168575

О П И С А Н И Е 168575ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистицескихРеслублик Зависимое от авт, свидетельствая. 48 Ь,Заявлено 02.1.1963 ( 811226/22-2)с присоединением заявки1 ПК С 23 с Государственныйомитет ло деламизобретенийи открытий СССР рите ликовано 18,11,1 К 621 793 (08 юллетепь4 Дата опубликования описания 4.111,196 о Авторыизобретен и. Н. Зай кови одскии, Л,Заявит РОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В МЕ устанаи помощи главного клапа теля 2 и клапана-переклю Подписная группа209 Известно применение системы централизованной откачки вакуумных устройств в сочетании с электромагнитами термисторных ламп для контроля вакуума и игольчатых клапанов-натекателей с микрометрической подачей,Описываемое устройство в отличие от известных снабжено системой электромагнитных клапанов, управляемых блоком контроля вакуума, позволяющей управлять работой вакуумной системы, двухзолотниковым клапа ном-патекателем. Такое устройство дает возможность осуществлять процесс нанесения покрытий одновременно в нескольких камерах, При работе с большим количеством вакуумных камер все вакуумные насосы могут быть 15 вынесены в отдельное помещение, что устранит вибрации, шум и загрязнение воздуха парами масла в рабочем помещении, в результате чего значительно улучшится качество покрытий. 20На фиг. 1 изображена схема работыновки; на фиг. 2 - клапан-натекатель;фиг. 3 - блок контроля вакуума; на фигблок задания программы распыления.Установка состоит из камер К (фиг. 1) и 25 вакуумной системы с автоматическим программным управлением процессом откачки и металлизации.Камеры К пр на 1, клапана-натека чате ля 3 автоматически подключаются к трем линиям откачки А, Б и 8 с предельным давлением порядка 1 яя рт, ст., 10 - - лл рт. ст, и 10 з дл рт. ст. соответственно.При работе установки в положении выпуска воздуха в вакуумную камеру К (см. фиг.1 а) электромагниты 4, 5 и б клапана-натекателя 2, главного клапана 1 и клапана-переключателя 3 соответственно обесточены. Клапан-натекатель, находясь в нижнем положении, предотвращает попадание воздуха в линии откачки А и Б, а главный клапан - в диффузионный насос и линию 8.При работе установки в положении откачки из вакуумной камеры основной массы газа до давления 1 ия рт. ст. (см, фиг. 16) оператор вручную включает электромагнит клапана-натекателя 2 и тем самым задает начало цикла.Под действием электромагнита поднимается малый клапан 7 и закрывает отверстие 8, прекращая доступ воздуха в установку, и одновременно открывает канал 9 в большом клапане 10. Через этот канал и кольцевой зазор 11 начинается откачка воздуха. После того как давление над клапаном 10 и под ним выравнивается, он также поднимается и открывает доступ для откачки через отверстие 12.Клапан-натекатель в таком выполнении дает возможность уменьшить габариты электро168575 фог 1 магнита и мощность его катушки, а также позволяет производить медленную начальную откачку и предотвращает образование тумана и росы в вакуумной камере. Клапан-натекатель 2 подключает вакуумную камеру К к клапану-переключателю 3, При этом электромагнит б клапана-переключателя обесточен, и последний закрывает линию Б и подключает вакуумную камеру к линии А.Когда давление в вакуумной камере достигает 40 - 50 мм рт. ст срабатывает реле вакуума 13. Через некоторое время (порядка 1,5 мин) давление в вакуумной камере падает до 1 мм рт, ст срабатывает реле времени 14, которое включает электромагнит клапана- переключателя. Последний поднимается, закрывает линию А и подключает вакуумную камеру к линии Б (см. фиг, 1, в), Начинается удаление воздуха из вакуумной камеры до давления, допустимого для включения в работу диффузионного насоса 15.Блок контроля вакуума следит за изменением давления в вакуумной камере,Сигнал от лампы ЛТ, зависящий от давления в вакуумной камере, поступает на вход блока и сравнивается с опорным напряжением на сопротивлении Р, Вибропреобразователь превращает разность этих сигналов в импульсы, подаваемые на усилитель У. Когда сигнал становится равным, а затем больше опорного напряжения, меняется фаза импульсов, ток, идущий через реле Рменяет направление и замыкает контакт Л вместо П, Реле Р включает электромагнит главного клапана, последний поднимается, разобщает вакуумную камеру с линией Б и соединяет ее с диффузионным насосом и через него с линией В (см. фиг. 1, г). Одновременно с включением реле Р шунтируется сопротивление Яз, Опорное напряжение на Я 6 изменяется до величины 10 тК Фаза сигнала, подаваемого вибропреобразователем на усилитель, восстанавливается, и реле Р, замыкает контакт П, Когда давление в вакуумной камере достигает 10-4 мм рт. ст., реле Р 7 замыкает контакт Л, включается реле Р подающее напряжение на генератор импульсов ГИ, размыкается кон 4такт КР, и опорное напряжение снижается доуровня, соответствующего значению давления510-4 мм рт. ст. Генератор импульсов включает шаговый искатель ШИ, который последо 5 вательно подключает все спирали испарителейк источнику питания. При прохождении токачерез спираль испарителя включается реле Р,и размыкается контакт КР шунтирующий со.противление Я определяющее длительносгьимпульса, поступающего от генератора к шаговому искателю.Если в процессе испарения металла давление в камере падает до 510-ф мм рт. гт., тореле Р 7 вновь замыкает контакт П, а реле Р,отключается и прекращает подачу напряженияна спирали испарителя.Подача напряжения на спирали испарителей возобновится замыканием контакта КР,только при достижении в камере вакуума20 110 4 мм рт. ст,После металлизации всех деталей шаговыйискатель на последней позиции включает лампу, сигнализирующую об окончании процесса.Оператор снимает выключателем напряже 25 ние со всех катушек трех клапанов, через клапан-натекатель в вакуумную камеру впускается воздух, и цикл повторяется,Предмет изобретенияЗ 0 1. Устройство для нанесения покрытий в вакууме, состоящие из ряда камер и централизованной вакуумной системы с автоматическим программным управлением, отличающееся тем, что, с целью обеспечения одновременЗ 5 ной работы нескольких камер и получения качественных покрытий, оно снабжено системойэлектромагнитных клапанов, управляемыхблоком контроля вакуума, и двухзолотниковым дифференциальным клапаном-натекате 40 лем,2. Устройство по п. 1, отличающееся тем,что, с целью увеличения тягового усилия прифорсированном открывании клапанов и уменьшения требуемой мощности электромагнитов,45 в схеме их питания предусмотрено включениеемкости, шунтирующей добавочное сопротивление.168575 Кубасова оставител рректор В. П. Фомин Струв ед А. Кудрявицкая едакт, пр. Сапунова, 2 Типог Заказ 281/ ЦНИИ Тираж 500 Формат бум. 60)(90"/8 Объем 0,3 Государственного комитета по делам изобретенийМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 изд ч Цена 5 копоткрытии СССР