416420

Союз СоветскСоциалистицеск ОБРЕТЕНИ еспублик ИДЕТЕЛЬСТВУ К АВТОРСКОМ Зависимое детельстват. М. Кл, С 23 с 13/10 С 0 Ь 11/00М 1755658/2 аявлено 06. 1.1972 явкиединением риор Гааударстванный камитеСаввта Министрав СССРаа далам изааратанийи аткрмтий К 621.793,14.002.5 (088,8) о 7 публиковацо 25.1.1974. Бюллет Дата опубликования описания ЗЛ 11.197 Авторы зобретения П. Клевцов и А, П. Галаницк Заявитель ТРОЙСТВО ДЛ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ И СКОРОСНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ Цель и измерени кретном вЭто до жено зас рителем тром агни тельного чем резо разъемакНа чер ложен ног иде. стига чонк и ди тньв движ атор ется тем, что ой, смонтирован фрагмой и сое приводом в ения и блоком подключенустроиство снабной между испадинецной с элекозвратно-поступауправления, прик охлаждаемым Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано при автоматическом регулировании технологического процесса нанесения однослойных и многослойных покрытий методом термического напыления.Известно устройство для измерения толщины и скорости нанесения покрытий, содержащее испаритель, кварцевый резонатор, генератор, измеритель частоты, диафрагму с отверстием и систему охлаждения,Однако такое устройство невозможно использовать при контроле многослойных покрытий с большой суммарной толщиной слоев, так как для изменения коэффициента экранировки контролируемой части потока необходима замена диафрагмы. обретения - расширение диапазон и получение информации в дис теже представлена конструкция предо устройства,Устроиство состоит из кварцевого резонатора 1 с обкладками 2, генератора 3, измерителя частоты 4, неподвижной диафрагмы 5 с отверстием, заслонки 6, смонтированной меж ду испарителем (на чертеже не показан) идиафрагмой 5 и соединенной с электромагнитным приводом возвратно-поступательного движения, содержащим сердечники 7, катушки 8, 9 и магнитопровод 10, и блоком управления, 10 включающим усилитель мощности 11 и задающий генератор 12. Причем резонатор 1 выводами 13 подключен к охлаждаемым разъемам, состоящим нз гнезда кварцедержателя 14, фторопластовой втулки 15, гайки 16 и ре.15 зинового уплотнения 17. К гнезду кварцедержателя 14 пайкой крепится монтажный проВод В хлорвициловоц изоляции 18, который проложен в канале 19 для охлаждающей жидкости.20 Устройство работает следующим образом.Напыление различных материалов ца изделие производится одновременно с напылением ца обкладку 2 кварцевого резонатора 1, в результа 1 е чего изменяется масса резонатора 1 25 и собственная частота колебаний измерительного генератора 3, которую измеряют стандартны.,; частото ером, например, Ч 3-30. Измеренная девиация частоты служит мерой толшины покрытий :а изделии, а изменение чаЗо стоты в единицу времени - мерой скорости416420 8 акууп 15апыпинц ставитель Л. АнисимоваТехред Г. Васильева ктор Н, Аук едактор А. Б зд, Мв 526 Типографи аж 875 аказ 1523/2 Подписное апунова,нанесения покрытий. Напыление производится через отверстие неподвижной диафрагмы 5, диаметр которого равен диаметру обкладки резонатора 1. Между отверстием неподвижной диафрагмы 5 и испарителем установлена заслонка 6, полностью перекрывающая поток осаждаемых на резонатор 1 частиц. Заслонка 6 укреплена на оси 20 с язычком 21, который расположен в зазоре между сердечниками 7 двухкатушечного электромагнитного привода. Большую часть времени заслонка 6 удерживается в положении, при котором отверстие неподвижной диафрагмы 5 закрыто язычком. Он притягивается электромагнитным полем катушки 9 двухкатушечного электромагнитного привода, на которую постоянно подано напряжение от источника питания. Для перевода заслонки 6 в положение, при котором потоку испаряемых частиц полностью открыт доступ к кварцевому резонатору 1, на катушку 8 с сердечником подаются мощные короткие импульсы, в результате воздействия которых на катушку язычок 21 на короткое время притягивается к сердечнику катушки 8. В момент окончания импульса на катушку 9 подается другой импульс тока, электромагнитное поле катушки 9 перебрасывает язычок 21 в исходное положение, где он удерживается подачей постоянного напряжения на катушку 9. Напряжения на катушки 8 и 9 электромагнитно го привода подаются с выходов блока управления. Изменение частоты фиксируется, например, серийным прибором Ч 3-30 с выходом на цифропечатающее устройство для регистрации результатов измерения,1 О Предмет изобретения 1. Устройство для измерения толщины и ско рости нанесения покрытий в вакууме, содержащее испаритель, кварцевый резонатор, генератор, измеритель частоты, диафрагму с отверстием и систему охлаждения, о тл и ч а ющ е е с я тем, что, с целью расширения диапа зона измерений и получения информации вдискретном виде, оно снабжено заслонкой, смонтированной между испарителем и диафрагмой и соединенной с электромагнитным приводом возвратно-поступательного движе ния и блоком управления, а резонатор подключен к охлаждаемым разъемам.