Миттенберг

Номер патента: 1767582

Опубликовано: 07.10.1992

Авторы: Миттенберг, Пашкова, Прохоров, Шаталов

МПК: H01L 21/66

Метки: кремниевых, слоя, структур, толщины, эпитаксиального

...превышающую значение В//1 да, где а - угол разориентации пластины; ЧЧ - толщина эпитаксиального слоя, определенная по максимальной скорости роста, проводят анизотропное травление через полученную маску до появления на профиле травления плоской части параллельной поверхности эпитаксиального слоя, удаляют маску, а затем по высоте ступени между поверхностью эпитаксиального слоя и плоской частью профиля травления определяют толщину эпитаксиального слоя.В некоторых случаях целесообразно вскрывать окно в виде полос, перпендикулярных базовому срезу структуры, причем ширина полос должна превышать значение Ю/тда. Способ основан на том, что эпитаксиальные слои выращиваются на подложках,имеющих отклонение от плоскости (111) на4 или 8 по...

Номер патента: 1014071

Опубликовано: 23.04.1983

Авторы: Иванов, Миттенберг, Стерликов, Янсон

МПК: H01L 21/00

Метки: кассета, пластин, травления

...ряда точечных фиксаторов в виде стбркней,она снабжена дополнительными основаниями и крышкой в виде диска, при этомосновное и дополнительные основания икрышка установлены друг под другом наодинаковом расстоянии и соединены междусобой стержнями точечных фиксаторов,Эпричем стержни одного из рядов выполиены съемными-и установлены попарноотносительно двух стержней другого ряда с возможностью образования гнездадля пластины,Кроме гого, съемные штыри точечныхфиксаторов соединены межпу собой попарно перемычкой, размещенной над крышкой.На фиг. 1 показана часть кассеты,вид сбоку; на фиг. 2 - то же, вид сверху.Кассета состоит из жестко соединенных между собой дисков 1. выполненныхиз винипласта 6 230 + 30 мм с отвер-стием в центре 6 110 + 30 мм....