Пннчук

Номер патента: 180457

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Горбунова, Пннчук, Сныткин, Шпиньков

МПК: C23C 14/54

Метки: вакууме, испарении, напыления, пленок, скорости

...В, Сныткин и В, Д. ГорбуноваЗаявител ПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК ПРИ ИСПАРЕНИИ В ВАКУУМЕмеряемый микроампер мет леп скорости напыления. пропорциона луч аемы. т скоро ристалли гим, на псп. ескую е магтзобретени 5 гп пасе.ппя ися этоользуяемогопепоктрод.спариок, из Своиства тонких пленок, порением в вакууме, зависят о с осаждения, влияющей на к ч структуру пленки и, в связи с е нитные и другие свойства.Известны способы измерения скорос пыления пленок при испарении в вакуу.Цель изобретения -- упростить измере повысить степень точности. Достигает тем, что по предлагаемому способу исп ют самопроизвольную ионизацию испар вещества. Ионы испаряемого вещества средственно переносят свой заряд на эле Измерительный электрод соединяют...