Архив за 1999 год

Страница 34

Безикулярный материал

Номер патента: 1031331

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Авраменко, Бородкина, Григоренко, Нагорный, Починок, Чибисова

МПК: G03C 1/52

Метки: безикулярный, материал

Везикулярный материал, состоящий из подложки и светочувствительного слоя, содержащего сополимер винилиденхлорида, акрилонтрила и метилметакрилата, светочувствительное соединение - 2,4,6-триазидопиримидин, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности к излучению с длиной волны 300 - 385 нм, светочувстсительный слой дополнительно содержит антрацен или флуорен при следующих соотношениях компонентов, мас.%:2,4,6-Триазидопиримидин - 1,9 - 3,9Антрацен или флуорен - 0,6 - 1,8Сополимер винилиденхлорида, акрилонитрила и метилметакрилата - Остальное

Композиция матирующего слоя для диазотипного материала

Номер патента: 1031332

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Артемьева, Исакова, Михалевич, Мхитаров, Ткачева, Фельдман, Цоколаев, Шатрова, Шолохова

МПК: G03C 1/52

Метки: диазотипного, композиция, матирующего, слоя

Композиция матирующего слоя для диазотипного материала, включающая полимерное связующее, наполнитель - каолин, растворители - этилцеллозольв, толуол, этилацетат, отличающаяся тем, что с целью повышения копировальной оптической плотности изображения, улучшения чертежно-графических свойств материала и повышения температуры эксплуатации, она в качестве полимерного связующего содержит сополимер монометакрилового эфира этиленгликоля, стирола, метилметакрилата, бутилметакрилата и бутилакрилата общей формулы I:x: y: z:n:m - 2:2:1:1:1 молекулярный вес - 3000 и дополнительно содержит отвердитель -...

Система газового регулирования энерговыделения топливного канала ядерного реактора

Номер патента: 1753858

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Андреев, Колядин, Потанин

МПК: G21C 7/22

Метки: газового, канала, реактора, топливного, энерговыделения, ядерного

Система газового регулирования энерговыделения топливного канала ядерного реактора, содержащая размещенные в топливном канале твэлы, газовый регулирующий орган, окружающий твэл и соединенный посредством коммуникационной линии с ресиверами высокого и низкого давлений, по меньшей мере два дросселя с запорными устройствами дросселей, включенными в коммуникационную линию, датчик нейтронного потока топливного канала, задатчик линейно изменяющейся мощности, задатчик предела изменения мощности, первый элемент сравнения, входы которого соединены с датчиком нейтронного потока и задатчиком предела изменения мощности, второй элемент сравнения, один из входов которого соединен с выходом задатчика...

Химический сенсибилизатор бромойодосеребряных фотографических эмульсий

Номер патента: 936716

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Груз, Евграфова, Каплун, Сергеева, Шапиро

МПК: G03C 1/08

Метки: бромойодосеребряных, сенсибилизатор, фотографических, химический, эмульсий

Применение ферроцианида калия в качестве химического сенсибилизатора бромоиодосеребряных фотографических эмульсий.

Способ спектральной сенсибилизации монодисперсных аммиачных фотографических эмульсий

Номер патента: 1131343

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Абраменко, Бутузова, Гнидаш, Дмитриев, Жиряков, Кирич, Кирьянова, Киселев, Кротова, Лаптева, Мкртячн, Поспелова, Приклонских, Суворин, Шапиро, Ямполец

МПК: G03C 1/12

Метки: аммиачных, монодисперсных, сенсибилизации, спектральной, фотографических, эмульсий

Способ спектральной сенсибилизации монодисперсных аммиачных фотографических эмульсий путем введения в расплавленную эмульсию 5-метил-7-окси-1,3,4-триазаиндолицина, катион-анионного красителя - соли 1,1I-диэтилхино-2,2I-монометинцианина и 3,3I-ди-/ -сульфопропил/-4,5-бензо-4I, 5I-[5II,6II-диметилтиено/2II, 3II/]-9-этилтиатиазолокарбоцианинбетаина /краситель II/, отличающийся тем, что, с целью повышения общей светочувствительности и дополнительной чувствительности слоев к оранжевой и красной частям спектра и повышения...

