Установка для присоединения полупроводниковых кристаллов к подложкам микросхем

ОП КСАЛИ Е ЗО 3678ЙЗОБРЕТЕН ИЯ Со 1 ез Соеетокнх Соцкзлнетинескнх Рес 1 ублнкТрт,.КОМ СВИДГТ 1 ДоСЩф алисимое от алт. слпдстс,1 ьстьп .: --31111 лле 11 о 05.1,%9 ЛЬ 1329723/6-25), П; 1;СОСДИ.НПСМ но"ентет по делов изобретений и открытий пни Совете Минно;оов СССР,1 "та 3:ту,1:1 к вторы 1 зобрсте негин, В, Н. Лифлянд, А. А. Голубовский и С, К. Салей Е Заявител ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХИСТАЛЛОВ К ПОДЛОЖКАМ МИКРОСХЕМ УСТА НО трудностложен ияИзвесттранспор 5 многопоздами, об ложен ия ь обеспечсния точностисборочных гнезд.ны также аналогичныетным устройством в видиционного стола со сборчада 1 ощие жесткостьюсборочных гнезд. заим ного установки с е поворотногоочными гнеззаимного поВ качествесталлов принрующие устрориентированНедостаткопортером, нес 1 установок с ленточным транс ущим сборочные гнезда, являетс Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов, а именно к оборудованию для сборки гибридных интегральных микросхем и может быть использовано для автоматического монтажа активных элементов (диодов, транзисторов и др.) с жесткими выводами (контактами) к подложкам гибридных пленочных микросхем. Монтаж можно осуществлять различными способами соединения, например, термокомпрессионной или ультразвуковой сваркой, пайкой и др,Известны многопозиционные автоматические установки для присоединения полупроводнико 11 ых кристаллов к подложкам микросхем, в которых на каждой позиции осуществляется присоединенис одного кристалла за один рабочий цикл.Устройство, перемещающее сборочные гнезда с подложками от одной позиции к другой, вь 1 полняется в виде ленточного транспортера, замкнутого в вертикальной плоскости, или многопозиционного поворотного стола. загрузочных устроиств для криеняют вибробункерные ориентиойства или кассеты-наполнители с ным размещением в них кристалОднако в таких установках подложки, фик- О сированные в сборочных гнездах стола, расположены под углом друг к другу, что усложняст автоматическую подачу кристаллов из кассет-накопителей, в которых они расположены многорядно с определенным шагом между со седними кристаллами и рядами, Это связано стем, что для поштучной подачи кристаллов необходимо за каждый цикл перемещать кассету на шаг, равный шагу расположения кристаллов в них, причем для сохранения взапм ной ориентации кристалла и подложки в каждой позиции этп перемещения различны по направлению и соответствуют различному угловому положению подложек.Обычно шаговое перемещение кассет осуще ствляют в радиальном направлении к поворотному столу и перпендикулярно радиальному направлению.Это требует для каждой кассеты отдельногошагового привода, что усложняет установку и зп уменьшает надежность ее работы.Цслью изооретения являстся Повышенс нядсжпости раооты и уирощсние установки.