Патенты с меткой «168575»
168575
Номер патента: 168575
Опубликовано: 01.01.1965
Авторы: Бродский, Зайдель, Хаскович
МПК: C23C 14/54
Метки: 168575
...подключает вакуумную камеру К к клапану-переключателю 3, При этом электромагнит б клапана-переключателя обесточен, и последний закрывает линию Б и подключает вакуумную камеру к линии А.Когда давление в вакуумной камере достигает 40 - 50 мм рт. ст срабатывает реле вакуума 13. Через некоторое время (порядка 1,5 мин) давление в вакуумной камере падает до 1 мм рт, ст срабатывает реле времени 14, которое включает электромагнит клапана- переключателя. Последний поднимается, закрывает линию А и подключает вакуумную камеру к линии Б (см. фиг, 1, в), Начинается удаление воздуха из вакуумной камеры до давления, допустимого для включения в работу диффузионного насоса 15.Блок контроля вакуума следит за изменением давления в вакуумной камере,Сигнал...