Способ синтеза галогенсеребряной эмульсии для изготовления фотоматериалов

Номер патента: 1080637

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Андреев, Лейбзон, Леонова, Пясецкая

МПК: G03C 1/005

Метки: галогенсеребряной, синтеза, фотоматериалов, эмульсии

1. Способ синтеза галогенсеребряной эмульсии для изготовления фотоматериалов путем эмульсификации в два этапа, на первом из которых в водный раствор желатины двухструйным методом вводят водные растворы азотнокислого серебра и галогенсодержащей соли, после чего отбирают часть эмульсии для второго этапа эмульсификации и на втором этапе проводят эмульсификацию двухструйным методом с увеличением размера микрокристаллов и последующим осаждением твердой фазы, диспергированием осадка в водном растворе желатины и химическим созреванием в присутствии тиосульфата натрия, отличающийся тем, что, с целью повышения качества растрового изображения, получаемого на фотоматериалах, на первом этапе...

Композиция для латенсификации скрытого изображения на бромиодсеребряных фотоматериалах

Номер патента: 1080641

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Ашманова, Журба

МПК: G03C 5/32

Метки: бромиодсеребряных, изображения, композиция, латенсификации, скрытого, фотоматериалах

Композиция для латенсификации скрытого изображения на бромиодсеребряных фотоматериалах, включающая серусодержащее соединение и воду, отличающаяся тем, что, с целью повышения чувствительности фотоматериалов и уменьшения коэффициента контрастности получаемого на них изображения, в качестве серусодержащего соединения композиция содержит соединение, выбранное из ряда: тиомочевина, N-ацетилтиомочевина, тиоцианат натрия или калия, или аммония, серноватистокислый калий или натрий, или аммоний при следующем соотношении компонентов, мас.%:Серусодержащее соединение, выбранное из вышеуказанного ряда - 0,001 - 0,3Вода - 99,7 - 99,999

Дубящая композиция для обработки желатиновых слоев галогенсеребряных фотографических материалов

Номер патента: 1080642

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Барханова, Журба, Орлов, Фридман

МПК: G03C 5/315

Метки: галогенсеребряных, дубящая, желатиновых, композиция, слоев, фотографических

Дубящая композиция для обработки желатиновых слоев галогенсеребряных фотографических материалов, включающая дубитель, сульфат натрия и воду, отличающаяся тем, что, с целью повышения прочности, термостойкости и снижения влагоемкости желатиновых слоев, в качестве дубителя она содержит триоксиметилен или 2,3-диоксидиоксан-1,4 или бисульфитное производное глутарового диальдегида и дополнительно содержит m-этилендиаминтетраацетато[бис-(нитрилотриацетато)-цинк] динатрийтетрааммонийную соль, двухводную при следующем соотношении компонентов, мас.%:м-этилендиаминтетраацетато[бис-(нитрилотриацетато)-цинк] динатрийтетрааммонийная соль, двухводная - 1 - 5Триоксиметилен или...

Носитель термопластической записи

Номер патента: 1080717

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Балановская, Воронов, Малахова, Маторина, Недужий, Радугина, Статников

МПК: H04N 5/82

Метки: записи, носитель, термопластической

Носитель термопластической записи, содержащий последовательно расположенные основу, проводящий, фотопроводящий и термопластический слои, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона регистрируемого излучения, между основой и проводящим слоем расположен поглощающий инфракрасное излучение слой, имеющий толщину 0,1 - 0,8 мкм, а фотопроводящий слой выполнен из пироэлектрического материала толщиной 20 - 30 мкм с рабочей температурой не менее чем на 10 - 20oC выше температуры перехода в вязкотекучее состояние термопластического слоя.

Способ очистки полупроводниковых кремниевых пластин

Номер патента: 1190857

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Верходанов, Герасименко, Мясников, Ободников

МПК: H01L 21/268

Метки: кремниевых, пластин, полупроводниковых

Способ очистки полупроводниковых кремниевых пластин путем воздействия на поверхность лазерным излучением, отличающийся тем, что, с целью обеспечения очистки поверхности пластин от механических загрязнений, кремниевые пластины подвергают воздействию лазерного излучения с длиной волны 1,06 0,000365 мкм, удельной мощностью 318 Вт/см2 - 15 кВт/см2 и длительностью воздействия 50 - 200 мс.