Зтя цель достигается тсм, что установка содерэкит плиту, охватывающу)о поворотный стол :( псрс)5 СщаОпу)ос 51 в прямоугольных коорди;)ята:;, на которои параллсльно друг другу установлены касссты так, что направление рядов гисзд в них совпадаст с направлением ша- ОВОГО псрсмс 1 цсп 5 плит 11, а Гнсздя каждой КаСС(.ТЫ ИОВСРН ТЬ ОТНОСИТСЛИ 10 НсПРаВЛСНИЯ )(х рядов на угол, соответствуощий углоьому положснию гнезд стола.Такая конструкция устяноики позволяет осуществлять перемсщенис кассет, число которых раино числу сборочных позиций, в д)31 х взаим- .(О псрпендикулярпых напряилспиях, для чсго достато шо одного привода.Различис уГлОВОГОоложсн 5 Под 10 жск В ОРОП 1 ых иозици 51 хОБОРОтнОГО сола ско)5)- )(снсир 013 япо соот 13 с Стимюпи 3 ПО 30 ротом ( псзд В каждой кассстс.Н фиг. 1 изооряжсна ирсдлягясм 1 Я мстаиоикя, ид сверху; на фиг. 2 - разрез по с 1 - А (я фиг. 1; ия фиг. 3 - разрсз ио Б - Б на фиг.2.Установка содсржит поьоротный многопози(иопР 1,)й стол 1, вращающийся в подшипниках ,.округ исподвижнои оси 2. Псриодичсский по(юрот стола осущсстилястся приво;ом э. Б поворотом столс имеются сборо )Р)ые гнезда 4, и когорьх раз)сща)отс 5 и зякрсп 5)Отся в Опрс;с.П 01 Иоложснии подложки 5. Число сбо(очш(х гисзд раио числу позиций стола. Ня ;(сподиижпом Основании 6 расположспы .(сха- ПИЗМЬ ПОШТУ 11)ОЙ ИОДаИ И ИРИСОСДИПСНИ 5) К,) ИГгалс)ОВ Е ПОДЛ)ОЖКЯ, Ка)(ДЫП 3 К 1 ОРЬ(Х (; сдста 3 ляст сооой кс 1 рстк 3 7, псрс) сща)ощу 10- 51 1303 БРс 1 ТНО-ПОТУаТСЛЬНО и Рс 1 ДИЯ 1 Ы 10.,1 Пс)- ПряиЛС 13 И. Нс 3 Крои(ПТСЙПС 8 Кс 1 рСТКИ унрСПЛС- .Ы и ОПОраХ 9 Кас)СПИЯ ДВЕ рабОЧИС ГОЛОГКИ Иинструментами (1, осуцсствляющис захват ) рИСТс 3 ЛЛОВ, ПСрСИОС И.( и рябо)710 30 у И Ирнсосдипсппс к под,)ож)(ям. Псрссщспис карстки осуществлястся от привода 2. Г 1 одложки : агру)кяотся и соорочпыс гиездя из иякошпстя 1 э. Сьс)1 подложск с присос;псиными ериТаллс)1) И ОСМЩССТВЛ 51 С)СЯ ис 1 КОПИТС,1 Ь 1(. Зс(- руЗКу П СГЬС)1 ПОДЛОЖС)( ВЫИОЛН 5)СТ ИС)ЭСМБПя 01 ця 5)С 5 Кяр(ткя 15, пссупяя дия пи ч)сл 51 67,ПОВОэотиый сто 1 Охьс 3 ы(с)сГ 51 под(3)кпо) )литой 18, котОРс 15 лсжит иа ц 1 с 1 Ркоиых ОПО- рях 19. Плита 18 с помощью иружР)пой пла.тины 20 сосдиисия с кареткой 2 )схязма 22 . с) ГОВОГО ПСРСМСЩСИ 5 ПО Р и(УГОЛ ЬИ Ь) М КО)РД П аТс ).На плит устаиоилсиы касссты-накоиитсли, которыс фиксруются итсъ) ирижа)51 .О.ВИЖИЫМИ рЫ)с 1 Га) И 24 1( НСод 3 ИЖНЫ) у 0- рс 1)1 25, ,я)КД 35 К)СССТ( 3 ЬПО;1 НСИс 1 и БИДС ; литы 26, иа раоочсй поисрхности которой иы.Олпсны спецальныс углублсиия - .Псздя 27 для рязмспсиия и и.( кристаллои, располоСИПЫС ПР 5 МЫМИ Р 5)ДЯ)1 С 0 РЛСЛСИНЬ)М 1 с)- (м ) с)кду соссдп э)и Гисзда м и.ЭС Кс)СССТЬ фКСИ р 01)с и Ы П я р с) ЛЛС.) ЬПО О,) я другой так, что няпраьленис чядов гпсзВ иих совпадает с направлением шагового пер.- мещсния плиты 18. Гнезда каждой кясссты повернуты на опрсделенный угол отпоситсльн,э 5 НЯПРс 1 ВЛСР)Я ИХ РЯДОВ, КОТОРЫЙ ЗБВИСИТ ОТ ПО.