Устройство для сборки гибридных интегральных микроузлов

Союз Советских Социалистических РеспубликОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ,/Ф; с присоединением заявим Мо(23) Приоритет Н 0121/00 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(72) Авторы изобретения Ленинградский институт авиационного прибоРстстроения.,(71) Заявитель(54) УСТРОИСТВО ДЛЯ СБОРКИ ГИБРИДНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОУЗЛОВИзобретение относится к устройствам для изготовления и налаживаниягибридных интегральных функциональных микроуэлов и может быть использовано при изготовлении радиоэлект 5роннои аппаратуры,Известно устроиство для сборкигибридных интегральных микроуэлов,содержащее установленный между механизмом загрузки и координатным столоми механически соединенный с ними механизм временного соединения, блоксортировки, первый вход которого механически соединен с координатнымстолом, второй вход механически соединен с выходом исполнительного механизма, а выход механически соединен с механизмом сборки, выход которого механически соединен с бункеромготовых изделий, генератор синусоиддльных колебаний, выход которогосоединен с электрическим входом координатного стола, выход которого соединен о входом блока измерения, блокуправления, выход которого соединен 25с входом исполнительного механизма,схему сравнения и первую ключевуюсхему 11,Недостатком известного устройстваявляется возникновение некоторого ко- ЗО личества незавершенного производства, вызванчого принципом действия устроиства, а именно при сортировке деталеи, последующая сборка которых обеспечит требуемую точность выходного параметра блока, не оцениваются другие возможные варианты сортировки деталей, которые также обеспечивают требуемую точность выходного параметра блока.Цель изобретения - расширение функциональных возможностей устройства.Это достигается тем, что устроиство для сборки гибридных интегральных микроузлов, содержащее установленный между механизмом загрузки и координатным столом и механически соединенный с ними механизМ временного соединения, блок сортировки, первый вход которого механически соединен с координатным столом, второй вход механически соединен с выходом исполнительного механизма, а выход механически соединен с механизмом сборки, выход которого механически соединен с бункером готовых изделий, генератор синусоидальных колебаний, выход которого соединен с электрическим входом координатного стола, электри 879680ческий выход которого соединен с входом блока измерения, блок управлениявыход которого соединен с входом исполнительного механизма, схему сравнения и первую ключевую схему, внего введены индикатор, счетчик, последовательно соединенный первыйстатанализатор, блок сравнения гистограмм и детектор, последовательносоединенный синхронизатор, схема Ии вторая ключевая схема, второй входкоторой соединен с выходом счетчика,последовательно соединенный второйстатанализатор и блок задержки, выходкоторого соединен со вторым входомблока сравнения гистограмм, блок памяти, два входа которого соединены 1 зс выходами соответственно первой ивторой ключевых схем, а три выходасоединены соответственно с первымвходом схемы сравнения, с входоминдикатора и с первым входом блокауправления, причем второй выход синхронизатора соединен с входом генератора синусоидальных колебаний,третинвыход синхронизатора соединен со вторым входом блока задержки и входомсчетчика, выход детектора. соединен свторыми входами первой ключевой схемыи схемы сравнения, два выхода которой соединены соответственно с вторым входом схемы И и входом синхрони затора, а три выхода блока измерениясоединенысоответственно с вторымвходом блока управления и входамипервого и второго статанализаторов.На фиг. 1 изображена блок-схемапредлагаемого устройства, на фиг,2диаграммы работы устройства,Устройство содержит установленные последовательно к соединенные механически механизм 1 загрузки, предназначенный для ориентации и подачи4 Онавесных элементов и подложек, механизм 2 временного соединения, предназначенный для временного соединения навесных элементов с эталоннойподложкой и подложек с эталонным 45навесным элементом, координатныйстол 3, на котором происходит временное соединение подложек и навесныхэлементов, блок 4 сортировки,предназначенный для сортировки всех подложек ои навесных элементов на группы повеличине вносимого ими фазового сдвкга, механизм 5 сборки, предназначенный для механической сборки функциональных узлов радиоэлектронной аппаратуры, бункер 6 готовых изделий, атакже блок 7 измерения, предназначенный для измерения амплитудно-частотной характеристик ( АЧХ 1 и определения фазового сдвига контролируемогоузла, статанализаторы 8 и 9,предназ 60наченные для определения законов распределения фазового сдвига соответственно от навесных элементов и отподложек, блок 10 задержки, предназначенный для инвертирования и задерже ж ки закона распределения с второгостатаналкзатора 9, блок 11 сравнениягистограмм, предназначенный для сраЬн ния двух законов распределения,детектор 12, детектирующкй поступающие на его вход сигналы, ключевыесхемы 13 и 14,используемые в качестве ключей, блок 15 памяти, предназначенный для хранения информации овеличине минимального сигнала и величине задержки, индикатор 16, на котором можно наблюдать величину мини-.