Кассета для травления пластин

1014071 ООЗ СОВЕТ ЕСНИХ СОЦИАЛИ РЕСПУБЛ 1 0.5, Н УДЛРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ РЕТЕН ОП ЬСТ ОРСНОМУ Св 1(46) 23,04.83, Вкл.15 качества травления, она снабжена допол(72) Е. Г. Миттенберг, В. Ю. Янсон,нительными основаниями и крышкой в,Б. В, Стерпиков и В. Г. Иванов виде диска, при этом основное и до-(.6) 1. Зсо 11 ег А.д., реегь 11.Г., новлены друг под другом на ОдинаковомОргея 1 со Ь "А пби йесЫ 9 це Гог ейск расстоянии и соединены между собойФ 1 пн 1 пс 6111 соп иаГегь", "КСА Вен", стеркнями точечных фиксаторов, причем.1970, 31,2, 265 - 270, стержни одного из рядов выполнены2. Авторское свидетельство СССР сьемными и установлены попарно отно-.443433, кл. Н 01 Ь 21700, сительно двух стержней другого ряда с09. 12.71.возможностью образования гнезда для(54) (57) 1, КАССЕТА ДЛЯ ТРАВЛЕ пластины.НИЯ ПЛАСТИН, преимущественно полупроводниковых, содержащащая основание в ш а я с я тем, что сьемные штырицентре наточечных фиксаторов соединены междувиде диска с отверстием в центм, не еннойкотором размешены по конценонцентрическим собой попарно перемычкой, размешенноокружностям два ряда точечных фикса-, над крышкой. о п.Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в технологии производства полупроводниковых пластин.Известно устройство для травленияпластин, в котором пластина укрепляется на дне тефлоновой лодочки, плаваюшей в сосуде с травителем. Перемещивание травителя осуществляется инертным газом, попаваемым в сосуд черезмелкие отверстия1)Устройство не пригодно в условияхмассового производства.Наиболее близкой по техническойсущности к изобретению являетсякассета для травления пластин, содержащая основание в виде писка с отверстием в центре, на котором размещены поконцентрическим окружностям два рядаточечных фиксаторов в виде стержней 21Б кассете пластины устанавливаютмежпу стержнями вертикально, и возможно их соприкосновение между собой,что пает плохое качество травленияпластин.Цель изобретения - повышение качества травления.Поставленная. цель достигается тем,что кассета для травления пластин, преимущественно полупровопниковых, содержашая основание в виде диска с отверстием в центре, на котором размещеныпо концентрическим окружностям два ряда точечных фиксаторов в виде стбркней,она снабжена дополнительными основаниями и крышкой в виде диска, при этомосновное и дополнительные основания икрышка установлены друг под другом наодинаковом расстоянии и соединены междусобой стержнями точечных фиксаторов,Эпричем стержни одного из рядов выполиены съемными-и установлены попарноотносительно двух стержней другого ряда с возможностью образования гнездадля пластины,Кроме гого, съемные штыри точечныхфиксаторов соединены межпу собой попарно перемычкой, размещенной над крышкой.На фиг. 1 показана часть кассеты,вид сбоку; на фиг. 2 - то же, вид сверху.Кассета состоит из жестко соединенных между собой дисков 1. выполненныхиз винипласта 6 230 + 30 мм с отвер-стием в центре 6 110 + 30 мм. Диски,верхний из которых является крышкой, Кассета закрепляется на валу электродвигателя и совершает возвратно-поступательное движение в ванне с травителем,При этом пластины нахопятся во взвешенном состоянии, каждая пластина размещается между четырьмя стержнями и двумя основаниями и равномерно омьваетсятравителем со всех сторон,Диаметр отверстия в центре каждогодиска определен экспериментально и равен 1,5 диаметра пластин. 35 4 О Расстояние между дисками также,определено экспериментально и равно 0,2- 45 0,25 диаметра пластины.Кассета может быть выполнена извинипласта, фторопласта и других химически стойких материаловКассета позволяет получать пластины 5 О с разбросом по толщине 10-15 мкм(т,е. не превышающим первоначальный).Кассета может быть использована нетолько для травления полупроводниковыхпластин, но также и при проведении процессов проявления фоторезиста, травления окисного слоя, слоя металлизации идругих фотолитографических процессов. расположены параллельно и на одинаковомрасстоянии друг от друга, равном 10 +2 мм. Количество дисков может меняться от 2 по 6 в зависимости от емкостикассеты, и они соепинены между собойстержнями 2 - 5, Каждая пластина, помещенная .между двумя писками (рабочейстороной вверх) фиксируется с помощьючетырех стержней, размещенных по двуМконцентрическим окружностям. При этомстержни одного ряпа выполнены съемными и установлены попарно относительнодвух стержней другого ряда с возможностью образования гнезда пля пластины,15Съемные штыри соединены межпу собойпопарно перемычкой 6, размещенной надкрышкой. На каждом писке может бытьустановлено до 12 пластин 6 40 мм.. На крышке установлена ручка 7, имеющаявертикальный шток 8, который может бытьсоединен с валом электродвигателя (непоказан),Кассета работает следующим образом.При подготовке кассеты к работестержни 2 и 3 вынимаются, и в каждуюячейку, образованную четырьмя стержнями - помещается пластина рабочей стороной вверх и фиксируется съемнымистержнями.301014071 3031/64 Тираж 701 ПодписиНИИПИ Госупарственного комитета СССРпо дедам изобретений и открытий035; Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5 атент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 илиал Составитель Л. Гришкова едактор В.,Пвнко Техрен Т.Маточка Корректор В, Бутяга