Способ измерения интенсивности потока паров металла в вакууме
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 383759
Авторы: Модзелевокий, Рафалович, Ройх
Текст
383759 ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советснит Сониалистическиа Реслублин;,ри Сове МинистреР ДК 621.523.00 (088.8) Авторыизобрете И, Л. Ройх, Д, М, Рафало кий технологический инсим. М, В. Лом кий ич и А. А. Модзеле итут пищевой пром носова вител есс леннос СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ИНТЕНСИВНОСТИ П ПАРОВ МЕТАЛЛА В ВАКУУМЕ А которои еще происходит конденсация металла, зависит от свойств конденсирующегося металла, материала и состояния поверхности подложки, а также от интенсивности молеку лярного потока паров металла.Процесс измерения заключается в том,что осажденпе металла начинают при температуре диэлектрической подложки, заведомо превышающей значение критической темпера- О туры на 100 в 1 С. Затем постепенно понижают температуру подложки до появления сплошной металлической пленки между электродами, установленными на диэлектрической поверхности подложки. Этот момент фикси руется появлением тока в электрической цепи,что означает достижение критической температуры,П р едмет зобретени Спосоо измерения паров металла в ваку чала осаждения плен мую диэлектрическую ся тем, что, с целью измерений, в пары ме ческую пластину при пературы осаждения,зо температуры осажден деляют интенсивностьИзооретение относится к области измерения интенсивности потока паров металла в вакууме и может быть применено при нанесении различных металлических покрытий в вакууме.Известен ряд методов измерения интенсивности потока паров металла и скорости его конденсации в вакууме. Чаще всего скорость конденсации определяют по изменению частоты колебаний кварцевого резонатора, на поверхности которого конденсируется испаряеиый в вакууме металл. Этот способ позволяет определять толщину и скорость осаждения тонких металлических пленок. Однако при высоких скоростях конденсации работа кварцевого резонатора становится нестабильной из-за повышения его температуры, При этом нарушается линейная зависимость между изменением частоты резонатора и массой осажденного металла.Предлагаемый способ позволяет расширить диапазон измерений скорости осаждения паров металлов в вакууме,Эта цель достигается тем, что интенсивность потока паров металла определяют по критической температуре, при которой и ниже которой происходит осаждение металла на диэлектрическую прогреваемую поверхность.Предлагаемый способ основан на том, что ,наибольшая (критическая) температура, при интенсивности потока уме путем фиксации наки металла на нагреваепластину, от гичаюигийрасширения диапазона талла вводят диэлектритемпературе выше темохлаждают пластину до ия, по которой и опрепотока паров металла
СмотретьЗаявка
1419999
Авторы изобретени витель
И. Л. Ройх, Д. М. Рафалович, А. А. Модзелевокий Одесский технологический институт пищевой промышлеиности М. В. Ломоносова
МПК / Метки
МПК: C23C 14/54
Метки: вакууме, интенсивности, металла, паров, потока
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-383759-sposob-izmereniya-intensivnosti-potoka-parov-metalla-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения интенсивности потока паров металла в вакууме</a>
Предыдущий патент: 383758
Следующий патент: Способ приготовления прядильных растворов быстронабухающих полимеров
Случайный патент: Анкер для крепления элементов к основанию