Патенты с меткой «ооюс»
Способ получения тонких пленокби; -: ооюс; ная nf: tl •gt; amp; -, rts., -. f, 5-klillbilu-si. h; ., ii; -биз; г-: о г-: а •
Номер патента: 350869
Опубликовано: 01.01.1972
Авторы: Воронин, Ивашкин, Слободенюк, Титов
МПК: C23C 14/54
Метки: 5-klillbilu-si, биз, ная, ооюс, пленокби, ртс, тонких, •gt
...термическим испарением материалов с последующим конденсцрОВанцех СГО на подложке В среде 20 разреженных газов, от,чаю 1 вся тем, что, сцелью повышения качества пленок ц воспроизводимости электрофцзцческцх параметров, прц испарении мцогокомпонецтного материала Интенсивность хОлекуля 1)ного потока каж дого компонента регулируют цзменагием температурных режимов цспарцтелей. Лвторыизобретения Г. И. Слободенюк Предлагаемое изобретение относится к области получения тонких пленок и может быть использовано в микроэлектронике для получения резистивных, сверхпроводящих, диэлектрических магнитных и других пленок.Известны способы получения тонких пленок термическим испарением материалов с последующим,конденсированием его на подложке в среде...