Староверой

Номер патента: 353595

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Забежинский, Кацнельсон, Староверой, Фурман

МПК: C23C 14/54

Метки: напыления, пленок, процессом, тонких

...который в вакуумной камере 12 напыляется с испарптелей Иизготавливаемая пленка, направляется в сред 20 ство монохроматизацпи 2, выделяющее лучистый поток с длиной волны Х, на которой производится контроль. Поток вызывает на фотоприемнике 3 сигнал, пропорциональньшпропусканию образца 11. По мере роста тол 25 щины пленки в процессе напыления сигналменяется, достигая экстремальных значенийСоставитель Техред Г исимова Редак Струве тор О. Усова во ина Заказ 1796,1 Изд,1493ЦИИИПИ Комитета по делам изобретенийМосква, М(.35, Рау Подписное Министров СССРТираж 826открытий при Совекая наб., д. 4;5 Сапунов Типография,приемника 3 поступает в дифференцирующий блок 4, с выхода которого снимается сигнал в виде импульсов, следующих с частотой оз и...