Способ контроля толщины пленки в процессе

О П ЙА- Й-И-Е ИЗОБРЕТЕНИЯ 255728 Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт, свидетельства М 5.17.1968ением з12. 48 Ь, 13/О явл ки М с присое Приор ит Опублик П 1( С 2 Комитет по деламобрвтвиий и открытийри Совете ЫинистровСССРЧК 621 793 153 083 2 (088.8) ано 28 Х,1969. Бюл3 ата опубликования описани Авторизобретения Т. Н и кол аев Заявит ПРОЦЕСС СПОСО ТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕ 1 ЕЕ НАПЫЛЕНИЯ На чертежепредлагаемого Известен способ контроля толщины пленки в процессе ее напыления, например при вакуумном напылении, по изменению разностной частоты между измерительным генератором, кварцевый резонатор которого помещен в зону напыления, и опорным генератором, причем для повторного осаждения опорный генератор должен быть перестраиваемым,Предлагаемый способ отличается от известного тем, что кварцевый резонатор опорного генератора помещают в зону напыления и контролируют напыление первой половины требуемой толщины пленки кварцевым резонатором измерительного генератора при защищенном от потока напыляемого материала кварцевом резонаторе опорного генератора. По достижении половины требуемой толщины пленки защищают от упомянутого потока кварцевый резонатор измерительного генератора, и контроль второй половины осуществляют с открытым кварцевым резонатором опорного генератора. Достижение заданной толщины пленки определяют по равенству частот измерительного и опорного генераторов. Это позволяет осуществлять контроль при многократном напылении без перестройки опорного генератора,ставлена схема реализацииособа. Схема состоит из кварцевых резонаторов 1и 2, соединенных с измерительным 3 и опорным 4 генераторами. Выходы генераторов Л и 4 соединены со входом смесителя 5, послед ний - со входом преобразователя 6, преобразующего входной сигнал в постоянное напряжение, пропорциональное частоте, Выход преобразователя соединен с электронным потенциометром 7, управляющим электромагнитом 10 8, который передвигает заслонку 9, предназначенную для перекрытия кварцевых резонаторов, Испаряемый материал помещают в тигель 10, Электромагнит, кварцевые резонаторы, заслонку 9 и тигель размещают под колпа ком 11 вакуумной камеры.Перед напылением разность частот кварцевых резонаторов равна нулю. Электромагниг 8 включен, и заслонка 9 открывает доступ испаряемого материала на кварцевый резона тор 1, В процессе напыления частота генератора 3 уменьшается, разность частот увеличивается. Когда разность частот достигает величины соответству 1 ощей половине толщины напыляемой пленки, электронный потенциометр 25 7 включает электромагнит 8, которьш передвигает заслонку 9, перекрывающую кварцевый резонатор 1 и открывающую кварцевый резонатор 2, Напыление на резонатор 1 прекращается, и начинается напыление на резона тор 2,Предмет изобретения Составитель Ю, ИосилевичТехред Л. В, Куклина Редактор Т. Фадеева Корректоры: А. Николаева н М. КоробоваЗаказ 510/4 Тираж 480 ПодписноеЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква Ж, Раушскап наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 Частота генератора 4 уменьшается, разностная частота также уменьшается. Когда разностная частота падает до нуля, потенциометр выключает электромагнит и выдает сигнал о достижении заданной толщины для прекращения процесса напыления. Прибор готов для повторного контроля процесса напыления,Способ контроля толщины пленки в процессе ее напыления, например при вакуумном напылении, по изменению разностной частоты между измерительным генератором, кварцевый резонатор которого помещают в зону напыления, и опорным генератором, отлачаюиийся тем, что, с целью получения возможности контроля при многократном напылении без перестройки опорного генератора, кварцевый резонатор опорного генератора также помещают в зону напыления и контролируют на пыление первой половины требуемой толщиныпленки кварцевым резонатором измерительного генератора при защищенном от потока напыляемого материала кварцевом резонаторе опорного генератора, а по достижении поло вины требуемой толщины пленки защищаютот упомянутого потока кварцевый резонатор измерительного генератора, и контроль второй половины осуществляют кварцевым резонатором опорного генератора, а достижение задан ной толщины пленки определяют по равенствучастот измерительного и опорного генераторов.