Способ обработки водного теплоносителя кипящего канального реактора

Номер патента: 1429815

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Архипов, Ермаков, Кузин, Упырев

МПК: G21C 15/00

Метки: водного, канального, кипящего, реактора, теплоносителя

Способ обработки водного теплоносителя кипящего канального реактора, включающий одновременную дозировку кислорода и водорода в тракт высокого давления, содержащий питательный тракт и реакторный контур, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационной надежности конструкционных материалов активной зоны, на участке высокого давления поддерживают концентрацию кислорода в питательной воде не выше 1,25 10-5 М, а концентрацию кислорода в контурной воде, формируемую дозировкой кислорода в питательную воду, в интервале 3,13 10-7 - 1,56...

Диапазонная щелевая антенна вытекающей волны

Номер патента: 1250129

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Двуреченский, Терешин, Туркин

МПК: H01Q 13/00

Метки: антенна, волны, вытекающей, диапазонная, щелевая

Диапазонная щелевая антенна вытекающей волны, содержащая несимметричную полосковую линию, состоящую из основного полоска, расположенного на высоте h над металлическим экраном и дополнительного полоска, расположенного под основным полоском, параллельно ему, при этом в основном и дополнительном полосках выполнены незамкнутые щели с периодом Т и шириной d, причем незамкнутые щели в дополнительном полоске сдвинуты на Т/2 относительно незамкнутых щелей в основном полоске, отличающаяся тем, что, с целью расширения рабочего диапазона частот, в ней высота h уменьшается к концу диапазонной щелевой антенны вытекающей волны до величины не менее Т/2

Способ очистки жидкости, содержащей железо или алюминий в коллоидном состоянии

Номер патента: 1658573

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Прохоров, Романов, Ситкин, Чабак

МПК: C02F 1/42

Метки: алюминий, железо, жидкости, коллоидном, содержащей, состоянии

Способ очистки жидкости, содержащей железо или алюминий в коллоидном состоянии, включающий коагуляцию коллоидных частиц, последующее удаление скоагулированных частиц на механическом фильтре, отличающийся тем, что, с целью повышения степени очистки и предотвращения дополнительного загрязнения жидкости коагулянтом, коагуляцию коллоидных частиц осуществляют путем пропускания жидкости через сильноосновный анионит в фосфатной или сульфатной форме или предварительно обработанный натриевой солью этилендиаминтетрауксусной кислоты.

Устройство для плакирования порошков

Номер патента: 938480

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Башуров, Егорычев, Ермилов, Кулифеев

МПК: B22F 1/02

Метки: плакирования, порошков

1. Установка для плакирования порошков, включающая реактор кипящего слоя двухзонного типа для разложения карбонилов, нагреватель, термостатирующий кожух и трубопроводы, отличающаяся тем, что, с целью упрощения технологического процесса и предупреждения попадания паров карбонилов в атмосферу, она снабжена аппаратом механохимического синтеза карбонилов, соединенным с реактором, системой регенерации окиси углерода, установленной между реактором и аппаратом синтеза, и устройством перевода карбонилов в газообразное состояние, соединенным трубопроводами с реактором и аппаратом синтеза.2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что устройство перевода карбонилов в газообразное состояние...

Способ получения водорода

Номер патента: 1192274

Опубликовано: 20.06.1999

Автор: Чабак

МПК: C01B 3/02

Метки: водорода

1. Способ получения водорода путем радиационно-химического разложения водных растворов, содержащих полупроводниковые материалы, с последующим отделением целевого продукта, отличающийся тем, что, с целью повышения безопасности процесса при сохранении-выхода водорода, полупроводниковые материалы используют с размером частиц 10 - 1000 в виде коллоидного раствора.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве полупроводниковых материалов применяют окись алюминия, кремний, селен, германий и их смеси.

