Устройство для ориентации плоских деталей

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(23) ПриоритетОпубликовано 280283. Бюллетень М 9 8Дата опубНиковаиия описания 28. 02.83 51)М Кп з Н 01 3, 21/00 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий.А М.И.Штейнбе Заявитель 54 1 УСТРОЙСТ ОСКИХ ДЕТАЛЕЙ ОРИЕНТ снаб по р того, манипулятор положения деталей датчикослою,ство,но ус разо для ориой толщий диск 1, уумнуо 5, фиксаик 8 полонен кер повышетва. Изобретение относится к загрузочному оборудованию и предназначено для автоматической подачи в технологическое оборудование полупроводниковых кристаллов с различной р-и структурой плоскостей при производстве полупроводниковых приборов и ,интегральных схем;Известно устройство для загрузки плоских деталей, содержащее транспортирующий диск для переноса деталей, бункер, накопитель, фиксатор деталей, вакуумную присоску и манипулятор ( 1.Однако известное устройство не обеспечивает ориентации деталей при перегрузке.Цель изобретения ние качества работы устройс Поставленная цель доотигается тем,что устройство для ориентации плоских деталей, содержащее транспортирукщий электризукщий диск для переноса деталей, бункер, накопитель,фиксатор деталей, вакуумную присоску, расположенную между бункером инакопителем, и манипулятором, снабжено винтовым лотком, размещеннымс зазором над транспортирукщим диском между бункером и накопителем,30 На фиг. 1 иэображеобщий вид; на фиг. 2на фиг. 1.Автоматическое устройстентации плоских деталей малны содержит транспортирующбункер 2, накопитель 3,присоску 4, винтовой лоттор б, манипулятор 7 и джения деталей. Транспортирующий диск 1 выпол иэ электризующего материала. Бун 2, накопитель 3 и винтовой лоток 5 закреплены на неподвижном основании 9 над вращающимся диском 1. Винтовой лоток 5 расположен между бункером 2 и накопителем 3 и установлен над поверхностью вращакщегося диска с зазором. Зазор выбирают иэ условий разделения деталей При попадании их в электростатическое поле и сохранения ориентации деталей по плоскости. Вакуумная присоска 4 установлена между бункером 2 и винтовым лотком 5. В ма нипуляторе 7 установлен датчик 8 по-, ложения деталей но р-а слою. Бункер.Проектня,4 Филиал ПППг.ужгоиод,2 и накопитель 3 выполнены в видепланок без закрытых каналов.Устройство работает следующимобразом.Детали из бункера 2 вакуумнойприсоской 4 группой подаются в винговой лоток 5, из которого россыпью,разделяясь в электростатическомполе, попадают в накопитель, Этопроисходит вследствие того, что призращении диска 1, который выполнен 10из электризующего материала, на егоповерхности в результате трения обункер 2, накопитель 3 и фиксатор 6образуются электростатические зарядействующие на детали. По накопителю 15ды ф3 детали перемещаются в сторону фиксатора 6 и поштучно западают в егогнезда. При повороте фиксатора 6 детали попадают под датчик 8 манипулятора 7, который распознает положениедеталей по р-и слою, Манипулятор 7забирает только те детали, которыерасположены правильно, т.е. какойто определенной поверхностью, и укладывают их в кассеты 10,Остальные детали манипулятор про 25пускает, и они опять попадают повращающемуся транспортирующему диску 1 в бункер 2. Винтовой лоток 5преднаэначен для переориентациидеталей по рслою. Попадая в винтовой лоток 5, детали скользят по нему и переворачиваются, после чего,сохраняя ориентированное положениепо плоскости в электростатическомполе, они попадают в накопитель 3. 1Устройство для ориентации плоских деталей, преимущественно полупроводниковых кристаллов с р-и слоемФ содержащее транспортирующий электри-" зующий диск для переноса деталей, буикер, накопитель, фиксатор деталей, вакуумную присоску, расположенную между бункером и накопителем, и манипулятор, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества работы, оно снабжено винтовым лоткомУ размещенным с зазором над транспортирующим диском между бункером и накопителем.2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что манипулятор снабжен датчиком положения деталей по р- п слою. Ис точ н як и информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР М 304879, кл, Н 01 1, 21/00, 1970.