Способ получения тонких пленокби; -: ооюс; ная nf: tl •gt; amp; -, rts., -. f, 5-klillbilu-si. h; ., ii; -биз; г-: о г-: а •

Номер патента: 350869

Авторы: Воронин, Ивашкин, Слободенюк, Титов

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое От аВт, сВидете.ьсгва Ь Кл. С 23 с 131 аявлено 04.1.1970 ( 1395179(26-9 присоединением заявки Лс риоритетпубликовано 13.Х,1972. Бюллетень ЪЪ 2 ата опубликования описания 28,1 Х,1972 омитет оа ае зобретеннй н открытиорн Совете МинистровСССР Ъ Д К од 9.23 (088 Ивашкин Титов и В. С. Воронин Заявитель ОСОБ ПОЛУЧЕ ОНКИХ ПЛЕН Молекулярный поток цспаряемого материала 001 азуется В цспарцтеле 1 ц конденсируется на под,Ожке 2. На пути 10 лекул 1 ного потока установлен датчик д масс-спсктрометрз, который регистрир ет цнтенсцВность молекулярногоо потока кадого козцонента, ПО слцчине сигналов масс-сцектрометра в процессе испарения исходного материала регулируют интенсивность молекулярнОГО потока каж 0 дого компонента либо дросселцрованцех потока заслонками 4, лцоо измене 1 ием температуры одного или нескольких испарителей 1. 5 Способ получения тонких пленок термическим испарением материалов с последующим конденсцрОВанцех СГО на подложке В среде 20 разреженных газов, от,чаю 1 вся тем, что, сцелью повышения качества пленок ц воспроизводимости электрофцзцческцх параметров, прц испарении мцогокомпонецтного материала Интенсивность хОлекуля 1)ного потока каж дого компонента регулируют цзменагием температурных режимов цспарцтелей. Лвторыизобретения Г. И. Слободенюк Предлагаемое изобретение относится к области получения тонких пленок и может быть использовано в микроэлектронике для получения резистивных, сверхпроводящих, диэлектрических магнитных и других пленок.Известны способы получения тонких пленок термическим испарением материалов с последующим,конденсированием его на подложке в среде разреженных газов. Однако качество получаемых пленок низкое, а воспроизводимость электрофизических параметров недостаточна.Для повышения качества пленок и воспроизводимости электрофизических параметров при испарении многокомпонентного материала интенсивность молекулярного потока каждого компонента регулируют изменением температурных режимов испарителей.На чертеже изображена установка для осуществления предлагаемого способа получения тонких пленок.Сущность предлагаемого способа получения тонких пленок заключается в поддержании при испарении многокомпонентного материала интенсивности молекулярного потока каждого компонента в строго заданных пределах. редмет изобретенияСоставитель А. Туляков Текред Л. Богданова Корректор Т, Китаева Заказ 3217/17 Изд,1297ЦНИИПИ Комитета по делам изобретенийМосква, Ж 35, Рау Типография, и р. Сапунова Редактор Т, Загребельная Тираж 406 Подписнооткрытий при Совете Министров СССРкая наб д, 4/5

Смотреть

Заявка

1395179

Г. И. Слободенюк, В. И. Ивашкин, А. И. Титов, В. С. Воронин

МПК / Метки

МПК: C23C 14/54

Метки: 5-klillbilu-si, биз, ная, ооюс, пленокби, ртс, тонких, •gt

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-350869-sposob-polucheniya-tonkikh-plenokbi-ooyus-naya-nf-tl-gt-amp-rts-f-5-klillbilu-si-h-ii-biz-g-o-g-a.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения тонких пленокби; -: ооюс; ная nf: tl •gt; amp; -, rts., -. f, 5-klillbilu-si. h; ., ii; -биз; г-: о г-: а •</a>

Похожие патенты