанных между собой и установленных один на другом столика и систему управления, отличаоиийся тем, что, с целью повышения точности перемещений, он содер жит третий столик, установленный над координатно-поворотным узлом и связанный с его осью поворота плоской пружинной пластиной, которая имеет две прорези и закреплена своей средней частью на оси координатно-пово ротного узла, а боковыми сторонами - на рабочем столе. Заказ 519,17 Изд. л 1 о 97 ТирПодписноеЦ 11 ИИПИ Комитета по делана изобретенийи открьггпй при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/б