Способ борного регулирования реактивности ядерного реактора

Номер патента: 884458

Опубликовано: 20.06.1999

Автор: Визгин

МПК: G21C 7/06

Метки: борного, реактивности, реактора, ядерного

Способ борного регулирования реактивности ядерного реактора, заключающийся в том, что соединение бора вводят в теплоноситель и выводят из него, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности регулирования за счет упрощения водно-химического режима, в качестве соединения бора используют ферромагнитный борид марганца - MnB, а ввод и вывод его из теплоносителя осуществляют путем изменения внешнего магнитного поля.

Магнитокумулятивный генератор

Номер патента: 884541

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Золотов, Кравченко, Людаев, Шувалов

МПК: H02N 11/00

Метки: генератор, магнитокумулятивный

Магнитокумулятивный генератор, содержащий цилиндрическую многосекционную спираль, внутри которой расположена металлическая труба с цилиндрическим зарядом взрывчатого вещества (ВВ), отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности генератора путем укорочения времени нарастания тока в нагрузке, в металлической трубе под началом последней секции спирали выполнен кольцевой разрез, разделяющий трубу на две изолированные друг от друга части, причем последняя секция спирали своим началом подсоединена к концу первой части трубы, а конец предпоследней секции спирали соединен с концом последней секции через нелинейный элемент.

Способ изготовления бромйодсеребряной фотографической эмульсии

Номер патента: 1194175

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Блехман, Гнидаш, Рыбачева, Шпольский

МПК: G03C 1/005

Метки: бромйодсеребряной, фотографической, эмульсии

Способ изготовления бромйодсеребряной фотографической эмульсии с размером микрокристаллов 1 - 2 мкм путем проведения дробной одноструйной эмульсификации мгновенным введением в водный раствор, содержащий бромистый аммоний и/или бромистый калий, йодистый калий и желатин, первого водного раствора полностью аммированного азотнокислого серебра, перемешивания и введения второго водного раствора полностью аммированного азотнокислого серебра и последующих стадий физического созревания, осаждения твердой фазы, промывки осадка, сплавления его с желатином и химического созревания, отличающийся тем, что, с целью увеличения коэффициента контрастности и снижения наноса серебра, в растворы полностью...

Способ получения изображений

Номер патента: 1135324

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Гордина, Кампар, Мхитаров, Нейланд, Прикуле

МПК: G03C 1/52

Метки: изображений

Способ получения изображений путем нанесения на пленочную подложку композиции регистрирующего слоя, включающей полимерное связующее поливинилпирролидон, активный компонент, азосоставляющую -оксиэтиламид резорциловой кислоты или 2-нафтол-3,6-дисульфокислоту, восстановитель полиэтиленгликоль с мол. м. 300 - 400, хлористый литий, катализатор ферриоксалат калия, стабилизатор - щавелевую кислоту и/или соляную кислоту, этанол и воду, сушки, экспонирования полученного материала и проявления в парах аммиака, отличающийся тем, что, с целью повышения срока хранения материала с момента приготовления до момента экспонирования, в качестве...

Способ неразрушающего определения параметров защемления циркониевой трубы технологического канала в графитовой кладке реактора

Номер патента: 1552892

Опубликовано: 20.06.1999

Автор: Иванов

МПК: G21C 17/00

Метки: графитовой, защемления, канала, кладке, неразрушающего, параметров, реактора, технологического, трубы, циркониевой

Способ неразрушающего определения параметров защемления циркониевой трубки технологического канала в графитовой кладке реактора, заключающийся в оценке усилия защемления и координаты места защемления циркониевой части технологического канала в графитовой кладке, отличающийся тем, что, с целью уменьшения недоработки ресурса эксплуатации технологического канала путем обеспечения неразрушающего контроля величины защемления циркониевого участка технологического канала в графитовой кладке, производят снятие дилатометрической кривой перемещения низа технологического канала при его нагреве относительно выбранного реперного уровня и по характеру этой кривой по сравнению с расчетным вкладом в общее...

