Патенты с меткой «1пдиптяо»

Номер патента: 326668

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Глазков, Крюк, Мальто, Точицкий, Федориненко

МПК: H01L 21/00

Метки: 1пдиптяо, g-•at, ylif—, ган, рпрофюзная

...оси не параллельны плоскости перемещения рабочего стола 3. Вертикальная составляющая этих перемещений вызывает деформацию среднеи части пластины 13, при этом не возникает горизонтальных смещений прикрепленного к ней рабочего стола 3. Пластина 13 передает горизонтальные перемещения рабочему столу 3 от столиков 9, 11 и осп 12 и компенсирует непараллельность их перемещений. Рабочий стол 3 передвигается по плоскости плиты 2, благодаря чему пластина б перемещается параллельно нижней плоскости фотошаблопа 7, прп этом сохраняется по326668 Составитель В. ГришинРедактор Т, ОрловскаяТехред 3. Тараненкокторьн Л. Николаева и В,Ко ет аж 448 ипография, пр, Сапунова, 2 стоянный зазор между полупроводниковой пластиной и фотошаблоном.На нижней...