мального сигнала к соответствующуюей задержку, схему 17 сравнения, предназначенную для сравнения сигналов сдетектора 12 к с блока 14, схемуИ 18, предназначенную для управления ключевыми схемами 13 к 14,синхронизатор 19, синхронизирующий работувсего устройства и управляющкй блоком 10, счетчик 20, предназначенныйдля учета величины задержки, генератор 21 синусоидальных колебаний, предназначенный для подачи на вход контролируемого микроузла стимулкрующегосигнала, блок 22 управления, через исполнительный механизм 23 управляющийблоком 4, причем первый и второй входы схемы И соединены соответственнос первыми выходамк синхронизатора 19к схемы 17, а выход - с первыми входамл схем 13 к 14, выходы которыхсоединены соответственно с первым ивторым входами блока 15, первый выход которого соединен с первым входом схемы 17, второй - с кндккатофЬмб, третий - с первым входом блока22, второи вход которого соединен спервым выходом блока 7, второй и третин выходы которого аоедкнены соответственно с первым и вторым статаналиэаторамк 8 к 9, выход первого статанализатора 8 соединен с первым входом блока 11, а выход второго - свторым входом блока 10, выход которого соединен с вторым входом блока11 выход которого соединен с входомдетектора " 2, выход которого соединенодновременно с вторым входом первойключевой схемы 13 и с вторым входомсхемы 17,второй выход которой соединен с входом синхронизатора 19, второй выход которого соединен с входомгенератора 21 колебаний, а третийс первым входом блока 10 задержки исчетчиком 20, выход которого соединен с вторым входом второй ключевойсхемы 14, выход генератора 21 соединен с электрическим входом координатного стола 3, электрический выходкоторого соединен с входом блока 7.Работа предлагаемого устройствазаключается в следующем,На координатный стол 3 устанавливается эталонная подложка, параметры напыленных элементов которой доведены до расчетных значений, иэ механизма 1 механизм 2 присоединяет кэталонной подложке поочередно всенавесные элементы, образовывая каждый раз функциональный микроузел. Синхронизатор 19 запускает генератор 21, который вырабатывает стимулирующий сигнал и подает его на вход каждого микроузла. С выхода микроузла сигнал поступает на блок 7, где5 определяется фазовый сдвиг, вносимый навесным элементом вместе с эталонной подложкой. Информация о вносимых навесными элементами фазовых сдвигах поступает на вход первого статанализатора, где обрабатывается, и на вход блока 22. Сигнал с блока 22 поступает на исполнительный механизм 23,который открывает в блоке 4 соответствующие ячейки, куда и попадают навесные элементы, поступающие в блок 4 с координатного стола 3, в зависимости от величины вносимого фазового сдвига. Число ячеек соответствует количеству групп сортировки, Количест во групп сортировки и их ширину устанавливает механизм 23 в зависимости от требуемой точности. На координатный стол 3 устанавливается эталоннный навесной элемент, параметры которого д 5 соответствуют. расчетным значениям, К эталонному навесному элементу механизма 2 также поочередно присоединяет из механизма 1 загрузки все подложки с напыленными элементами, обра- ЗО зуя вновь каждый раз функциональный микроузел. Работа устройства повторяется,. с той лишь разницей, что информация о вносимых подложками фазовых сдвигах поступает на статанализатор 9. Подложки также сортируются на группы, в зависимости от величины вносимого фазового сдвига. Количество групп сортировки и их ширина соответствует количеству групп и ширине при сортировке навесных элементов,С 40 выходов статанализаторов 8 и 9 законы распределения фазовых и сдвигов поступают в блок 11, где вычитаются друг из друга, причем закон распределения с второго статанализатора 9 поступает на блок 11 через блок 10, который инвертирует закон распределения фазовых сдвигов и задерживает на требуемое время. Управляет блоком 10 синхронизатор 19. Одновременно сигнал 50 управления с синхронизатора 19 посту- пает на вход счетчика 20. В начальный момент времени задержка равна нулю. С блока 11 сигнад поступает через детектор 12 на схему 17.