Кассета-спутник

Союз СоввтсиикСоциапистичвсиикРвспубпии ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ щ 963120(51)М. Кл. Н 01 1. 21/00Н 01 1. 21/68 воударетвеиык комитат 666 р ио дмаи иаабратаиий и открытийОпубликовано 30. 09. 82. Бюллетень М 36 Дата опубликования описания 30 . 09 .82(5 Й) КАССЕТА-СПУТНИ ссеты явягивания 1Изобретение относится к микроэлектронике и может быть примененодля закрепления, растягивания и фиксации в растянутом состоянии эластичного носителя полупроводниковойпластины, разделенной на отдельныекристаллы на операциях визуальногоконтроля, разбраковке и посадке кристаллов в корпус.Известна кассета-спутник для закрепления и растягивания эластичнойпленки, с разделенной на кристаллы полупроводниковой пластиной, содержащаоснование с цилиндрическим выступом,эластичную пленку, подвижное кольцодля растягивания носителя, зажимнуюкрышку и фиксаторы.При работе с эластичными пленкамиразличной упругости и неоднородноститолщины возникает необходимость значительно растянуть и надежно зафиксировать ее 1 1,Недостатком известной каляется неравномерность раст 2эластичной пленки при различных ее ,толщинах в различных сечениях.Наиболее близкой к предлагаемой является кассета-спутник для разделенной на кристаллы полупроводниковой пластины, содержащая основание с цилиндрическим выступом, на котором размещена эластичная пленка, зажимные кольца для нее, фиксаторы 12 1.Недостатком известной кассеты- спутника является невозможность.изменения величины растяжения пленки во время работы, так как эта величина постоянна и зависи от профиля и раз" меров выступа дополнительного кольца, Пленка может быть растянута только на одну определенную величину и в таком положении зафиксирована, Однако величина растяжения пленки должна регулироваться в зависимости от вели" гоч чины кристаллов, полупроводниковои пластины, а также в зависимости от количества снятых в процессе работы с пленки кристаллов и от типа, тол3 96312 щины пленки, при этом в любом растянутом положении пленка должна надежно Фиксироваться,Другим недостатком является низкая производительность и неудобство работы с кассетой-носителем.при ее сборке и разборке, при пользовании фиксаторами, выполненными в виде заЦелок. В связи с большими усилиями при сборке и разработке требуется дополнительное специальное технологицеское приспособление.Цель изобретения - улучшение эксплуатационных возможностей за счет регулирования натяжения эластичной пленки.Указанная цель достигается тем,что кассета-спутник, преимущественно для разделенной на кристаллы полупроводниковой пластины, содержащая основание с цилиндрицеским выступом,20 на котором размещены эластичная пленка и зажимные кольца для нее, и Фиксаторы, она снабжена механизмом растяжения эластичной пленки, содержащемуустановленные на цилиндрическом выступе основания втулку и обойму, прурицескому выступу 2 основания 1, Фик-саторы 7, втулку 8, нижняя цастькоторой несет обойму 9, а верхняязажимные кольца 5 и 6 и Фиксаторы 7,жины и кольцо, с гнездами на его цилиндрической поверхности, в которых размещены теда качения, при этом на внутренней стороне втулки выполнена фигурная проточка с плоской и конус. ной поверхностями, в которой установлены кольцо с телами качения с возможностью взаимодействия тел качения с конусной поверхностью фигурной про 35 точки и пружины, каждая из которых одним концом соединена с плоской поверхностью фигурной проточки, а дру" гая - с кольцом, при этом зажимные40 кольца для эластичной пленки и Фиксаторы размещены на втулке со стороны, противоположной размещению обоймы.На Фиг. 1 изображена предлагаемая кассета -спутник; на фиг. 2 - втул 45 ка в замкнутом состоянии; на Фиг,3- то же, в разомкнутом состоянии.