Способ получения инжекционных слоев

Номер патента: 1195814

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Володина, Миронос, Смирнов, Субботин

МПК: G03G 5/08

Метки: инжекционных, слоев

Способ получения инжекционных слоев путем термического испарения в вакууме фотопроводника на нагретую подложку с использованием облучения мощностью 104 - 106 Вт при скорости конденсации пара 103 - 108 нм/с, отличающийся тем, что, с целью повышения термостабильности, темнового электрического сопротивления, чувствительности к видимой области спектра и светопропускания слоев, фотопроводник испаряют на подложку, нагретую до 25 - 80oC при длительности импульса облучения 10-8 - 10-6 с.

Способ изготовления миры

Номер патента: 991844

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Блехман, Васильев, Ефимов, Шпольский, Ястребова

МПК: G03C 5/00

Метки: миры

Способ изготовления миры, заключающийся в том, что на пластину из материала, имеющего свойство анизотропного травления с окисным покрытием, наносят слой фоторезиста, экспонируют фотошаблон с изображением отверстий совмещения и протравливают их в фоторезисте, отличающийся тем, что, с целью получения высокоразрешающих мир, на одну сторону пластины наносят и сушат защитный лак, протравливают сквозные отверстия совмещения в пластине, удаляют лак, на другую сторону пластины наносят фоторезист и проводят процесс фотолитографии с получением изображения площади миры, наносят защитный лак на первую сторону пластины, протравливают площадь миры до остаточной толщины пластины 1,5 - 5 мкм, удаляют лак,...

Система управления плотностью нейтронного потока ядерного реактора

Номер патента: 1136651

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Андреев, Сивоконь

МПК: G21C 7/22

Метки: нейтронного, плотностью, потока, реактора, ядерного

Система управления плотностью нейтронного потока ядерного реактора, содержащая газовый регулирующий орган, ресивер с высоким и ресивер с низким давлением газа-поглотителя нейтронов, между которыми включен насос-компрессор, коммуникационную линию с дросселем, через которую газовый регулирующий орган связан с ресиверами, электроклапаны, включенные между ресиверами низкого и высокого давления и коммуникационной линией, блоки управления электроклапанами, на которые поступают входные сигналы, пропорциональные плотности нейтронного потока, причем в коммуникационную линию параллельно включены два дросселя с различными газодинамическими сопротивлениями и два электроклапана, вход блока управления...

Система регулирования мощности петлевого канала ядерного реактора

Номер патента: 1609337

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Андреев, Косилов, Потанин

МПК: G21C 7/22

Метки: канала, мощности, петлевого, реактора, ядерного

1. Система регулирования мощности петлевого канала ядерного реактора, содержащая петлевой канал, размещенный в нем газовый орган регулирования, соединенный посредством газового контура с регулятором давления, датчик нейтронного потока петлевого канала, задатчик линейно изменяющейся мощности, задатчик пределов изменения мощности, первый элемент сравнения, к входам которого подключены задатчик линейно изменяющейся мощности и датчик нейтронного потока, а выход которого соединен с регулирующим входом регулятора давления, второй элемент сравнения, к входам которого подключены задатчик пределов изменения мощности и датчик нейтронного потока, а выход которого подключен к блокирующим входам...

Способ получения изображения на полимерной подложке, преимущественно на полиметилметакрилате

Номер патента: 738456

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Куликов, Немтинов, Пашков

МПК: G03F 7/04

Метки: изображения, подложке, полимерной, полиметилметакрилате, преимущественно

Способ получения изображения на полимерной подложке, преимущественно на полиметилметакрилате, включающий нанесение на поверхность подложки светочувствительного материала, формирование защитной маски, окрашивание пробельных участков поверхности подложки в растворе органического красителя, удаление защитной маски, отличающийся тем, что, с целью повышения качества изображения, перед нанесением светочувствительного материала на поверхность подложки последовательно наносят слой токопроводящей эмали и гальванический слой меди, а после формирования защитной маски проводят избирательное удаление нанесенных слоев.