зиции, занимаемой кассстой. -)тот угол соо гистстиуст угловому положению подложки на поворотном столс.Гсли кристалл присосдиястся к под;Ожкс 10 В положении, когда его боковыс грани парил.л(.льны Ооковым Граня ) Подложки, то Гнсз;я кассст 13 ыиолня 10 тся П 013 срнутыми иа так 01 ГОЛ, (ТООЫ КРИСТалл ЛСЖс 1 ЩИЙ В ГШЗДС, И ПОДЛОЖКс 1 ОЫЛИ ПЯРЯЛ 1 СЛЬНЫ ДРМГ ДРУГМ и 15 каждой позицш), Такое выполненс гнезд икассетах нс всдс к чрезмерному мисличению Х ТнисЖа, ТЯК Ка)( ЧСРСЗ ОПРСДСЛСНИОСОзицЙ ) Гол поворота гнсзд пов)орястся. Так, для 12-позционпого стола необходимо всего 3 20 1 И Г с К с С С С), ОТ,1 И Ч а Ю И И Х С 51ОЛ Ь и О УГЛОМ О ) 0)Отя Гпсзд и нх.1 або пш цикл, и течсиис которого осущестилястся присоедииснис кристаллов к иодлоя(- кам. роисходит слсдующим образом.20 Питатсль 16 1. фиг. 1) захиятыиастзи Я)(оии Гсл 51 18 иодложк и Устс)на илпаст сс и СООрОЧНОС ГПСЗдо 4. Од 30рсСППО ВСС раоос)С голоа)кп своими ииструмситам захватыва)от с помоп 1 ью ия куу) а 3 сооти(.тстиующих ка с- ,)О сст 28 кристаллы, переносят Г( в рабочизоиь)и утяпавливают в необходимые мсстя иодло)кск. Б тсчснис некоторого ирсмеи ироРСхо:ПТ ПРПЯИКс 1 3)ВОДО 3 КРИС 1 аЛЛО 3 К КОНТа КТ- пь(м и,0)цядка Г)од.ожск Ола Одаря п)э)1 снс;35 иио псобходимых технологических режимои) паГрсВ, Да 13 лспис, улыраз Пук и Др.) . Послс этого раоочис голов О) совершаОт обратный ход и исходное Положенс, иитатсль (7 вьш(- мят готовуо подложку из сборочного гнезда )О и исрсносит сс и иакопитсль 4, стол овора )- ЬЗС)С 51 Я ОДНМ ПОЗИЦИЮ, ПОДВИЖНа 5 ПЛИТс (с помощью шагового механизма 22 исрсмся(.(5 Пс ОдИ 1 Пс)Г 0 КоордР(НаТС. ПО ОКОН(с 1.ПИСРСИОСс КРИСТс 1 ЛЛОВ ИЗ ОДНОГО Р 5 Дс ПЛИ- тя 18 псрсмсщястся на шаго коордииатс У далс продол жастся шагоиоссрсмсщенис .ЛЬ 0 1(ООРДНс)ТС Х НО В ДЭУГОМ Нс 11 РЯВЛС- )(1, ) так до иолнОГО Оиорожнсп 5 Кассст.1 (0)ь каждо кяссс Доста 0 Н 1 а д 15 Нс;) О р С р Ы 13 И О И ) с 1 С 03 О й М С Т я И О В К и Т С Ч С (.с С с 1 .Прсдмстзобртсип и)РУЗКИ ЬСМа ПОДЛОЖСК, )СХс)НР 35)Ь ИОШТ(- )Ой подач и ирисосдиисния кристаллов к иод- ОО (Ож ка)1, кя сссты с Гисздами Дл 51 крис (а;лои,Отс 1(Ос(Г)с ТСМ, ТО, С ЦСЛЬЮ ПО)ЬИП(;(51 Пс(ДСЖ ИОСТ Р с 3 ООТ П МИР 01 ЦСНИЯС )с) НО(3 КИ, Опа СОдсржит Охваты Ва 10 щук) ПОВОрОтны Й с О; и исрсмеща)ощуюся и прямоугольных коорди Ис 1 Тс)ХЛПТУ, Ис КОТОРОЙ ОДс Па Р), )Л(, ЬИдругой установлены кассеты так, что направление рядов гнезд в них совпадет с направлени,.м шагового перемещения плиты, а гнезда ка.идой кассс 1 ы повернуты относптелвно на. правления пк рядов па угол, соответствующий угловому поло;испио гнезд стола.гг гб Составитель В, М. Грншнн3. Н. Горбунова Текред Т. П, Курнлко Корректор Т. А. Джаманкуло едакто ранк 47 1 зд,717 Ззказ 387 ЦНИИ 111 итета по делам изобретений и открытий при Совете Министро Москва, Ж.35, Раушская наб д, 4/5 частичная типография Костромского управления по печати одп асио в СССР