Лытко

Номер патента: 1542342

Опубликовано: 27.05.2012

Авторы: Батраков, Герасимчик, Зеленин, Лытко, Попов, Сенько, Шевчук, Ясников

МПК: H01L 21/76

Метки: изоляции, интегральных, кмдп, межкомпонентной, схем

Способ изготовления межкомпонентной изоляции КМДП интегральных схем, включающий формирование на кремниевой подложке с областями карманов нитридной маски, формирование n+ и p+ охранных областей, их локальное окисление, отжиг структур в инертной атмосфере и удаление нитридной маски, отличающийся тем, что, с целью повышения напряжения пробоя, снижения токов утечки изоляции и повышения воспроизводимости указанных параметров за счет снижения дефектности подложки в охранных областях и снижения уровня механических напряжений в подложке, p+ охранные области формируют до формирования нитридной маски, а после удаления нитридной маски структуры дополнительно...

Номер патента: 924776

Опубликовано: 30.04.1982

Авторы: Гордеев, Канищев, Куксо, Лытко, Румак, Туманов, Черных

МПК: H01L 21/00

Метки: кремния, монокристаллического, основе, полупроводниковых, преимущественно, приборов

...мин, отмывают в проточнойдеионизованной воде, обрабатываютгидромеханическим способом с помощьюмягких беличьих флейц и сушат нацентрифуге, Отмытые пластины кремнияпомещают в кассету-лодочку и загружают в зону кварцевой трубы с температурой процесса первого окисления,равной (1000 С 11 ), При данной температуре пластины кремния выдерживаютв потоке пара в течение 10 мин. Предварительно 303-ный раствор солянойкислоты заливают в парогенератор, который нагревают с помощью ИК нагреваи доводят данный раствор до температуры 40 С. Образующийся при этом парзахватывают инертным газом (путемпродувки через парогенератор, инертным газом служит аргон) и поступаетв зону реакции кварцевой трубы с находящимися в ней кремниевыми пластинами. За это время...

Номер патента: 537273

Опубликовано: 30.11.1976

Авторы: Коваленко, Кривицкий, Кулиш, Лытко

МПК: G01L 9/08

Метки: давления, датчик, пьезоэлектрический

...в корпусе ч пьезоэлектрический элемент, одним из концов акустическо постоянным сечением и акусти соедио вол- еским Изобретение относится к обласпи контрольно-измерительной техники, в частности к пьезоэлектрическим датчикам давления.Известны пьезоэлектрические датчики давления, содержащие размещенный в корпусе пьезоэлектрический элемент и акустический волновод, снабженный выполненным за одно целое с ним расширителем с развитой рассвивающей поверхностью 11. Такие датчики сложны в изготовлении.Известны также пьезоэлектрические датчики давления, содержащие размещенный в корпусе чувствительный пьезоэлектрический элемент, соединенный с одним из концов акустичеокого 1 волновода с постоянным сечением и акустическим сопротивлением по...