Модзелевокий

Номер патента: 383759

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Модзелевокий, Рафалович, Ройх

МПК: C23C 14/54

Метки: вакууме, интенсивности, металла, паров, потока

...тока в электрической цепи,что означает достижение критической температуры,П р едмет зобретени Спосоо измерения паров металла в ваку чала осаждения плен мую диэлектрическую ся тем, что, с целью измерений, в пары ме ческую пластину при пературы осаждения,зо температуры осажден деляют интенсивностьИзооретение относится к области измерения интенсивности потока паров металла в вакууме и может быть применено при нанесении различных металлических покрытий в вакууме.Известен ряд методов измерения интенсивности потока паров металла и скорости его конденсации в вакууме. Чаще всего скорость конденсации определяют по изменению частоты колебаний кварцевого резонатора, на поверхности которого конденсируется испаряеиый в вакууме металл. Этот способ...