Патенты с меткой «микролитографии»

Номер патента: 911653

Опубликовано: 07.03.1982

Автор: Устинов

МПК: H01L 21/00

Метки: микролитографии, разрешающей, способности, структура, тестовая

...проводимости, проводники 3 первого слоя - диффузионные области и"типа проводимости, проводники 4 второго слоя из поликристалического кремния, межслойные контакты 5 .проводников второго слоя к проводникам первого слоя ВК, ЙК, ВК ВкЪ, области,тонкого окисла 6, отверстия 7 для снятия с поверхности тонкого окисла в 25. зоне, общая диффузионная область 8 +и-типа проводимости - область истоков МДП-транзисторов, подзатворные: области 9 " рабочие каналы МДП-транзисторов.На поверхности слоя окисла 1 (фиг.1) кремниевой пластины 2 р-типа проводимосги выполнена тестовая структура, содержащая проводники 3 первого слоя в виде диффузионных областей З 5 д "типа проводимости, проводники 4 второго слоя из поликристаллического кремния, образующие при...

Номер патента: 1046804

Опубликовано: 07.10.1983

Авторы: Гурьянов, Пустовалов, Реформатский, Стемпковский

МПК: H01L 21/66

Метки: микролитографии, совмещения, точности

...слоях,получаются нечеткими. Цель изобретения - повышение точности контроля. На чертеже показан рельеф, получаемый в результате микрогравировки,В результате последовательной пропечатки рисунков топологических слоев на одну и ту же прозрачную пленку 1, расположенную на подложке 2, элемен" ты этих рисунков представляют собой углубления, вписанные друг в друга, и образуют ступенчатый рельеф 3 с четкими очертаниями каждой ступени,Затем подложку наблюдают под микроскопом в отраженном свете. При этом ступенй рельефа оказываются поразному окрашенными за счет интерференции лучей 1 и 5 света, отраженных от нижней и верхней поверхностей прозрачной пленки соответственно, что обеспечивает хорошую контрастность изображения. Далее проводят измерение...

Номер патента: 1233091

Опубликовано: 23.05.1986

Авторы: Аникиев, Горский, Керимов, Сычев, Тер-Маркарян, Устинов, Фаловский

МПК: G03B 27/50, G03F 7/20

Метки: микролитографии, проекционного, экспонирования

...фиг. 1 изображено устройство,общий вид; на фиг. 2 - сечение полойтрубки устройства.Устройство содержит источник 1света ультрафиолетового диапазона,оригинал 2, расположенный между источником 1 света и устройством изменения масштаба изображения оригинала 2, которое выполнено в виде конусов 3 со стенками из материала, обладающего фотоэлектронной и вторичной электронной эмиссией. На торцовые поверхности конусов 3 нанесеныпроводящие электроды 4 и 5, связанные с источником б напряжения. Пучексужающихся конусов 3 расположен между оригиналом 2 и экспонируемой поверхностью 7 с нанесенной на нееэлектропроводящей пленкой 8, причемширокие торцовые поверхности набораконусов 3 обращены к оригиналу 2,а узкие - к экспонируемой поверхности 7....