Кассета-спутник содержит основание 1 с цилиндрическим выступом 2, размещенную на нем эластичную плен ку 3, с разделенной на кристаллы полупроводниковой пластиной 4, закрепленную в зажимных кольцах 5 и 6, установленных концентрицно цилиндВтулка 8 установлена на цилиндрическом выступе 2 основания 1 с возможностью перемещения вдоль его оси и на ее внутренней стороне втулки выполнеена Фигурная проточка 10 с плоской поверхностью 11 и конусной поверх" ностью 12, В фигурной протоцке 10 расположено кольцо 13 с гнездами в которьх размещены тела 15 качения, кинематически замыкающие втулку 8 и цилиндрический выступ 2 и выступами 16, взаимодействующими в момент размыкания с обоймой 9. При этом кольцо 13 посредством пружины 17 кинематически связано с плоскостью 11 втулки 8. Эластичная пленка 3 с полупроводниковой пластиной 4 устанавливается между коническими поверхностями зажимных колец 5 и 6 и помещается на втулку 8 таким образом,цтобы Фиксирующие выступы (не показаны) зажимного кольца 5 зашли подфиксаторы 7, поворотом которых пленка 3 занимается между зажимными кольцами 5 и 6, фиксируемыми одновременно от вертикального перемещения относительно втулки 8, находящейся вверхнем замкнутом положении. Замыкание втулки 8 яа цилиндрическом выступе 2 осуществляется заклиниванием тел15 качения между конической поверхностью 12 втулки 8 и цилиндрическойповерхностью выступа 2 путем действия пружин 17 на кольцо 13, в котором размещены тела 15 качения.Устройство работает следующим образом,Для растяжения эластичной пленки3 втулка 8 перемещается вниз относительно цилиндрического выступа 2,для чего необходимо нажать на обойму 9 при этом кольцо 13 с телами 15качения при воздействии обоймы 9 навыступы 16 перемещается вверх, размыкая втулку 8 на цилиндрическом вы-,ступе 2, При перемещении втулки 8эластичная пленка 3, огибая тореццилиндрического выступа 2, растягивается до требуемой величины. Для замыкания втулки 8 в требуемом положении.отпускают обойму 9, при этомкольцо 13 с телами 15 качения поддействием пружин 17 перемещаетсявниз, замыкая втулку 8 на цилиндрицеском выступе 2 основания 1.В процессе работы (сьема кристаллов с эластичной пленки 3) растяжение эластичной пленки 3 может быть,изменено на необходимую величину и59631 надежно фиксироваться в этом положении, при выполнении действий, указанных выше, т.е. перемещением втулки 8 относительно цилиндрического выступа 2 основания 1. 5Внедрение предлагаемой кассеты- спутника на операции кассетирования кристаллов и их монтажа позволит увеличить производительность труда до 1,.3 раза.оформула. изобретенияКассета-спутник, преимущественно для разделенной на кристаллы полупроводниковой пластины, содержащая основание с цилиндрическим выступом, на котором размещены эластичная пленка и зажимные кольца для нее и фик саторы, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей путем регулирования натяжения эластичной пленки, она снабжена механизмом растяжения элас тичной пленки, содержащем установ 20ленные на цилиндрическом выступе основания втулку и обойму, пружины и кольцо с гнездами на его цилиндрической поверхности, в которых разме-.щены тела качения, при этом на внутренней стороне втулки выполнена фигурная проточка с плоской и конусной поверхностями, в которой установлены кольцо с телами качения с возможностью взаимодействия тел качения с конусной поверхностью фигурной проточки и пружины, каждая из которых одним концом соединена с плоской поверхностью фигурной проточки, в другом - с кольцом, при этом зажимные кольца для эластичной пленки и фиксаторы размещены на втулке со стороны, противоположной размещению обоймы.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент ВеликобританииЮ 488150, кл, В 5 Е 8, 1977.2Авторское свидетельство СССР Р 758960, кл, Н 01 1 21/00, 1980 (прототип).К ешетник Середа Редак о Заказ 7528/78 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Про Тираж 761 ВНИИПИ Государственного ком по делам изобретений и от113035, Москва, Ж, Раушска Подписноеета СССРытийнаб., д.