ZIP архив

Текст

Союз Соеетскик Социалистических Республик(л. 21 д, 13/2 Заявлено 08.11.1964 ( 880829/26-2 с присоединение киМП Комитет по деламобретений и открытийри Сосете еоинистроеСССР иоритет Опубликовано ЗО,Ч 1.1 К 531.767.08:621.793.7 (088.8) юллетень Ъоя 21.1 Х.1966 та опубликования оп т Авторыизобретен Овсяннико ригорьев ч ч итель РЕНИЯ СКОРОСТИ НАПЫЛЕН 2 Известны приборы для измерения скорости напыления пленок термическим испарением в вакууме, состоящие из ионизационной системы и коллектора. Эти приборы не обеспечивают высокой точности измерений,Предложенный прибор для измерения скорости напыления пленок термическим испарением в вакууме отличается от известных тем, что между испарителем вещества и коллектором, а также между коллектором и нитью накала установлены экраны, первый из которых закреплен с анодом при помощи скоб, а второй закреплен с ускоряющей сеткой, что позволяет производить измерение скорости напыления с высокой точностью,разрезе, ческой сетвый катод ая плоская стержне бхомутиков ржателе 7.нталовыми ибденовым а молибдеится к аноами 11. Хосоставным иизбежание На чертеже изображен прибор в Анод 1 с ускоряющей цилиндри кой 2, нить накала 8 (вольфрамо диаметром 0,08 мм) и вытягивающ сетка 4 крепятся на керамическом при помощи обжимных никелевых б. Анод укреплен на никелевом де Нить накала д натянута двумя та пружинами 8, приваренными к мол держателям 9. Сетка 4 крепится н новом держателе 10. Сетка 2 креп ду 1 восемью никелевыми скобочк мутики б отделены друг от друга цилиндрическими экранами 12 во закорачивапия электродов при напылении проводящих пленок.Съемный цилиндрический экран 18 надевается на сетку 2 и предохраняет коллектор 14 от попадания на него положительных ионов с нити накала 8.Никелевое кольцо 15 исключает попадание посторонних заряженных частиц из рабочего объема на коллектор 14. Для этой же цели предназначен выполненный из нержавеющей стали экран 1 б.Вывод 17 коллектора 14 выполнен отдельно от выводов других электродов во избежание утечек, изолирован с помощью тефлоновых или ультрафарфоровых (ультрафарфор53, класс Ч) шайб 18 и экранирован.Попадающие в пространство между сеткой 2 и анодом 1 атомы испаряемого вещества ионизуются ударами электронов, Электроны эмиттируются накаленным катодом д и ускоряются в направлении сетки 2 разностью потенциалов 10 в. Анод 1 находится под потенциалом сетки 2. Образующиеся в результате ионизации атомов испаряемого вещесгв положительные ионы ускоряются напряжеии. ем 200 в, приложенным между анодом 1 и плоской сеткой 4, в направлении коллектора 14. С коллектора сигнал поступает на вход электрометрического каскада усилителя Ч 1-2.Для задержки электронов, уходящих с колЗ 17 Составитель Р, Г. Акопянедактор И. Г. Карпас Техред Т, П. Курилко Корректор Г. Е, Опари Заказ 2717/8 Тираж 1550 Форма ЦНИИПИ Комитета по делам изоб Москва, бум. 60 Х 90/з Объем 0,16 изд, л. Подписное тешй и открытий при Совете Министров СССР ентр, нр. Серова, д. 4 ннография, пр. Сапунова,лектора вследствие фотоэффекта на нем, между се 1 кой 4 и коллектором 14 подается напряжение 20 в. Фотоэффект на коллекторе гызывается световым излучением нити накала 3 и испарителя вещества, а также мягким рентгеновским излучением, возникающим при торможении ионизирующих электронов на сетке 2 и ано.де.Для.задержки положительных ионов, эмиттированных испарителем при его нагревании, между испарителем вещества и анодом подается напряжение о в. Предмет изобретения 1. Прибор для измерения скорости напыле ция пленок термическим испарением в вакууме, состоящий изионизационпой системы и коллектора, отличающийся тем, что, с целью предотвращения попадания положительных термопонов с испарителя вещества на коллектор, между испарителем вещества и коллектором установлен кольцевой экран, закрепленный на аноде при помощи скобок. 10 2. Прибор по п. 1, отличающийся тем, что,с целью предотвращения попадания положительных термоионов с нити накала на коллектор, между нитью накала и коллектором установлен цилиндрический экран, закрепленный 15 Hа ускоряюгцей сетке.

Смотреть

Заявка

880829

МПК / Метки

МПК: C23C 14/54

Метки: 184982

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-184982-184982.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">184982</a>

Похожие патенты