Устройство для формирования плазменной токовой оболочки

Номер патента: 1664105

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Базанов, Бланкин, Васюков, Игнатенко, Погорелов, Чернышев

МПК: G21B 1/00, H05H 1/06

Метки: оболочки, плазменной, токовой, формирования

1. Устройство для формирования плазменной токовой оболочки, содержащее коаксиальные электроды с торцовыми опорными поверхностями, внешний из которых образует герметичную рабочую камеру, цилиндрический изолятор, установленный между торцовыми опорными поверхностями внутреннего и внешнего электродов, импульсный источник тока, подключенный к электродам, систему откачки создания рабочей газовой среды в рабочей камере, отличающееся тем, что, с целью увеличения удельного энерговклада в плазменную токовую оболочку, между электродами с внешней стороны цилиндрического изолятора размещен разрушаемый проводник, на внешней поверхности которого расположены токопроводящие кольцевые накладки с различными...

Способ получения электропроводного алмаза

Номер патента: 1137788

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Банеева, Гордеев, Николаенко, Самсонов, Шаталин

МПК: C30B 29/04, C30B 31/20

Метки: алмаза, электропроводного

Способ получения электропроводного алмаза, включающий облучение его нейтронами и последующий отжиг, отличающийся тем, что, с целью получения заданного электросопротивления в диапазоне 1011 - 10-1Ом см независимо от природы исходного алмаза, облучение ведут флюенсом нейтронов 3 1019 - 1,5 1021 нейтрон/см2 с энергией более 0,5 МэВ при температуре 70 - 500oC, а отжиг при давлении 10-1 - 1010 Па и температуре 300...

Система управления плотностью нейтронного потока ядерного реактора

Номер патента: 1436739

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Андреев, Колядин, Косилов, Потанин

МПК: G21C 7/22

Метки: нейтронного, плотностью, потока, реактора, ядерного

Система управления плотностью нейтронного потока ядерного реактора, содержащая газовый регулирующий орган, коммуникационную линию с включенными в нее параллельно по меньшей мере двумя дросселями с различными газодинамическими сопротивлениями и электроклапанами управления дросселями, в которой подключен газовый регулирующий орган, ресиверы высокого и низкого давления газа-поглотителя нейтронов, между которыми включен нагнетатель давления, связанные через электроклапаны с коммуникационной линией первый элемент сравнения, входы которого подключены к задатчику и датчику нейтронного потока, а выход - к входу первого релейного преобразователя, второй элемент сравнения, входы которого подключены к...

Способ плакирования карбонилообразующими металлами порошкообразных материалов

Номер патента: 1378162

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Егорычев, Ермилов, Рупасов, Рыжов, Сафонов

МПК: B22F 1/02

Метки: карбонилообразующими, металлами, плакирования, порошкообразных

Способ плакирования карбонилообразующими металлами порошкообразных материалов, включающий механическую обработку плакируемой поверхности и плакирующего материала в виде металлического порошка или пудры мелющими телами в виброкипящем слое, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей за счет увеличения диапазона плакируемых материалов и обеспечения плакирования легкоплавких материалов, обработку проводят в атмосфере монооксида углерода, причем плакируемый материал берут с размером частиц, превышающим размер частиц плакирующего материала более чем в 10 раз, а мелющие тела берут с размером, в 1,5 - 4 раза превышающим размеры плакируемого материала.

Устройство для плазмохимического синтеза диэлектрических слоев

Номер патента: 1378767

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Мараховка, Парм, Ронжин, Соловьев

МПК: H05H 1/00

Метки: диэлектрических, плазмохимического, синтеза, слоев

Устройство для плазмохимического синтеза диэлектрических слоев, содержащее цилиндрическую камеру синтеза диэлектриков с дном, выполненным в виде подложкодержателя с нагревательным элементом, с отверстиями для откачки камеры и напуска газов, и камеру активации с ВЧ-электродом, отличающееся тем, что, с целью повышения качества диэлектрических слоев на полупроводниковых подложках путем сжатия потока реакционной смеси к центру реактора и снижения радиационного влияния плазмы на образцы, камера активации выполнена в виде тора, охватывающего камеру синтеза газа, в боковых стенках которой выполнены отверстия для напуска газов, а ВЧ-электрод имеет форму кольца и расположен в центре камеры активации...