Вакуумная установка
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 175366
Автор: Ларичев
Текст
Союз СоветскюСоциалистическимиРеспублик Зависимое от авт. свидетельства К Заявлено 20.т.1964 ( 895798/22-2) 14 исоединением заявкиПриоритетОпубликовано 21,1 Х.1965, Бюллетень19 Дата опубликования описания 6.Х 11,1965 Государственнымкомитет по делаизобретенийи открытий ССС 1 ПК С 23 с УДК 621,793,14 (088.8 Авторизобретения. Ларичев Заявитель АКУУМ СТАНО ВК осуществлять ения покрыфере различПредмет из тен Подписяая группа209 В известных вакуумных установках для многослойных покрытий с несколькими объемами разделение объемов осуществляют с помощью шлюзовых затворов сложной конструкпии.Предлагается установка для многослойных покрытий, осуществляемых при совмещении движущихся объемов с изделиями с неподвижными контейнерами, содержащими наносимые материалы.Установка состоит, как и известные, из двух золотниковых дисков: подвижного, на котором смонтированы объемы с изделиями, и неподвижного, имеющего с подвижным диском совмещающиеся отверстия. Отличие установки заключается в том, что к нижней части неподвижного диска укреплены емкости со съемными контейнерами, содержащими наносимые материалы. При совмещении отверстий изделия сообщаются с наносимыми материаламн.Откачиваемые или газонаполненные объемы 1 (см. чертеж) с изделиями укреплены на подвижном диске 2, притертом к неподвижному диску 3. К нижней части неподвижного диска крепятся емкости со съемными контейнерамц 4, содержащими наносимый материал. Подвижный и неподвижный диски имеют совмещающиеся отверстия б.Емкости со съемными контейнерами снабжены вакуум- и газопроводами. При совмещении отверстий емкости с наносимым материалом сообщаются с объемами, в которых помещают изделия,Возможность последовательно перемещать изделия над емкостями с испаряемыми мате 5 риалами позволяет наносить многослойные металлические и диэлектрические покрытия путем распыления наносимого материала в вакууме и из паровой фазы за один цикл. На установке можно получить пленочные, напрн 10 мер, микромодульные и криогенные приборы и схемы. На установке также можно комбинированные способы нанес тий как в вакууме, так и в атмос 15 ных газов.Вакуумная установка, состоящая из двух 20 золотниковых дисков: подвижного, на которомсмонтированы объемы с изделиями, и неподвижного, имеющего с подвижным диском совмещающиеся отверстия, отличающаяся тем, что, с целью использования ее для нанесения 25 металлических и диэлектрических покрытий,она снабжена емкостями со съемными контейнерами, содержащими наносимые материалы, прикрепленными к нижней части неподвижного золотникового диска, которые при сов- ЗО мещении отверстий сообщаются с изделиямив объеме, укрепленном на подвижном диске.175366Составитель Э. Альтшуллер дактор Б, С, Нанкина Техред Т. П, Курилко Корректор О. Б. Тюрин Заказ 3488/12 Тираж 1600 Формат бум. 6090 уз Объем О, изд. л. Цена 5 коп. ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4 ипография, прнова, д
СмотретьЗаявка
895798
А. П. Ларичев
МПК / Метки
МПК: C23C 14/54
Метки: вакуумная
Опубликовано: 01.01.1965
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-175366-vakuumnaya-ustanovka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумная установка</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления алюминиевых зеркал
Следующий патент: 175367
Случайный патент: Способ получения комплексных удобрений