Сюда же приходит сигнал с блока 15, величина которого в первый момент всегда больше величины сигнала с детектора 12.В этом случае сигнал оо схемы 17 сравнения поступает на схему И 18, которая соединена также с синхрони затором 19. Схема И 18 открывает ключевые схемы 13 и 14, Через них в блок 15 поступает с детектора 12 сигнал, пропорциональный величине раз,ности законов распределения, а со 65 счетчика 20 сигнал, пропорциональный длительности задержки. Со схемы 17 сигнал поступает на синхронизатор 19, который в свою очередь через блок 10 выставляет первую задержку Ьс. Теперь на блок 11 с . второго статанализатора 9 гистограмма будет приходить инвертированная и с временной задержкой Ь с . Если при этом сигнал с детектора 12, пропорциональный разности законов распределения, окажется меньше, чем сигнал, хранящийся в блоке 15, то схема И 18 вновь откроет схемы .13 и 14 и блок 15 заполнит величинуи задержку этого сигнала, Если же сигнал с детектора 12 окажется больше сигнала, хранящегося в блоке 15, то на схему И 18 сигнал со схемы 17 не поступает, а поступает:только на синхронизатор 19, которыи вновь через блок 10 устанавливает следующую временную задержкус,2.фВ конце концов в блоке 15 останется информация о длительности задержки а с , при которой разностный сигнал двух законов распределения был минимальный. Величину сигнала и длительность задержки Ь, можно наблюдать визуально по индикатору 16. Сигнал, пропорциональный д с п, поступает из блока 15 через блок 22 в механизм 23, который смещает в блоке 4 ячейки с соответствующими группами рассортированных подложек на величину, пропорциональную а с ,Теперь в механизм 5 будут поступать комплекты, состоящие из подложки и навесного элемента, которые при сборке будут образовывать функциональные микроузлы, вносящие одинаковые фазовые сдвиги. Механизм 5 обеспечивает окончательное соединение подложек с навесными элементами, после чего готовые микроузлы поступают в бункер 6. За счет определения оптимального соотношения между группами рассортированных подложек и навесных элементов при заданной точности на выходной параметр удается уменьшить незавершенное производство гибридных интегральных микроузлов.Таким образом, устройство позволяет собирать и контролировать гибридные интегральные микроузлы с требуемой точностью, обеспечивая при этом минимум незавершенного производства, что значительно уменьшает производственные затраты и тем самым дает положительный технико-экономический эффект. формула изобретенияУстройство для сборки гибридных интегральных микроузлов, содержащее установленный между механизмом загрузки и координатным стоЛом и механически соединенный с ними механизмвременного соединения, блок сортировки первый вход которого механически соединен с координатным столом,второй вход механиЧески соединен свыходом исполнительного механизма,авыход механически соединен с механизмом сборки, выход которого меха-,нически соединен с бункером готовыхиэделий, генератор синусоидальных колебаний, выход которого соединен сэлектрическим входом координатногостола, электрический выход которогосоединен с входом блока измерения,блок управления, выход которого соединен с входом исполнительного механизма, схему сравнения и первую ключевую схему, о т л и ч а ю щ е е с я 15тем, что, с целью расширения функциональных воэможностей, в него введеныиндикатор, счетчик, последовательно,соединенные первый статаналиэатор,блок сравнения гистограмм и детектор, 29последовательно соединенные синхронизатор, схема И и вторая ключевая схема, второй вход которой соединен свыходом счетчика, последовательносоединенные второй статаналиэатор иблок задержки, выход которого соединен с вторым входом блока сравнениягистограмм блок памяти, два входакоторого соединены с выходами соответственно первой и второй ключевыхсхем, а три выхода - соединены соответственно с первым входом схемысравнения, с входом индикатора и спервым входом блока управления, причем второй выход синхронизатора соединен с входом генератора синусоидальных колебании, третий выход синхронизатора соединен с вторым входомблока задержки и входом счетчика,выход детектора соединен с вторымивходами первой ключевой схемы и схемы сравнения, два выхода Которой соединены соответственно с вторым входом схемы и и входом синхронизатора,а три выхода блока измерения соединены соответственно с вторым входомблока управления и входами первого ивторого статаналиэаторов,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССРпо заявке Р 2777961,кл, Н 0121/00,1979.е акаэ 4/ илиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 2/24 Тираж ВНИИПИ Государствпо делам изобре 113035, Москва, Ж 78 ен те о и Ра