Иатектго г40ttxhn4lvi., »«библиотека

275639 ОЛИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскит Социалистическиз РеспубликЗависимое от авт. св Заявлено 27,1 Х.1968 ( етельстваКл. 48 Ь, 13/1272079/26-9 вкиприсоединением з митет по пела МПК С 23 с 15/00 оритет изобретений и открытийпри Совете Министров публиковано 03."т/11 ФЭНаО% О. БюллетеньЬт 1.т.,т М.:.:;,. ПАТЕ 1 тТт/ата опубликования описания 12.Х.1970 ть,Л 11 БЛИОТЕ 1 Азобретения меле аявите СТРОЙСТВ ТОКОПРО ЛЯ НАНЕСЕНИЯЯЩИХ ПЛЕНОК 25 Изобретение относится к устроиствам для нанесения токопроводящих пленок, например, па осттование резисторов,Известны устройства для нанесения токоппоьодятцих пленок методом пиполиза газообразных реагентов, наппимеп оис-этилоензолхпохта. лля получеттття хрозтовьтх покрытий, со,тепжащие загпнзочттьтй механизм. ваклтц;.то камепу. соединеннт.ю тпуооппотзодом с испапцтелехт, и Пазгрчзочттый механизм.Испапитель выполнен в виде нагпеваемого объема, в котопый загпитается определенная попция реагента для испарения.Опттако эти устпойства не обеспечивают павномерцого и стаоильцого во времени нанесения токопповодяших пленок, так как в ппоцессс паооты т стройства уменьшается количество папов реагента из-за тменьшеттия его количества в испапителе и фпакционипования. Б пезльтате уменьшается толщина токопповодящих пленок и увеличивается сопротивлетттте пезистопов.Пель изобпетения - устпанттть влияние чменьтттения количества пеагепта в испапителе и его Апакционипование тта толшитт наносимых токопповоляттптх пленок, повысить Павцомерность и качество нанесения пленок.,т 1 ля этого испаритсль сцабхксц автоматическим регулятором скорости испарения, состоящим из калориметПического датчика раскола и схемы измерения и управления скоростью испарения.Калорцметрцческцй датчик расхода представляет собой три Лрхцмедовых спирали, вы полценцые из терморезцстцвной проволоки(напризтер, вольфрамовой, платттновотт) и помещенные внутрь термостатированцого трубопрсвода перпендикулярно его осц на некотором расстоянии одна от другой, причем сред.0 цяя спираль является нагревателем, а крайниеспирали подключены к измерительному мосту.Схема измерения и управления состоит изчетырехплечевого моста, в измерительную диагональ которого включен электронный потецциометр типа ЭП,т,. С помощью регулирующих контактов последнего управляют нагревательным элементом испарителя,На фиг. 1 ттзобракена блок-схема устройства; на фиг. 2 - регулятор скорости испаре ни ЯУстройство для нанесения токопроводящихпленок состоит из загрузочного механизма 1, вакуумной камеры 2, соединенной посредсгвом трубопровода с испарителсм 8, разгрузочного механизма 4 и регулятора скорости испарения 5, имеющего обратную связь с цспарителем.Регулятор скорости испарения включает всебя датчик расхода, выполненный в виде трех 30 архимеловых спиралей, размещенных внутриЗаказ 2661/3 пивное ипографпя, пр. Сапунова, 2 3труоопровода б перпендикулярно его осипа определенном расстоянии одна от другой, причем средняя спираль 7 является нагревателем, а крайние спирали 8 и 9 включены в качестве плеч в схему моста 10. Мост содержит батарею питания 11, балансирующие сопротивления 12 и регистрирующий потснцнометр 18 типа ЭПД.Изделия, на которые требуется нанести то копроводящую пленку, например основания резисторов, поступают из загрузочного механизма 1 в вакуумную камеру 2, где происходит нанесение пленки, и затем в разгрузочный механизм 4. Пары реагента благодаря регулятору скорости испарения 5 поступают из испарителя 3 в любом заданном и стабильном во времени количестве, поэтому изделия равномерно покрываются пленкой заданной толщины.Регулируется скорость испарения реагента следующим образом. Пары реагента проходят из испарителя по трубопроводу б через спираль 9, которая приобретает температуру паров, затем через нагревательную спираль 7, которая дополнительно нагревает пары, наконец, через спираль 8, которая нагревается парами.Если мост был предварительно сбалансиьован сопротивлениями 12, то при поступлении потока паров благодаря теплопереносу спирали 9 и 8 приобретают разную температуру. Соотношение сопротивлений спиралей 8 и 9меняется, что вызывает разбаланс моста, и па 4потенциометре 13 появлястся сигнал, соответствующий потоку паров.1 аличие регулирующего контактного устройства в потенциометре 13 позволяет уста- Б навливать и поддерживать любой уровеньсигнала, Если поток паров уменьшается (увеличивается), то контактное устройство потенциометра 18 включает (выключает) нагреватель испарителя, температура испарителя увеТо личивается (уменьшается), увеличивается(уменьшается) также скорость испарения и поток пара восстанавливается до нормы,Датчик расхода выполнен в виде спиралейАрхимеда для того, чтобы они контактирова ли со всеми слоями пара. Это увеличиваетточность измерения потока, а следовательно, качество и равномерность нанесения пленки. Предмет изобретения20 Устройство для нанесения токопроводящихпленок, содержащее загрузочный механизм, вакуумную камеру, соединенную посредством трубопровода с испарителем, и разгрузочный механизм, отличаюш 1 ееся тем, что, с целью 25 повышения качества, равномерности и стабильности пленок во времени, испаритель снабжен автоматическим регулятором скорости испарения, датчик расхода которого выполнен в виде трех терморезисивных спирачо лей Архимеда, размещенных внутри трубопровода перпендикулярно его оси и параллельно друг другу, причем средняя спираль являет. я нагревателем, а крайние спирали подключены к измерительному мосту.